机械行业周报：SEMICON China 2025召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段

请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远 行业研究 太平洋证券股份有限公司证券研究报告 2025 年 03 月 30 日 行业周报 看好 / 维持 机械 机械 SEMICON China 2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段（20250324-20250330） ◼ 走势比较 ◼ 子行业评级 ◼ 推荐公司及评级 相关研究报告 证券分析师：崔文娟 电话：021-58502206 E-MAIL：cuiwj@tpyzq.com 分析师登记编号：S1190520020001 证券分析师：刘国清 电话：021-61372597 E-MAIL：liugq@tpyzq.com 分析师登记编号：S1190517040001 证券分析师：张凤琳 电话： E-MAIL：zhangfl@tpyzq.com 分析师登记编号：S1190523100001 报告摘要 行情回顾 本期（3 月 24 日-3 月 30 日），沪深 300 上涨 0.01%，机械板块下跌 3.56%，在所有一级行业中排名 28。细分行业看，激光加工设备涨幅最大，上涨0.20%；油气装备跌幅最大，下跌 6.78%。 本周观点 SEMICON China 2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段。 2025 年 3 月 26-28 日，SEMICON China 2025 于上海召开，全球 1400 多家知名企业参展，增幅 27%，展位数量突破 5000 个，创历史新高。本次展会，国产企业大放异彩，密集推出新产品，其中：1）北方华创带来多款设备方案，并重磅发布两款新品，首款离子注入机 Sirius MC 313、首款 12 英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，半导体设备版图进一步拓宽。2）盛美上海晶圆级与面板级封装设备亮相，部分新产品包括 Tahoe-SPM 清洗设备、单片高温硫酸清洗设备、面板级先进封装电镀设备等。3）中微公司发布 12 英寸边缘刻蚀设备 Primo Halona，关键工艺全面覆盖再进一步，同时推出多款 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备新产品，并获得了重复性订单，以及新开发硅和锗硅外延 EPI 设备等多款新产品，也将在近期投入市场验证。 4）拓荆科技展示其最新的 ALD 系列、3D-IC 及先进封装系列、CVD 系列新品。5）新凯来首次公开亮相，其从薄膜沉积设备到光学检测系统，展台几乎覆盖了芯片制造的关键环节，为行业带来了新的竞争格局和发展机遇。本次 SEMICON China 展，国产半导体设备厂商技术迈入新阶段，加速国产替代，看好产业链投资机会。 风险提示 宏观经济波动，外部需求波动。 (20%)(10%)0%10%20%30%24/4/124/6/1224/8/2324/11/325/1/1425/3/27机械沪深300 请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远 行业周报 P2 SEMICON China2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段 目录 一、 行业观点及投资建议 ............................................................ 4 二、 行业重点新闻 .................................................................. 4 三、 重点公司公告 .................................................................. 9 (一) 经营活动相关 ................................................................... 9 (二) 资本运作相关 .................................................................. 11 四、 板块行情回顾 ................................................................. 12 五、 风险提示 ..................................................................... 14 请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远 行业周报 P3 SEMICON China2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段 图表目录 图表 1： 中信所有一级行业本周涨跌幅 .................................................. 13 图表 2： 细分行业周度涨跌幅 .......................................................... 13 请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远 行业周报 P4 SEMICON China2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段 一、 行业观点 周核心观点： SEMICON China 2025 召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段。 2025 年 3 月 26-28 日，SEMICON China 2025 于上海召开，全球 1400 多家知名企业参展，增幅 27%，展位数量突破 5000 个，创历史新高。本次展会，国产企业大放异彩，密集推出新产品，其中：1）北方华创带来多款设备方案，并重磅发布两款新品，首款离子注入机 Sirius MC 313、首款 12 英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，半导体设备版图进一步拓宽。2）盛美上海晶圆级与面板级封装设备亮相，部分新产品包括 Tahoe-SPM 清洗设备、单片高温硫酸清洗设备、面板级先进封装电镀设备等。3）中微公司发布 12 英寸边缘刻蚀设备 Primo Halona，关键工艺全面覆盖再进一步，同时推出多款 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备新产品，并获得了重复性订单，以及新开发硅和锗硅外延 EPI 设备等多款新产品，也将在近期投入市场验证。 4）拓荆科技展示其最新的 ALD 系列、3D-IC 及先进封装系列、CVD 系列新品。5）新凯来首次公开亮相，其从薄膜沉积设备到光学检测系统，展台几乎覆盖了芯片制造的关键环节，为行业带来了新的竞争格局和发展机遇。本次 SEMICON China 展，国产半导体设备厂商技术迈入新阶段，加速国产替代，看好产业链投资机会。 二、 行业重点新闻 【工程机械】首批启程！中联重科 300 马力动力换挡拖拉机智护春耕 近日，中联重科首批 20 台 PZ3004 动力换挡拖拉机从河南开封启程奔赴新疆，为当地春耕生产注入智能化动力。作为国产农机领域的创新标杆，中联重科深耕动力换挡技术多年。此前推出的PL2304 动力换挡拖拉机成功填补国内市场空白。此次交付市场终端的 PZ3004 动力换挡拖拉机，通过技术升级进一步优化换挡平顺性与驾乘