半导体设备行业点评：国产替代加速，看好清洗设备率先国产化

证券研究报告·行业研究·专用设备 半导体设备行业点评 1 / 11 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Main] 国产替代加速，看好清洗设备率先国产化 增持（维持） 投资要点  受益于下游需求高涨，半导体设备出货额维持高位 2021 年 1-9 月全球半导体行业持续高增，2021 年 1-9 月全球半导体销售额累计为 3915.4 亿美元，同比+23.1%，其中 9 月全球半导体销售额 482.8 亿美元，同比+27.5%。半导体设备出货额维持高位，2021 年 1-9 月全球半导体设备销售额为 752.3 亿美元，同比+45.46%，2021 年 9 月与 10 月北美半导体设备制造商出货额分别达 37.2/37.4 亿美元，同比+35.6%/41.3%，行业高增长主要系下游 5G 应用、人工智能、云计算等需求高增拉动所致。中国市场方面，2021 年 1-9 月中国半导体销售额为 1369.4 亿美元，同比+24.8%；2021 年 1-9 月中国大陆半导体设备销售额为 214.5 亿美元，同比+56.46%，占全球半导体设备销售额 28.5%。  晶圆厂上修资本支出，利好半导体设备厂商 台积电上调 2021 年资本开支至 300-310 亿美元，并宣布未来 3 年将投入1000 亿美元大举扩产。2021 前三季度台积电资本支出 215.8 亿美元，同比+53.6%。中芯国际 2021 前三季度资本开支 23.86 亿美元，同比-45.8%，主要受美国制裁影响，扩产进程有所放缓，其中 Q3 单季度资本开支 10.81亿美元，环比+40.2%，我们认为下游需求持续高增，公司将加快资本开支执行力度，Q4 资本开支将有所改善，利好设备厂商。  国内 FAB 厂商招标持续进行，国产设备商中标率提升 2021 年 9 月以来，1）华力集成：新增设备中标共 8 台，其中国产设备 1台。2）长江存储：新增设备中标共 325 台，其中国产设备 105 台，国产化率 32%。3）中芯绍兴：新增设备中标共 141 台，其中国产设备 59 台，国产化率 42%。4）华虹半导体（无锡）：新增设备中标 11 台，国产设备商中标 4 台。5）积塔半导体：新增设备中标 19 台，国产设备商中标 9 台。  看好清洗设备率先国产化，国内双龙头将步入快速成长期 清洗机的技术门槛相对较低，我们认为比较容易率先实现全面国产化。清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约 5-6%，未来清洗机的占比整线的比例未来有望提高至 10%。全球清洗设备市场由 DNS、TEL、Lam 等海外龙头主导，盛美半导体已在本土实现国产替代突破，2019 年在中国大陆招标的中标占比（按数量）达到 20.5%，我们预计未来到 2025 年清洗设备有望实现 50%国产化率，国产清洗设备双龙头将快速成长。（1）盛美上海以清洗设备起家，已构建起湿法&干法设备并举的半导体设备平台，在湿法工艺下，公司横向拓展先进封装湿法&电镀设备；公司以立式炉管为基础实现干法设备的平台化扩张，前期集中在 LPCVD，再向氧化炉&扩散炉发展，最后应用于 ALD，2020 年公司实现首台设备销售，伴随后续产品放量，进一步打开成长空间。（2）至纯科技：清洗机业务获核心客户重复订单，国产化率提升拓宽成长空间，公司已经具备生产 8-12 寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术。  受益于下游行业高景气，半导体设备精密结构件制造商迎黄金发展期 华亚智能主营半导体设备结构件，受益于半导体设备行业高景气、国产客户渗透率提升，公司业绩高增，同时公司加速扩张产能，2021-2023 年公司结构件年产值规划分别为 4.5/6.5/10 亿元（不含装配业务），三年 CAGR 达 50%，充分释放业绩弹性。公司已切入 AMAT、中微公司等龙头供应链体系，客户壁垒高，公司稀缺性明显，为国内规模最大的半导体设备结构件供应商，扩产及交付优势明显；随着设备国产化加速、公司产品已进入中微公司、北方华创等龙头供应链体系，国产客户渗透率有望持续提升。  投资建议：重点推荐【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头；重点推荐【北方华创】多业务布局的晶圆设备龙头；重点推荐【盛美上海】【至纯科技】国内清洗设备龙头，处于产能扩张阶段；重点推荐【华峰测控】半导体测试机龙头，产品生态不断完善；重点推荐【长川科技】半导体测试设备平台型公司；重点推荐【华亚智能】半导体精密金属件领先供应商；建议关注【华兴源创】半导体测试设备新进入者。  风险提示：晶圆厂扩产不及市场预期；设备国产化不及市场预期。 [Table_PicQuote] 行业走势 [Table_Report] 相关研究 1、《机械设备行业：11 月挖机销量同比-37%，建议关注稳增长板块边际改善趋势》2021-12-12 2、《半导体设备行业点评：国产设备获半导体晶圆激光开槽设备订单，封测环节国产化加速》2021-12-05 3、《锂电设备行业点评：LG 拟融资 13.6 亿美元在北美扩产，建议重视国产设备出海机会》2021-12-01 [Table_Author] 2021 年 12 月 15 日 证券分析师 周尔双 执业证号：S0600515110002 13915521100 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师 朱贝贝 执业证号：S0600520090001 zhubb@dwzq.com.cn 证券分析师 黄瑞连 执业证号：S0600520080001 huangrl@dwzq.com 研究助理 罗悦 luoyue@dwzq.com.cn -9%0%9%17%26%34%2020-112021-032021-072021-11沪深300专用设备(申万) 2 / 11 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 1. 受益于下游需求高涨，半导体设备出货额维持高位 2021 年 1-9 月全球半导体行业持续高增，2021 年 1-9 月全球半导体销售额累计为3915.4 亿美元，同比+23.1%，其中 9 月全球半导体销售额 482.8 亿美元，同比+27.5%。半导体设备出货额维持高位，2021 年 1-9 月全球半导体设备销售额为 752.3 亿美元，同比+45.46%，2021 年 9 月与 10 月北美半导体设备制造商出货额分别达 37.2/37.4 亿美元，同比+35.6%/41.3%，行业高增长主要系下游 5G 应用、人工智能、云计算等需求高增拉动所致。 图 1：2021 年 1-9 月全球半导体销售额累计为 3915.4亿美元，同比+23.1%，其中 9月全球半导体销售额 482.8亿美元，同比+27.5% 图 2：2021 年 9 月与 10 月北美半导体设备制造商出货额分别达 37.2/37.4 亿美元，同比+35.6%/41.3% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 中国市场方