芯源微(688037)半导体设备系列报告：前道涂胶显影开始放量，高端机型研发顺利

本报告由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国（仅为本报告目的，不包括香港、澳门、台湾）提供。在遵守适用的法律法规情况下，本信建投（国际）证券有限公司在香港提供。同时请参阅最后一页的重要声明。 证券研究报告·A 股公司简评 半导体设备 前道涂胶显影开始放量，高端机型研发顺利 ——半导体设备系列报告 事件 公司 2022 年前三季度实现营业收入 8.97 亿元，同比增长 63.87%；归母净利润 1.43 亿元，同比增长 169.42%；扣非归母净利润 0.99亿元，同比增长 116.00%。 其中 2022 年第三季度实现收入 3.92 亿元，同比增长 99.93%；归母净利润 0.74 亿元，同比增长 308.63%；扣非归母净利润 0.33亿元，同比增长 104.38%。 简评 前道涂胶显影逐步确认贡献增量，产能陆续释放构筑成长空间 ①前道涂胶显影确收驱动收入表现超预期。公司 2022 年前三季度实现营业收入 8.97 亿元，同比增长 63.87%，其中单三季度收入 3.92 亿元，同比增长 99.93%，业绩超过预期。营收增速较快主要系公司前道涂胶显影设备开始验收放量，贡献业绩增量。 ②规模效应显现，公司盈利能力显著提升。公司前三季度归母净利率为 15.95%，同比增长 6.25pct；扣非归母净利率为 11.05%，同比增长 2.66pct。毛利端：前三季度毛利率为 40.09%，同比增长 0.5pct，处于稳步增长状态，但后续随着前道涂胶显影设备收入占比逐步提高，毛利率或有波动；费用端：公司期间费用率为27.94%，同比减少 5.36pct，整体呈下降趋势，主要系规模效应下各项费用率均有所下降。此外，公司三季度收到商业秘密维权赔偿金 4,000 万，提升非经常性收益金额。 ③新签订单有所波动，但在手订单依旧饱满。新签订单侧，公司三季度末合同负债总额低于二季度末，主要系新签订单金额小于当季度确认收入金额，新签订单出现波动主要系季节性因素；在手订单侧，截至三季度末，公司合同负债金额 6.04 亿元，仍高于2021 年年末，反映公司在手订单充足，未来业绩仍有保障。 ④各大厂区建设顺利，逐步打开产能天花板。截至三季度末，公司沈阳 IPO 项目厂区持续提升交付能力，定增项目上海、沈阳二期厂区目前进展顺利。未来公司将逐步提升产能，满足下游客户需求，提升公司整体营收能力。 维持 买入 吕娟 lyujuan@csc.com.cn 021-68821610 SAC 执证编号：S1440519080001 SFC 中央编号：BOU764 发布日期： 2022 年 11 月 03 日 当前股价： 247.96 元 主要数据 股票价格绝对/相对市场表现（%） 1 个月 3 个月 12 个月 13.72/14.42 38.53/46.4 32.49/47.76 12 月最高/最低价（元） 264.63/91.35 总股本（万股） 9,246.39 流通 A 股（万股） 4,507.3 总市值（亿元） 229.27 流通市值（亿元） 111.76 近 3 月日均成交量（万股） 202.56 主要股东 沈阳先进制造技术产业有限公司 15.5% 股价表现 相关研究报告 22.08.29 【中信建投高端制造】芯源微(688037):业绩维持高速增长，前道涂胶显影设备放量在即——半导体设备系列报告 22.04.30 【中信建投专用设备】芯源微(688037):一季度业绩符合预期，前道产品逐步起量 ——半导体设备系列报告 22.03.10 【中信建投专用设备】芯源微(688037):全年业绩翻倍成长，前道产品快速放量驱动公司持续高增——半导体设备系列报告 -51%-31%-11%9%29%49%2021/11/22021/12/22022/1/22022/2/22022/3/22022/4/22022/5/22022/6/22022/7/22022/8/22022/9/22022/10/22022/11/2芯源微上证指数芯源微(688037) 仅供内部参考，请勿外传 1 A 股公司简评报告 芯源微 请参阅最后一页的重要声明 图表1： 公司多个扩产项目助力公司产能提升，保障交付能力（单位：亿元） 项目时间 项目名称 资金来源 建设周期 总投资 募集金额 预期产能 2019 年 12 月 高端晶圆处理设备产业化项目 IPO 1.5 年 2.4 2.4 形成高端晶圆处理设备（主要包括 8/12 英寸单晶圆前道涂胶/显影机和 8/12 英寸前道单片式清洗机等产品）产业化规模生产能力 2022 年 6 月 上海临港研发及产业化项目 定向增发 2.5 年 6.4 4.7 主要用于研发与生产前道 ArF 光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备 高端晶圆处理设备产业化项目（二期） 2.5 年 2.9 2.3 主要用于前道 I-line 与 KrF 光刻工艺涂胶显影机、前道 Barc（抗反射层）涂胶机以及后道先进封装 Bumping 制备工艺涂胶显影机 资料来源：公司公告，中信建投 前道涂胶显影设备进入收获期，后道封装及小尺寸景气承压下维持稳健 ①前道设备：高产能架构平台验证良好，客户、订单突破纷至沓来。涂胶显影机：2022 年前三季度，公司前道Track 占比进一步提高，其中 In Line 占比更高。2022 年 2 月公司前道领域第三代高产能架构平台机型发往客户进行验证，目前验证情况良好，有望成为公司前道 Track 设备的通用型平台；清洗机：前三季度公司物理清洗机新签订单占总体新签订单超 2 成，持续巩固国内物理清洗机市场龙头地位。与此同时，公司新一代化学清洗机稳步推进，或有望于 2023 年推向市场，进一步提升公司清洗设备覆盖面。 ②后道先进封装及小尺寸设备：目前为公司主要收入来源，小尺寸领域保持稳健增长。2022 年前三季度后道、小尺寸领域设备增速虽不及前道设备，但仍旧为公司主要收入来源，维持相对稳定。后道先进封装：公司后道涂胶显影设备和单片式湿法设备应用于台积电、长电科技、华天科技等主流一线大厂，但受制于行业景气度影响，公司后道领域订单呈现短期波动。小尺寸设备：受益于下游化合物市场的持续向好，公司小尺寸设备业务呈现稳步增长态势，为公司业绩提供重要增量。 投资建议： 公司是国内涂胶显影设备龙头企业，原有后道封装、小尺寸产品持续维护公司业绩基本盘，同时前道涂胶显影设备、清洗设备等产品助力公司产品结构改善。此外，公司持续突破产能瓶颈，提升交付能力，为公司发展不断注入活力。预计公司 2022-2024 年实现收入分别为 13.50、20.53、28.43 亿元，归母净利润分别为1.78、2.29、3.90 亿元，同比分别增长 130.1%、28.6%、70.6%，对应 2022-2024 年 PE 估值分别为 128.8、100.2、58.8 倍，维持“买入”评级。 重要财务指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元) 328.9 828.7 1,350.