电子行业半导体设备深度专题：从晶圆厂招标数据看半导体设备国产化进展

证券研究报告 请务必阅读正文之后的免责条款 从晶圆厂招标数据看半导体设备国产化进展 电子行业半导体设备深度专题｜2021.11.17 中信证券研究部 核心观点 徐涛 首席电子分析师 S1010517080003 张若海 首席数据科技 分析师 S1010516090001 王子源 电子分析师 S1010521090002 我们通过三座典型晶圆厂的历史招投标数据，归纳整理出半导体设备各细分市场的国产化现状和国产厂商竞争格局。据我们测算，三座典型晶圆厂设备国产化率总体在 15%左右，随供应链本土化趋势，未来有望实现国产化率阶跃式提升。展望 2022 年，在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。 ▍半导体设备市场空间全球约千亿美元，国内市场增速高达 39%，下游扩产持续拉动设备需求。据 SEMI 预测，2021 年全球半导体设备市场规模达 953 亿美元，同比增长 34%，2020 年中国大陆市场同比增速已达 39%，由于晶圆厂扩产加速，国内市场增速显著高于全球。我们预计 2022 年中芯国际、合肥长鑫、华虹集团、长江存储等国内主流晶圆厂均为扩产主力，多个新厂区项目上马料将继续拉动国内设备市场需求。 ▍设备国产替代加速，国产厂商有望迎来加速成长。从行业格局来看，美日欧厂商在半导体设备领域具备传统优势，占据半导体设备全球前 15 名席位。据我们估算，2020 年中国大陆厂商营收体量在全球市场占比仅约 2%。从我们选取的长江存储、华力集成、华虹无锡三座典型晶圆厂招投标数据来看，美国设备厂商份额在 4~5 成，日本厂商份额 3 成左右，国产份额不足 2 成，但过去几年国产设备份额呈现明显上升趋势。 ▍设备国产化率测算：据我们测算，三座典型晶圆厂设备国产化率总体在 15%左右（按照设备台数占比，下同），其中长江存储、华虹无锡、华力集成设备国产化率分别为 16.3%、15%、12.8%。横向对比而言，长江存储在设备国产化方面较为积极，部分原因是 IDM 模式的设备选择自主性相对高于晶圆厂代工厂；华虹无锡与华力集成同属于华虹集团，华虹无锡各类型设备国产化率大多高于华力集成，或主要由于华虹无锡 90nm~55nm 的成熟制程相较于华力集成相对先进的 28~14nm 制程更易于推进设备国产化。 ▍各细分市场格局：我们估算部分领域国产化率可达到 20%以上，部分国产化率尚低。我们对各细分市场格局进行了梳理，其中，（1）去胶：国产化率约74%（据我们测算，下同），屹唐股份、盛美上海等位于国内前列；（2）清洗设备：国产化率约 31%，盛美上海表现突出，设备中标数量仅次于日本迪恩士；（3）氧化扩散/热处理设备：国产化率约 29%，北方华创中标设备数量靠前；（4）刻蚀设备：国产化率约 22%，中微公司、北方华创、屹唐股份分列国内前三；（5）化学机械抛光：国产化率约 21%，华海清科为国内细分龙头；（6）薄膜沉积：国产化率约 4.6%，拓荆科技、北方华创、盛美上海分列国内前三；（7）过程控制：国产化率约 2.4%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先；（8）离子注入：国产化率约 1.4%，烁科中科信是为数不多获得采购的国产厂商；（10）光刻机：国产化率约 1.2%，基本由荷兰厂商阿斯麦垄断，国内上海微电子实现零突破；（11）涂胶显影：国产化率约1.1%，日本东京电子领先，国内芯源微实现零突破。总体而言，国内设备厂商在设备品类、工艺覆盖率方面仍存在较大提升空间，美国制裁华为、中芯国际等事件已经激发国内厂商的供应链安全意识，国内晶圆厂有望加快供应链本土化，我们预计国产设备厂商接下来 1~2 年有望受益国产设备份额的阶跃式提升。 ▍风险因素：下游需求不及预期；国际产业环境变化和贸易摩擦加剧风险；宏观 电子行业 评级 强于大市（维持） 电子行业半导体设备深度专题｜2021.11.17 证券研究报告 请务必阅读正文之后的免责条款 经济增速不及预期；晶圆厂资本开支不及预期；国产设备研发不及预期等。 ▍投资建议：产能扩张+国产替代积极推进，看好未来 1~2 年半导体设备行业发展。展望 2022 年，在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有基本面业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。晶圆厂工艺设备推荐北方华创、中微公司，建议关注盛美上海、屹唐股份、华海清科、拓荆科技、芯源微、至纯科技、精测电子等。测试设备/封装设备方面推荐华峰测控，建议关注长川科技、光力科技等。 重点公司盈利预测、估值及投资评级 代码 简称 收盘价 EPS PE 评级 2020 2021E 2022E 2023E 2020 2021E 2022E 2023E 002371.SZ 北方华创 415.81 1.08 1.69 2.47 3.17 385.0 246.0 168.3 131.2 增持 688012.SH 中微公司 167.68 0.80 1.17 1.44 1.73 209.6 143.3 116.4 96.9 买入 688200.SH 华峰测控 572.03 3.25 8.07 11.80 16.58 176.0 70.9 48.5 34.5 买入 资料来源：Wind，中信证券研究部预测 注：股价为 2021 年 11 月 15 日收盘价 rQrPmOmOmMpNwOmMtPvNnM9PdNaQpNpPmOrQfQoPoPkPnMpQ6MmNoQwMsQwPuOnMsO 电子行业半导体设备深度专题｜2021.11.17 请务必阅读正文之后的免责条款部分 目录 中国大陆产线进展：行业增速 39%，晶圆厂扩产拉动各类半导体设备需求 ..................... 1 设备类型：薄膜沉积、刻蚀、过程控制等设备招标数量较多，均为百亿美金级别市场 ... 3 国产化趋势：美日设备占比最高，国产占比呈现显著上升趋势 ........................................ 6 设备厂商现状：优秀国产厂商涌现，国产替代有望加快 ................................................... 9 1、刻蚀：国产化率 22%，中微公司、北方华创、屹唐股份三强崛起 ............................ 12 2、薄膜沉积：国产化率 4.6%，拓荆科技、北方华创、盛美上海为国产前三强............. 16 3、过程控制：国产化率 2.4%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先 ......... 19 4、氧化扩散/热处理设备：国产化率 29%，北方华创优势较为明显 ............................... 21 5、清洗：国产化率 31%，盛美上海中标设备数量国产最多，仅次于