核心装备技术领先，研发与团队夯实成长根基

请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明证券研究报告电子 | 半导体非金融|公司深度报告hyzqdatemark投资评级： 买入（维持）证券分析师葛星甫SAC：S1350524120001gexingfu@huayuanstock.com联系人市场表现：基本数据2025 年 11 月 11 日收盘价（元）306.10一 年 内 最 高 / 最 低（元）342.50/164.88总市值（百万元）191,663.08流通市值（百万元）191,663.08总股本（百万股）626.15资产负债率（%）28.02每股净资产（元/股）34.29资料来源：聚源数据中微公司(688012.SH)——核心装备技术领先，研发与团队夯实成长根基投资要点：技术壁垒深厚，核心产品领跑国产替代。中微公司是国内半导体高端装备龙头，核心产品覆盖等离子体刻蚀设备、MOCVD 设备及薄膜沉积设备，技术实力稳居行业前列。刻蚀设备领域，截至 2025H1，CCP 刻蚀设备累计装机超 4500 个反应台；ICP 刻蚀设备累计装机接近 1200 个反应台，Nanova LUX-Cryo 等机型获重复订单。MOCVD 设备在氮化镓基领域全球领先，PRISMO UniMax 等机型主导高端 Mini-LED 显示外延片市场，同时推进氮化镓、碳化硅功率器件设备研发，2025 年新一代功率设备有望进入客户验证。薄膜沉积设备已推出 6 款产品，钨系列覆盖存储与逻辑关键应用，金属栅系列产品性能达国际先进水平，独创方案实现 60:1 深宽比填充突破，多类产品获头部客户量产订单，持续巩固国产设备技术话语权。研发与团队双轮驱动，成长动能强劲。公司构建了国际化、高学历的核心团队，创始人尹志尧博士拥有三十余年半导体设备经验，2024 年研发人员达 1190 人，占员工总数47.98%，硕博占比 54.71%，跨学科技术储备深厚。研发投入持续加强，2025 年上半年增至 14.92 亿元（yoy：+53.70%），占营业收入比例约为 30.07%，截至 2025 年年中，公司在研项目涵盖六类设备，包含多个关键制程工艺的核心设备开发。同时，公司通过大规模股权激励绑定核心人才，2024 年激励覆盖 1798 人（占比 99.72%），2025 年计划授予不超过 1200 万股限制性股票，考核目标锚定营收增速对标行业均值，为长期创新与业绩增长提供保障。2025 年上半年营收 49.61 亿元、归母净利润 7.06 亿元，LPCVD 设备收入同比激增 608.19%，新品放量推动增长韧性凸显。受益行业高景气，市场空间广阔。全球半导体设备市场规模超千亿美元，2024 年达 1090亿美元，刻蚀设备作为核心环节（Gartner 数据显示 2022 年占比 22%），2024 年全球半导体刻蚀设备市场规模预计为 256.1 亿美元，2024-2029 年 CAGR 预计为 7.6%，AI、5G、3D NAND 等驱动刻蚀工艺复杂度与设备需求提升，3D NAND 向千层堆叠演进更放大高深宽比刻蚀设备价值。国内市场方面，中国大陆半导体设备国产化率快速提升。公司作为国产刻蚀设备领军者，南昌、上海临港基地投产，广州、成都基地规划落地后有望进一步支撑产能扩张，叠加三维立体发展战略，有望持续受益于国内晶圆厂扩产与全球技术竞争，长期成长确定性较高。盈利预测与评级：我们预计公司 2025-2027 年归母净利润分别为 23.25/31.44/42.21 亿元 ， 同 比 增 速 分 别 为 43.90%/35.23%/34.27% ， 当 前 股 价 对 应 的 PE 分 别 为82.44/60.96/45.40 倍。我们选取芯源微、拓荆科技为可比公司，测得同行业可比公司 2025年平均估值为 102.36 倍，鉴于中微公司在刻蚀设备的龙头地位，维持“买入”评级。风险提示：下游客户扩产不及预期的风险、研发风险、上游供应链风险等。盈利预测与估值（人民币）202320242025E2026E2027E营业收入（百万元）6,2649,06511,83115,37219,735同比增长率（%）32.15%44.73%30.51%29.93%28.38%归母净利润（百万元）1,7861,6162,3253,1444,221同比增长率（%）52.67%-9.53%43.90%35.23%34.27%2025 年 11 月 12 日请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明第 2页/共 22页源引金融活水润泽中华大地每股收益（元/股）2.852.583.715.026.74ROE（%）10.02%8.19%10.65%12.74%14.82%市盈率（P/E）107.32118.6382.4460.9645.40资料来源：公司公告，华源证券研究所预测请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明第 3页/共 22页源引金融活水润泽中华大地投资案件投资评级与估值我们预计公司 2025-2027 年归母净利润分别为 23.25/31.44/42.21 亿元，同比增速分别为 43.90%/35.23%/34.27%，当前股价对应的 PE 分别为 82.44/60.96/45.40倍。我们选取芯源微、拓荆科技为可比公司，测得同行业可比公司 2025 年平均估值为 102.36 倍，鉴于中微公司在刻蚀设备的龙头地位，维持“买入”评级。关键假设1）销售专用设备业务：受益于下游晶圆厂持续扩充拉动，以及对应产线国产化程度进一步提升，公司有望持续受益，此外，公司持续推动高端产品更新，下游客户导入进展顺利，伴随持续开拓市场，公司相关业务有望保持快速增长，我们假设销售专用设备业务 2025-2027 年收入同比增长 33.0%/32.0%/30.0%；2）销售备品备件业务：依托专用设备主业的稳健发展，对应公司备品备件业务，以及服务收入业务也有望迎来稳健发展，我们假设两块业务 2025-2027 年收入同比增长有望稳定在 15%。投资逻辑要点产品端，中微公司刻蚀、MOCVD 及薄膜沉积设备技术领先，多机型获客户认可并量产，构筑核心竞争力。研发与团队上，高学历国际化团队支撑，研发投入强度高且新品储备足，股权激励绑定人才，保障成长动力。行业层面，全球半导体设备市场景气，国内刻蚀设备国产替代空间大，公司产能布局完善，有望受益于行业发展。核心风险提示下游客户扩产不及预期的风险、研发风险、上游供应链风险。请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明第 4页/共 22页源引金融活水润泽中华大地内容目录1. 深耕装备制造，驱动半导体产业自主发展....................................................................61.1. 从刻蚀与 MOCVD 起步的技术创新之路................................................................... 61.2. 团队、研发与股权激励并举，打造可持续发展引擎..................................................71.3. 公司