半导体设备行业点评报告：日本半导体出口限制升级，半导体设备自主可控逻辑继续强化

证券研究报告 | 行业点评 | 机械设备 http://www.stocke.com.cn 1/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 机械设备 报告日期：2023 年 04 月 06 日 日本半导体出口限制升级，半导体设备自主可控逻辑继续强化 ——半导体设备行业点评报告 投资要点  事件：1、3 月 28 日，我国商务部部长会见 ASML 全球总裁。2、3 月 31 日，日本将从 7 月起对 23 种芯片制造设备施加限制。3、3 月 31 日，我国网络安全审查办公室对美光在华销售产品实施网络安全审查。  日本跟进美国对华半导体限制政策，国产线去 J 加速。路透社报道，日本计划于7 月限制对华高端半导体设备出口，范围包括刻蚀、光刻、沉积、清洗、热处理、检测等六大类先进设备。日本公司在全球半导体设备领域占据重要地位，如东京电子在刻蚀（全球市占率 29%）、CVD（20%）、ALD(29%)、涂显(89%)、清洗(25%)等领域市占率高，DNS 是全球清洗龙头（40%）。半导体产业链加速去日化，推动日本垄断环节设备国产化率提升。  商务部部长会见 ASML 全球总裁提振市场信心，国内成熟制程扩产持续。据路透社报道，1 月美国已与日本、荷兰达成协议扩大对华芯片出口管制达成协议，范围可能扩大至成熟制程光刻机，市场担心国内成熟制程扩产可能受阻。3 月初ASML 发布公告，仅 NXT2000i 及以上先进浸没式光刻机受限（主要应用在 7nm及以下），28nm/14nm 产线主要使用的 1980Di 光刻机将不受出口限制，预计光刻机不会成为国内成熟制程扩产的卡脖子设备。3 月 28 日，我国商务部部长与ASML 全球总裁就 ASML 在华发展等议题展开交流，希望 ASML 坚定对华贸易投资合作信心，维护半导体产业链供应链稳定。  美日荷制裁下自主可控逻辑强化，半导体设备及零部件国产化提速。近期美国联合日荷对中国芯片施加新的设备出口管制，半导体产业链自主可控逻辑继续强化。目前全球半导体设备基本由美日荷三国垄断，从各国优势环节来看， 1）美国在薄膜沉积、离子注入、量测领域占据垄断地位。美企应用材料在PVD、CMP、离子注入全球市占率分别为 86%、68%、64%，拉姆研究在刻蚀、ECP 市占率分别为 46%、78%，科磊在量测领域市占率 54%。 2）日本在涂胶显影、清洗设备占据优势。东京电子涂胶显影设备市占率 89%、迪恩士清洗设备市占率 40%。 3）荷兰光刻机是绝对龙头，原子层沉积处于领先地位。ASML 占据全球光刻机96%市场份额，ASMI 的 ALD 设备市占率 45%。 半导体产业链自主可控是长期主线，设备及零部件国产替代迎来加速期。预计今年半导体行业资本开支上行，设备订单有望超市场预期；国产设备获得大规模验证机会，国产化率有望加速提升。  投资建议 建议关注美日荷占据领先地位且国产化率较低的环节，如涂胶显影、原子层沉积、离子注入、量测设备等。推荐北方华创、晶盛机电、中微公司、微导纳米、拓荆科技、新莱应材、芯源微、盛美上海、华海清科、华峰测控、精测电子、华特气体、凯美特气；关注万业企业、长川科技、至纯科技、正帆科技等。  风险提示 下游资本开支不及预期风险，国际贸易摩擦加剧风险，国产化不及预期风险 行业评级: 看好(维持) 分析师：邱世梁 执业证书号：S1230520050001 qiushiliang@stocke.com.cn 分析师：王华君 执业证书号：S1230520080005 wanghuajun@stocke.com.cn 研究助理：王一帆 wangyifan01@stocke.com.cn 相关报告 1 《汽车百人会召开，持续推荐高安全边际锂电设备板块》 2023.04.05 2 《日本限制半导体设备出口；持续推荐工程机械、通用设备、半导体设备 ——机械行业周报（2023 年 4 月第 1 周）》 2023.04.02 3 《工程机械、半导体设备景气向上；新能源设备一季报业绩领先行业》 2023.03.28 行业点评 http://www.stocke.com.cn 2/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 附录 1.2022 年 10 月以来半导体设备行业重点新闻 表1： 美日荷联合封锁中国半导体先进制程；我国半导体设备国产化继续加速 时间 事件 2022 年 10 月 7 日 美国 BIS 更新对华技术制裁措施，对先进算力芯片、先进制程设备、美国技术人员进行限制。禁止用于16nm/14nm 以下先进逻辑芯片、18nm 及以下 DRAM、128 层及以上 NAND 生产的设备和零部件出口中国 2022 年 12 月 15 日 美国商务部将长江存储、寒武纪、ICRD、上海微电子、鹏芯微等 36 家中国实体加入实体清单。 2023 年 1 月 27 日 美日荷达成协议限制向中国出口相关设备，部分 DUV 光刻机可能受限。 2023 年 3 月 2 日 副总理刘鹤在京调研集成电路企业，指出发展集成电路产业要走举国体制。 2023 年 3 月 2 日 国家大基金二期入股长江存储，长江存储增资至 1052 亿。 2023 年 3 月 3 日 美国商务部将浪潮集团、龙芯中科、第四范式等 28 家中国实体列入实体清单。 2023 年 3 月 8 日 荷兰政府表示将跟进美国半导体出口管制措施。ASML 公告光刻机限制将限于 NXT2000i 及以上先进浸没式光刻机，1980Di 光刻机不受出口限制。 2023 年 3 月 16 日 大基金一期公告减持万业企业 1%股份、长川科技 2%股份，主要原因为大基金一期进入回收期。 2023 年 3 月 28 日 中芯集成 IPO 通过，募资 125 亿元。 2023 年 3 月 28 日 商务部部长王文涛会见荷兰阿斯麦公司（ASML）全球总裁温宁克。 2023 年 3 月 31 日 日本政府将从 7 月份开始对 23 种芯片制造设备施加限制。 2023 年 3 月 31 日 国家网信办对美光公司在华销售产品启动网络安全审查。 资料来源：新华社、证券时报、芯智讯、爱集微等整理，浙商证券研究所 附录 2. 关注美日荷垄断环节及国产化率低的环节 2021 年全球营收前 12 半导体设备公司均为美国、日本、荷兰公司，半导体设备产业被三国垄断。美日荷达成协议进行设备管制的背景下，关注国产化率较低的环节及三国优势设备领域的国产化进展。  美国公司：2021 年，全球龙头应用材料在 PVD、CMP、离子注入全球市占率分别为 86%、68%、64%，拉姆研究在刻蚀、ECP 市占率分别为 46%、78%，科磊在量测领域市占率 54%。  日本公司：在涂胶显影、清洗设备占据优势。2021 年日本东京电子涂胶市占率89%、迪恩士清洗设备市占率 40%。  荷兰公司：荷兰光刻机是绝对龙头，原子层沉积处于领先地位。ASML 占据全球96%市场份额，ASMI 的 ALD 设备市占率 45%。中美科技脱钩倒逼半导体设备及零部件国产化提速，国产化率提升有望超预期。 行业点评 http://www.st