半导体设备行业月报：预期差仍然存在，板块具备配置价值

证券研究报告·行业月报·专用设备 东吴证券研究所 1 / 21 请务必阅读正文之后的免责声明部分 半导体设备行业月报 预期差仍然存在，板块具备配置价值 2022 年 06 月 22 日 证券分析师 周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师 黄瑞连 执业证书：S0600520080001 huangrl@dwzq.com.cn 行业走势 相关研究 《天合光能垂直一体化布局，利好各环节龙头设备商》 2022-06-20 《高景再扩 50GW 拉晶、30GW切片，利好龙头硅片设备商》 2022-06-07 《华润电力 12GW 异质结项目开启基建招标，设备订单有望年内落地利好龙头设备商》 2022-05-27 增持（维持） [Table_Summary] 投资要点 ◼ 晶圆制造环节景气度较高，半导体设备行业景气度有望延续 2022 年 1-4 月全球&中国大陆半导体销售额分别为 2023 和 673 亿美元，分别同比+24%和+19%，延续高速增长。短期来看，新能源等需求旺盛&疫情缓解，2022 全年本土半导体行业景气度不必悲观。1）2022 年 5月我国新能源汽车销量、产量分别达到 44.7 和 46.6 万辆，分别同比+106%和+115%；2022 年 1-5 月累计销量、产量分别达到 199.5 和 206.3 万辆，分别同比+113%和+113%，需求依旧旺盛，对半导体需求持续大幅提升。2）随着上海封控解除、物流全面恢复，短期压制因素也正在快速缓解。 对于半导体设备，高基数背景下，市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下，下游客户资本开支下降。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，2022Q1 中芯国际、华虹半导体产能利用率均超 100%，产能吃紧。2022 年下游客户资本开支仍有保障，本土半导体设备行业景气度有望延续。 ◼ 晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-5 月国产化率约 30% 我们以近期规模化公开招标的华虹无锡、积塔半导体、福建晋华、华力集成和华虹宏力为统计标本。1）整体来看，2022 年 1-5 月 5 家晶圆厂合计完成招标 520 台，其中 1-5 月份分别完成招标 57、8、171、178 和 106台，3 月份以来明显提升。2）细分设备来看，2022 年 1-5 月份薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备、炉管设备招标完成量较大，占比分别为 17%、14%、13%和 18%。3）细分晶圆厂来看，2022 年 1-5 月份华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成招标 325、170 和 20 台。 国产化率方面，2022 年 1-5 月份 5 家晶圆厂合计完成国产设备招标160 台，国产化率约 31%。1）细分晶圆厂来看，2022 年 1-5 月华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成国产设备招标 59、93 和 8 台，国产化率分别为 18%、55%和 40%；2）细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、CMP 设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机等环节国产化率较高，分别为 37%、44%、47%、35%、83%、60%和 56%。3）细分供应商来看， 2022 年 1-5 月北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、华海清科在上述5 家晶圆厂分别完成中标 55、13、12、14 和 8 台，表现十分突出。 ◼ 行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔 短期来看，本土半导体设备企业已经进入业绩兑现期。2021-2022Q1十家半导体设备企业合计实现营业收入237和60亿元，同比+56%和+57%，延续高速增长。截至 2022Q1 末，十家企业存货和合同负债合计分别达到208 和 95 亿元，均达到历史最高值，保障 2022 年业绩延续高速增长。 中长期来看，晶圆产能东移&国产替代逻辑长期存在，驱动本土半导体设备市场需求稳定增长，行业需求景气度有望长期延续。1）晶圆产能东移：2021-2022 年全球新增晶圆厂 29 座，其中中国大陆 8 座，占比达到27.59%。集微咨询预计中国大陆未来 5 年还将新增 25 座 12 英寸晶圆厂，总规划月产能将超过 160 万片，本土对半导体设备需求有望长期维持高位；2）国产替代：2020 年中国大陆晶圆设备国产化率仅 7.4%，大部分环节不足 10%，国产替代空间广阔。在半导体行业增速放缓的背景下，设备环节进口替代逻辑将日益凸显。中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业整体的业绩弹性。 ◼ 投资建议：下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022 年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐【拓荆科技-U】、【华海清科】、【长川科技】、【芯源微】、【至纯科技】、【北方华创】、【中微公司】、【华峰测控】、【盛美上海】。建议关注【万业企业】、【精测电子】。 ◼ 风险提示：下游资本开支不及预期、设备国产化不及预期等。 -27%-22%-17%-12%-7%-2%3%8%13%18%2021/6/222021/10/212022/2/192022/6/20专用设备沪深300 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 行业月报 2 / 21 内容目录 1. 晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平 .................................................. 4 1.1. 新能源等需求旺盛&疫情缓解，本土半导体行业景气度不必悲观 ..................................... 4 1.2. 晶圆厂资本开支仍处于高位，半导体设备需求维持在较高水平......................................... 7 2. 晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-5 月国产化率约 30% ................................................... 9 2.1. 招标量：1-5 月份合计完成招标 520 台，华虹无锡贡献主要份额 ...................................... 9 2.2. 国产化率：1-5 月份达到 31%，涂胶显影&刻蚀等环节表现优异 ..................................... 12 2.3. 部分本土半导体设备企业中标明细汇总............................................................................... 15 3. 行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔 ................................................................. 17 3.1. 存货&合同负债达到历史最高峰，2022 年业绩高增长有强支撑 ...................................