电子行业动态跟踪：日本半导体设备管制落地，设备国产化持续加速

有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 电子行业 行业研究 | 动态跟踪 ⚫ 日本公布出口贸易管制令征求意见稿结果，与初稿基本一致。5 月 23 日，日本经济产业省公布了出口贸易管制令征求意见稿结果（初稿于 3 月 31 日公布），正式版限制范围与初稿基本一致。该文件提出了计划“新增 23 类禁止出口的尖端半导体生产设备”的出口管制政令，管制适用于包括中国在内的 160 多个国家及地区，美国、韩国、新加坡等 40 余个国家获得豁免，计划在今年 7 月份正式实施。 ⚫ 日本半导体设备占全球市场份额达 3 成，在清洗、涂胶显影、光刻、晶圆处理等领域均占据重要地位。根据 VLSI Research 数据，2020 年日本在全球半导体设备市场中占据 31.1%的市场份额，前道设备市场中，日本在清洗、涂胶显影、光刻、晶圆处理等领域均占据重要地位，其中清洗和涂胶显影领域，日本的 DNS 和 TEL 分别为全球龙头。根据中国海关数据，2022 年中国大陆步进重复光刻机进口金额 14.2亿美元，日本占比 28%；等离子刻蚀设备进口金额 37.5 亿美元，日本占比 31%；其他刻蚀设备进口金额为 8.72 亿美元，日本占比为 59.2%；热处理进口金额 17.4亿美元，日本占比 59%。其他前道设备类别中，我国依赖日本的主要为涂胶显影设备和清洗设备，2019 年日本的 TEL 在涂胶显影领域在全球近乎垄断地位，占据约90%份额，日本 DNS 在全球清洗市场也占据近半份额，但近年来国内清洗设备发展迅速，在清洗领域对日依赖度降低明显。 ⚫ 国内在大部分成熟工艺节点设备取得突破，先进制程设备仍待突破。单从设备看，去胶设备，清洗设备，管式炉和扩散设备的国产化替代程度较好，而光刻机、关键核心层的刻蚀、金属层的薄膜沉积、离子注入、检测设备等难度比较大的设备，目前国内替代率低。从工艺制程覆盖角度看，国内主流设备厂商在多个环节中可覆盖28nm 及以上的应用，可实现对下游的批量供应，14nm 及以下设备有望逐步突破。 ⚫ 我们看好半导体设备国产化趋势，建议关注中微公司、精测电子、中科飞测、芯源微、拓荆科技、北方华创、华海清科、盛美上海、万业企业等国内领先半导体设备企业。 风险提示 ⚫ 国产化率不及预期；上游零部件断供风险。 投资建议与投资标的 核心观点 国家/地区 中国 行业 电子行业 报告发布日期 2023 年 05 月 27 日 蒯剑 021-63325888*8514 kuaijian@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860514050005 香港证监会牌照：BPT856 李庭旭 litingxu@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860522090002 韩潇锐 hanxiaorui@orientsec.com.cn 薛宏伟 xuehongwei@orientsec.com.cn 杨宇轩 yangyuxuan@orientsec.com.cn 张释文 zhangshiwen@orientsec.com.cn 苹果 MR 树行业标杆，借力 AI 东风 2023-05-23 半导体行业筑底，存储和 GPU 涨价 2023-05-21 OPPO 终止芯片业务哲库 2023-05-14 日本半导体设备管制落地，设备国产化持续加速 看好（维持） 电子行业动态跟踪 —— 日本半导体设备管制落地，设备国产化持续加速 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 2 目 录 1.日本半导体设备管制以 14nm 及以下制程的尖端产品为主 ........................... 4 2. 日本限制政令将对我国涂胶显影、光刻、刻蚀、热处理等设备进口带来影响4 3.国内设备企业有望加速国产替代 .................................................................. 6 4.投资建议 ..................................................................................................... 8 5. 风险提示 .................................................................................................... 8 6. 附录：日本对华限制设备的具体参数 .......................................................... 8 电子行业动态跟踪 —— 日本半导体设备管制落地，设备国产化持续加速 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 3 图表目录 图 1：2020 各国家半导体制造设备细分市场份额 ......................................................................... 5 图 2：中国大陆半导体设备市场全球占比持续提升 ....................................................................... 6 图 3：中国半导体设备进出口额（亿美元） .................................................................................. 6 图 4：主要前道设备全球市场规模及国产化情况-2021.................................................................. 7 表 1：日本政府新增的半导体方向出口管控对象明细.................................................................... 4 表 2：日本在中国进口半导体设备中的占比（亿美元） ................................................................ 5 表 3：国内半导体设备相关公司 .................................................................................................... 7 电子行业动态跟踪 —— 日本半导体设备管制落地，设备国产化持续加速 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之