国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期（2022年06月）：积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022 年 6 月 20 日 行业研究 积塔/华虹招标 53/49 台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标 15/14/11 台 ——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 12 期（2022 年 06 月） 电子行业 国内半导体设备 5 月招投标数据（仅限于已公布的数据） 国内晶圆厂商招标数据： 华虹半导体：CVD+1 台，ALD+1 台，干法刻蚀+3 台，湿法刻蚀+2 台，前道检测+2 台，前道计量+2 台，后道测试机+16 台，探针台+19 台，后道封装+3 台； 上海积塔半导体：PVD+7 台，CVD+15 台，ECP+1 台，光刻机+4 台，干法刻蚀+5 台，湿法刻蚀+1 台，前道检测+4 台，湿法清洗+3 台，去胶+2 台，涂胶显影+3 台，化学机械研磨+5 台，退火+1 台，氧化扩散+2 台； 福建晋华：CVD+1 台，前道检测+2 台，前道计量+3 台，退火+2 台，离子注入+1 台； 燕东微电子科技：前道计量+1 台，湿法清洗+1 台，离子注入+5 台，后道测试机+3 台； 华力微电子：干法刻蚀+1 台，离子注入+1 台； 上海新微：PVD+1 台，干法刻蚀+1 台，前道检测+1 台，抛光研磨机+1 台，氧化扩散+1 台，后道封装+5 台； 国内设备厂商中标数据： 北方华创：PVD+8 台，干法刻蚀+2 台，湿法清洗+2 台，氧化扩散+2 台； 中微公司：干法刻蚀+2 台；芯源微：涂胶显影+15 台；沈阳拓荆：CVD+11 台； 上海微电子：光刻机+1 台，缺陷检测显微镜+4 台； 屹唐半导体：退火+1 台； 华海清科：化学机械研磨+7 台； 上海精测半导体：前道检测+1 台； 中科飞测：前道检测+1 台，前道计量+4 台； 新益昌：粘片机+3 台； 半导体设备行业景气度数据： 半导体设备销售额 2021-2023 年：全球分别为 1026/1143/1134 亿美元，同比+44.2%/+11.4%/-0.8%（SEMI 21 年 12 月预测）；中国大陆分别为 296/355/369亿美元，同比+58.2%/+19.7%/+4.0%（光大证券研究所 22 年 6 月预测）。 2022 年 5 月：中国台湾半导体设备进口额为 27.14 亿美元，同比增长 32.9%；台积电营业收入为 1857.05 亿新台币，同比增长 65.3%。 2022 年 4 月：中国半导体销售额为 167.3 亿美元，同比增长 13.3%；中国半导体器件用机器及装置进口额累计值为 439.78 亿元，同比减少 1.5%。 2022 年第一季度：全球半导体设备销售额为 246.9 亿美元，同比增长 4.8%；中国大陆半导体设备销售额为 75.7 亿美元，同比增长 27.0%。 半导体设备行业投资建议：建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业、华海清科、光力科技、华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）。 半导体材料行业投资建议：建议关注神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。 风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 买入（维持） 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 行业与沪深 300 指数对比图 资料来源：Wind 相关研报 华虹半导体招标 88 台，上海积塔半导体招标 77台，北方华创中标 39 台——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 11 期（2022 年 05 月）（2022-5-16） 北方华创中标 25 台，盛美上海中标 11 台，华虹半导体招标 141 台——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 10 期（2022 年 04 月）（2022-4-17） 上海积塔半导体招标 5 台，燕东微电子招标 11台——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 9期（2022 年 03 月）（2022-3-15） 华虹半导体招标 50 台，至纯科技中标 8 台清洗设备——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 8 期（2022 年 02 月）（2022-02-20） 长川科技中标 14 台测试机和 30 台分选机，光力科技中标 10 台划片机——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 7 期（2022 年 01 月）（2022-01-13） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 电子行业 1、 半导体设备及材料最新观点 半导体设备及材料行业景气度与国产替代进度、晶圆厂扩张以及技术迭代息息相关，国产替代进度和晶圆厂扩张决定着当前景气周期内对国产半导体设备及材料的需求，而技术创新带来的技术迭代则不断驱动着半导体设备及材料的需求长周期持续向上，国产替代是本轮半导体设备及材料景气度高企的核心驱动力。 半导体设备与新建产线关联度较高，具备周期性强、空间大等特点，半导体材料有耗材属性，具备周期性弱、持续性好等特点。 目前大力提高中国大陆半导体设备及材料供应商的竞争力，对保障中国半导体产业链安全具有显著的溢出效益，有助于大大降低美国等出口管制所带来的风险。因此，尽管存在巨大的进入壁垒，中国政府将继续重点支持本⼟的半导体设备及材料行业，即使在中美关系缓和以及设备松绑的情况下，国产化大趋势不变。 2021 年很多国产半导体设备及材料实现了 0-1 的跨越，2022 年将逐步进入到1-N 的放量过程，预计国产替代的速度将不断加快，我们持续看好半导体设备及材料国产替代的逻辑，是未来的长周期优质赛道。 图表 1：半导体设备行业指数（申万）及沪深 300 指数 图表 2：半导体设备行业市盈率（申万） 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 图表 3：中国台湾半导体行业指数及加权指数 图表 4：费城半导体指数及纳斯达克综合指数 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-06-17； 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 电子行业 1.1、 全球半导体设备行业展望 根据国际半导体产业协会（SEMI）2021 年 12 月 14 日公布的《年终总半导体设备预测报告》和 2022 年 4 月 13 日公布的《全球半导体设