电子行业半导体设备板块跟踪点评：持续推荐半导体设备、零部件国产化机会

证券研究报告 请务必阅读正文之后第 5 页起的免责条款和声明 持续推荐半导体设备、零部件国产化机会 电子行业半导体设备板块跟踪点评｜2022.8.4 中信证券研究部 核心观点 徐涛 科技产业联席首席分析师 S1010517080003 王子源 半导体分析师 S1010521090002 我们认为当前正处于全球半导体供应链的大变革阶段，一方面在各国加大政策补贴背景下，产能扩张持续加码，扩产潮下设备企业受益显著；另一方面在施加外部限制背景下，供应链安全得到重点关注，本土设备材料零部件供应商更多承接本土需求，持续获得份额提升。我们认为，中国大陆拥有全球最广泛的电子制造、终端品牌和市场需求优势，下游需求带动上游供应链转移是顺应历史潮流的趋势，一方面，国内在成熟制程领域仍与海外厂商具有充分合作基础，强调商业共赢，另一方面，从供应链安全考量，国产设备、零部件的研发、验证有望加速，建议关注国产化趋势下设备、零部件的发展机遇。 ▍美国参众两院已通过芯片法案，推动芯片制造回流美国。美国提出 5 年内为半导体行业提供 527 亿美元补贴的“芯片与科学法案” （CHIPS and Science Act of 2022），2022 年 7 月 19 日、7 月 28 日，美国参议院、众议院分别以 64 票赞成对 33 票反对、243 票赞成对 187 票反对，通过了该“芯片与科学法案”，该法案在总统拜登签署后即可生效。法案目的是强化美国本土的晶圆厂建设，减少对亚洲制造商的依赖。扶持对象以全球龙头芯片制造企业为主，如英特尔、三星、台积电和格芯等，通过补贴以及四年 25%的投资税收抵免等措施鼓励其在美国建设先进芯片制造工厂。法案同时规定受到芯片法案资助的公司十年内禁止在中国大陆、伊朗、朝鲜和俄罗斯建设或扩建先进晶圆厂。 ▍除美国外，全球多个经济体此前陆续推出本土芯片扶持计划，包括欧盟、日本、韩国、印度等，芯片制造本土化趋势明显，促进设备采购需求。欧盟委员会于2022 年 2 月 8 日推出《欧洲芯片法案》(European Chips Act)，拟动员超过 430亿欧元（约 480 亿美元）的公共和私人投资强化欧洲的芯片研究、制造，目标是到 2030 年将欧盟的芯片产能全球占比从目前的 10%提高到 20%。日本于2022 年 1 月初亦通过一项芯片补贴法案，总计 6000 亿日元（约 52 亿美元）的预算将用于支持芯片制造商，其中向台积电提供 4000 亿日元（约 34.7 亿美元）的补贴。2021 年 5 月，韩国发布“K 半导体战略”，宣布未来十年将携手三星电子、SK 海力士等 153 家韩国企业，投资 510 万亿韩元（约 4510 亿美元），目标是将韩国建设成全球最大的半导体生产基地，引领全球的半导体供应链。2021 年 12 月，印度政府亦批准一项约 100 亿美元的激励计划，旨在吸引全球芯片及显示器制造商进入印度。 ▍在各地区补贴政策支持下，半导体制造企业积极扩大产能。根据研究机构 SEMI的预估，2020-2021 年，全球共有 34 个新晶圆厂投入使用，2022-2024 年，全球计划有 58 个新晶圆厂投入使用，这将使得全球芯片产能提高约 40%。其中，台积电 2022 年计划建设两座海外工厂，分别为美国亚利桑那州 Fab21 以及日本熊本工厂，目前均已经开始建设；英特尔宣布在美国俄亥俄州投资 200 亿美元建造至少两座晶圆厂，计划 2025 年投产，还计划在德国马格德堡市投资 190亿美元建造至少两家晶圆厂；三星宣布将耗资 170 亿美元在美国德克萨斯州建立一座芯片生产基地，最快在 2024 年投产。中国大陆企业亦加速扩产，2020年 6 月，总投资 240 亿美元的长江存储项目二期开工；2021 年 9 月，中芯国际宣布投资 88.7 亿美元在上海市建设新的半导体工厂中芯东方；2021 年 6 月，长鑫存储项目二期开工，项目的三期总投资超过 2200 亿元（约 325 亿美元）。 ▍全球扩产带动半导体设备交期延长，半导体设备厂商在手订单饱满。TrendForce调研数据显示，全球半导体设备交期再度延长至 18~30 个月不等，因此全球制造厂商的成熟及先进制程布局均受到影响，整体扩产计划递延约 2~9 个月不等。设备中 DUV 光刻机缺货情况最为严重，其次为 CVD/PVD 沉积及蚀刻设备等。在全球设备需求暴增的背景下，相较于海外设备，国产设备交期相对较好，在配 电子行业 评级 强于大市（维持） 股票报告网 电子行业半导体设备板块跟踪点评｜2022.8.4 请务必阅读正文之后的免责条款和声明 2 套服务、响应速度方面具有优势，供应链安全方面具有保障，均实现了营收快速增长。据各公司披露，中微公司预计 2022H1 营业收入 19.7 亿元，同比+47.1%；北方华创预计 2022H1 营业收入 50.52~57.73 亿元，同比+40%~60%。 ▍外部限制加码，设备供应安全得到重点关注。近期美国在半导体领域陆续施加对华限制：（1）据彭博社报道，7 月 27 日，泛林半导体（LAM Research）CEO在财报会中表示已收到美国商务部通知，将限制 14 纳米及以下先进制程设备销往中国大陆；（2）据路透社 8 月 1 日报道，美国正在考虑限制向中国大陆出口用于 128 层以上 NAND Flash 存储芯片的美国半导体制造设备；（3）据外媒Protocol 8 月 2 日报道，美国拟限制对华出口用于 GAA 技术（用于 3nm 及以下芯片）的芯片设计 EDA 软件。此外，美国 2022 年 3 月拉拢日本、韩国、中国台湾提议筹组“Chip 4 联盟” ，并计划 8 月下旬启动工作层面会议，一方面稳固芯片供应，另一方面以期牵制中国大陆。目前，韩国在存储行业、日本在设备与材料行业、中国台湾在晶圆代工制造行业均占据领先地位，美国意在联合以上地区搭建对华的半导体供应链壁垒。 ▍下游需求庞大，供应链安全考量催化国产设备、零部件的研发、验证，相关国产厂商有望崛起。中国大陆拥有全球最广泛的电子制造、终端品牌和市场需求基础，带动国产芯片采用和本土芯片制造规模成长。近年来。中国大陆本土产能快速增长拉动庞大的设备需求，根据 SEMI 数据，中国半导体设备市场规模从2017 年的 82.3 亿美元提升至 2021 年的 296.2 亿美元，四年 CAGR 为 37.7%，对应全球市场占比也从 14.5%迅速提升至 28.9%，成为半导体设备的最大市场。我们认为，国内 28 纳米及以上成熟制程扩产或暂不受影响，否则将冲击全球芯片供应链、加剧缺芯并打击美国本土设备供应商。中国大陆目前是美国半导体设备企业销售的第一大地区，在应用材料、泛林（Lam Research）、科天（KLA）的收入占比分别为 33%/32%/29%，在东京电子（TEL）和阿斯麦（ASML）的收入占比分别 26%/15%，中国大陆与美国设备企业在成熟制程领域仍具有充分合作的基础。国内目前扩产中 28 纳米及以上仍占主流，我们认为成熟制程部分受到完全封锁的可能性较小，扩产或