专注ALD技术，光伏和半导体双向高成长

敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 专注 ALD 技术，光伏和半导体双向高成长 微导纳米（688147） 公司研究/公司深度 主要观点：  ALD 技术领军企业，聚焦光伏与半导体 公司专注于 ALD 技术，引领国内 ALD 技术的发展应用。公司为国内首家将 ALD 技术规模化应用于光伏领域，也是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的设备公司，并不断在泛半导体领域拓展产品应用外延。 2021 年度和 2022 年前三季度公司营收分别为 4.28 亿元、3.85 亿元，归母净利润分别为 4,611.37 万元、-325.47 万元，截至 2022 年 9 月末，公司已取得在手订单 19.75 亿元。公司前期研发投入高，新产品开拓初期的毛利率有一定影响，规模效应有望带来利润加速回升。  光伏：立足 ALD，新型电池技术全面布局  PERC：公司量产设备镀膜速率突破 10,000 片/小时，打破制约 ALD技术应用于光伏领域的产能限制。2018 年、2019 年公司 PERC 电池背钝化设备装机容量市占率分别为 41.16%、48.41%。  TOPCon：（1）ALD 设备在 TOPCon 电池正面氧化铝工艺中，可沉积超薄的、高深宽比的膜层，更适应正面镀钝化膜的复杂形貌，首先取得较高市占率。（2）公司开发的 PEALD 二合一平台，集成了PEALD 和 PECVD 两种工艺，分别用于制备隧穿层和多晶硅层，有望受益于 TOPCon 路线持续扩产。  IBC：由于平台化技术特征，IBC 可以和 HJT、TOPCon 技术结合，电池制备工艺更为多变。其中，ALD 设备在钝化层的制备中具有重要地位，且需求量往往更高。  HJT：公司 PECVD 技术可以应用于本征非晶硅层沉积，ALD 设备也储备用于 TCO 层沉积。  钙钛矿：ALD 具有衬底温度较低、可精确控制膜厚、大面积生长、薄膜均匀性好、三维保形性好等特点，在 TCO 等功能层、缓冲层和封装中都具备广泛的应用条件。公司根据下游客户需求进行相应储备。  半导体：ALD 技术中的国产替代先行者 随着我国半导体设备市场需求量增长及国产化率提升，国产 ALD 设备市场 空 间 不 打 断 开 ， 带 来 领 先 ALD 设 备 公 司 机 会 。 我 们 预 计2022/2023/2024 我国国产 ALD 设备规模分别为 5.21/6.26/9.59 亿元，yoy+37.42%/20.15%/53.38%。 公司 ALD 技术在泛半导体的各细分领域深度拓展。在逻辑芯片领域，公司为国产首家突破 28nm 制程 High-k 材料沉积技术；在存储芯片领域，公司 ALD 技术可以用于 3D NAND、铁电存储 （FeRAM）等先进存储技术 投资评级：增持（首次） 报告日期： 2023-1-20 收盘价（元） 31.20 近 12 个月最高/最低（元） 32.50/25.08 总股本（百万股） 454.46 流通股本（百万股） 37.59 流通股比例（%） 8.27% 总市值（亿元） 141.79 流通市值（亿元） 11.73 公司价格与沪深 300 指数走势比较 分析师： 张帆 执业证书号：S0010522070003 邮箱： zhangfan@hazq.com 分析师： 徒月婷 执业证书号：S0010522110003 邮箱： zhangfan@hazq.com -20%-10%0%10%20%2022-122023-012023-012023-01微导纳米（前复权）沪深300 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2 / 36 证券研究报告 微导纳米（688147） 领域；在新型显示领域，公司的 ALD 设备布局 OLED/mini LED 等领域，不断拓宽应用外延。  盈利预测、估值及投资评级 我们预测公司 2022-2024 年营业收入分别为 6.02/16.68/22.15 亿元，归母净利润分别为 0.31/1.26/2.59 亿元，2021-2024 年归母净利润 CAGR 为78%，以当前总股本 4.54 亿股计算的摊薄 EPS 为 0.07/0.28/0.57 元。 公司当前股价对 2022-2024 年预测 EPS 的 PE 倍数分别为 463/113/55倍，我们选取光伏及半导体领域镀膜设备领军公司作为可比公司，考虑到公司在 ALD 领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，首次覆盖给予“增持”评级。  风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。 重要财务指标单位:百万元主要财务指标20212022E2023E2024E营业收入4286021,6682,215 收入同比(%)36.9%40.6%177.3%32.8%归属母公司净利润4631126259 净利润同比(%)-19.1%-33.6%310.4%106.6%毛利率(%)45.8%39.8%38.5%38.7%ROE(%)5.2%3.2%11.6%19.5%每股收益(元)0.100.070.280.57P/E307.48463.33112.8954.65P/B16.0514.7813.0710.64EV/EBITDA10.6514.333.921.93资料来源：wind，华安证券研究所 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3 / 36 证券研究报告 微导纳米（688147） 正文目录 1 ALD 技术领军企业，聚焦光伏与半导体 ................................................................................................................................................. 6 1.1 专注 ALD 技术，拓展应用领域 .................................................................................................................................................................. 6 1.2 光伏与泛半导体领域已取得广泛应用 .................................................................................