2025年业绩快报点评：刻蚀业务稳健增长、薄膜业务加速放量

证券研究报告公司研究 / 公司点评2026 年 03 月 03 日半导体刻蚀业务稳健增长、薄膜业务加速放量——中微公司（688012.SH）2025 年业绩快报点评报告原因：买入（维持）投资要点：公司发布 2025 年度业绩快报，符合我们预期：2025 年实现营业收入约 123.85 亿元，同比+36.62%；预计实现归母净利润约 21.11 亿元，同比+30.69%。同期公司研发投入约 37.44亿元，同比+52.65%，研发费用率为 30.23%。刻蚀设备主业维持稳健增长，公司 2025 年刻蚀设备实现销售 98.32 亿元，同比+35.12%，收入占比约 79.39%，为公司核心收入来源。1）行业需求侧来看，多重图案化与 3D 存储结构升级持续提升刻蚀与沉积设备强度。逻辑制程由 7nm 向 5nm 及以下演进，3D NAND 由100+层向 200+层、由单 deck 向双/三 deck 发展，带动单晶圆工艺步数及对应设备 SAM提升至约 1.7–2.0 倍，行业需求呈结构性扩张。2）公司在先进逻辑关键刻蚀及存储超高深宽比刻蚀环节实现稳定量产，CCP 覆盖高深宽比需求；面向下一代逻辑与存储的 ICP 及化学气相刻蚀设备已具备单原子级加工精度与重复性。截至 2025 年底，公司反应台累计装机超7,800 台，覆盖 170 余条芯片及 LED 产线。公司薄膜业务增速显著快于整体，收入占比持续提升；产品矩阵延伸至多领域。公司 LPCVD及 ALD 设备 2025 全年实现销售 5.06 亿元，同比+224.23%，收入占比由 2024 年的 1.72%提升 2.36pct 至 4.09%。产品层面，公司已覆盖先进存储与逻辑器件的多款 LPCVD、ALD设备，近两年新开发十余种薄膜设备并部分实现量产出货，LPCVD 累计出货超 300 个反应台。外延方面，公司硅及 SiGe EPI 设备进入量产验证，减压 EPI 向先进制程延伸。化合物半导体及显示领域，公司保持 GaN 基 MOCVD 设备领先地位，布局 SiC、GaN 功率器件及Micro-LED 方向，部分新品进入验证阶段，SiC 外延及红黄光 LED 设备已付运客户端验证。投资建议：考虑到公司 25 年加强研发投入，我们调整 2025 年归母净利润为 21.11 亿元（前值为 21.81 亿元）。先进逻辑制程推进与高层数 3D NAND 演进带来工艺复杂度提升，推动单线设备投入强度与可服务市场持续扩张，有望提升公司中期业绩增长上限。在刻蚀和薄膜两条核心工艺主线上，公司已切入关键制程并形成批量应用基础，受益路径清晰，具备较强稀缺性与成长弹性。我们预计公司 2025–2027 年归母净利润分别为 21.11/31.58 /42.78亿元,对应同比增长 30.7%/49.6%/35.4%，对应 PE 分别为 103.5x/69.2x/51.1x。维持"买入"评级。风险提示：先进制程及存储扩产节奏不及预期；下游晶圆厂资本开支波动；新产品验证及放量进度低于预期；核心零部件及供应链稳定性风险。市场数据：2026 年 03 月 02 日收盘价（元）349.14一年内最高/最低（元）379.00/164.88市净率10.2股息率（分红/股价）0.09流通 A 股市值（百万元）218,612上证指数/深证成指4,183/14,466注：“股息率”以最近一年已公布分红计算基础数据：2025 年 09 月 30 日每股净资产（元）34.3资产负债率%28.02总股本/流通 A 股（百万）626/626流通 B 股/H 股（百万）-/-一年内股价与沪深 300 指数对比走势：资料来源：聚源数据相关研究《金田股份（601609）2025 年业绩预告点评：回购提振信心，算力领域业务加速放量》2026-02-04《中微公司（688012.SH）：补齐 CMP 关键拼图，平台化战略再进一步》2025-12-19《北方华创（002371.SZ）：收购光学镀膜装备公司，加速关键环节国产替代》2025-12-12证券分析师王凯S0820524120002021-32229888-25522wangkai526@ajzq.com财务数据及盈利预测报告期202320242025E2026E2027E营业总收入（百万元）6,2649,06512,38516,20320,631同比增长率（%）32.1%44.7%36.6%30.8%27.3%归母净利润（百万元）1,7861,6162,1113,1584,278同比增长（%）52.7%-9.5%30.7%49.6%35.4%每股收益（元/股）2.852.583.375.046.83毛利率（%）45.8%41.1%41.8%42.7%42.7%ROE（%）10.0%8.2%9.7%12.6%14.6%市盈率121.1134.5103.569.251.1注：“市盈率”是指目前股价除以各年每股收益;“净资产收益率”是指摊薄后归属于母公司所有者的 ROE数据截至 2026 年 2 月 27 日请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明2公司点评2026 年 03 月 03 日财务预测摘要：资产负债表单位:百万元现金流量表单位:百万元2023A2024A2025E2026E2027E货币资金7,0907,7628,0268,8069,771应收款项1,2131,4452,1952,5533,501存货4,2607,0398,25311,29714,404流动资产15,08717,90119,92023,55128,183长期股权投资1,020870975973958固定资产1,9882,7163,3874,1144,902在建工程849652726813907无形资产687693612541479非流动资产6,4388,3179,90311,52913,374资产合计21,52626,21829,82335,08041,557短期借款00000应付款项1,3051,6802,8192,9673,987流动负债1,3051,6802,8192,9673,987长期借款0722722722722应付债券00000非流动负债79848848848848负债合计3,7026,4827,97510,07712,280股本619622626626626资本公积13,31714,10214,10214,10214,102留存收益3,8805,3117,42210,58014,858归母股东权益17,82619,73721,85225,01029,288少数股东权益-3-1-4-7-11负债和权益总计21,52626,21829,82335,08041,5572023A2024A2025E2026E2027E净利润1,7841,6142,1093,1554,273折旧摊销161248263293328营运资本变动3734,1523,2484,9525,871经营活动现金流-9771,4581,2291,7592,296资本开支8708951,4041,6171,793投资变动2,2022,232164-509-368投资活动现金流1,827646-1