半导体材料行业深度专题：靶材，国产替代大势，十倍空间可期

请务必阅读正文后的重要声明部分 [Table_IndustryInfo] 2020 年 11 月 16 日 强于大市(维持) 证券研究报告•行业研究•有色金属 半导体材料深度专题 靶材：国产替代大势，十倍空间可期 投资要点 西南证券研究发展中心 [Table_Author] 分析师：邱培宇 执业证号：S1250520070001 电话：021-58351893 邮箱：qiupy@swsc.com.cn [Table_QuotePic] 行业相对指数表现 数据来源：聚源数据 基础数据 [Table_BaseData] 股票家数 122 行业总市值（亿元） 18,559.88 流通市值（亿元） 16,360.25 行业市盈率 TTM 43.32 沪深 300 市盈率 TTM 14.9 相关研究 [Table_Report] 1. 新疆众和（600888）：三季度业绩大增，拟配股募资投资高纯铝产品 (2020-10-28) 2. 隆华科技（300263）：业绩持续高增长，拟收购兆恒科技 26.6%股权 (2020-10-22) 3. 江丰电子（300666）：业绩大幅提升，靶材国产替代加速(2020-08-31) 4. 阿石创（300706）：业绩承压，定增提升靶材产能(2020-08-31) 5. 有色行业专题报告：全球钴供给增速平稳，供需将现缺口 (2020-08-17) 6. 有色专题：库存周期视角下，有色商品价格怎么走？ (2020-07-28) 7. 有色行业专题报告：未来五年钴下游需求测算 (2020-07-27) [Table_Summary]  从行业角度看，国内靶材市场至少有十倍的进口替代空间。靶材是半导体、显示面板、异质结光伏领域等的关键核心材料，存在工艺不可替代性。目前全球顶级靶材供应商主要有四家：JX 日矿金属、霍尼韦尔、东曹和普莱克斯，合计垄断全球 80%的中高端市场份额和 90%的全球晶圆制造靶材市场份额，其中 JX 日矿金属垄断全球 30%的芯片靶材市场份额，规模最大。据测算 2019年全球靶材市场规模在 160 亿美元左右，而国内总需求占比超 30%。本土厂商供给约占国内市场的 30%，以中低端产品为主，高端靶材主要从美日韩进口，当前国内头部企业靶材合计营收在 30-40 亿元范围，占国内总需求 10%左右。国家 863 计划、02 专项、进口关税、材料强国战略等政策大力扶持，国产替代势在必行且空间巨大，优质订单也将持续向第一梯队企业聚集。  平板显示：享受产业链大迁徙中的红利。2020 年全球平板显示靶材市场规模约 52 亿美元，复合增速约 8%。国内市场规模约 165.9 亿元，复合增速约 20%，全球占比约 47%。未来发展趋势是：4N 级高纯、大尺寸、高溅射率、晶粒晶向精确控制。在全球面板行业的几轮大周期中，产业链在变迁中重新分布：“美国起源→日本发展→韩国超越→台湾崛起→大陆发力”。以低成本、高质量的优势，国内快速推进 LCD 面板国产化，逐步抢占三星、LG 等市场份额，上游原料端的国产化率持续提升。  芯片：垄断“围剿”下的单点突破。2020 年全球半导体靶材市场规模达 15.67亿美元，我国半导体靶材市场规模约 29.86 亿元，日美厂商垄断 90%的芯片靶材市场份额。芯片是靶材最顶尖的应用领域，主要在“晶圆制造”和“芯片封装”两个环节使用，其中介质层、导体层、保护层都要使 5N 级以上纯度的靶材溅射镀膜，先进制程要求更高纯度的金属。芯片靶材具有多品种、高门槛、定制化研发的特点，以铜、钽、铝、钛为主，构建起集成电路中的电路互连导体。伴随 5G 的崛起和全球晶圆制造产能转移，大基金及政策支持，国内芯片制造市场发展加速。竞争态势正从“高度垄断”到政策扶持“单点突破”阶段。  ITO：LCD、OLED、异质结光伏技术构建需求格局。ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近 50%。“常压烧结法”是制备 ITO 靶材的主流技术，制粉纯度要求为 4N-5N 级。日韩企业处于 ITO 靶材垄断地位，日矿和三井占据高端 TFT-LCD 用 ITO 靶材市场。在国家政策的扶持下，晶联光电、先导、阿石创等国内 ITO 靶材企业正逐渐突破关键技术，在性价比和响应速度方面构建壁垒。  高纯金属是制作靶材的核心原材料，5N 级任重道远。全球范围内高纯金属产业集中在美国、日本等国家，国产靶材的大部分高纯原料依赖进口，铜钛铝小部分可以自给。挪威海德鲁是全球 5N5 级高纯铝最大的公司。  相关标的推荐：江丰电子、隆华科技、阿石创、新疆众和。  风险提示：下游需求疲弱、靶材国产化进程不及预期、研发进展不及预期。 -9%2%13%24%36%47%19/1120/120/320/520/720/920/11有色金属 沪深300 半导体材料深度专题 请务必阅读正文后的重要声明部分 目 录 1 什么是靶材？——“被忽视”的核心耗材 ...................................................................................................................... 1 1.1 靶材是溅射镀膜工艺的轰击目标 ..................................................................................................................................... 1 1.2 工艺：高纯、塑形、热处理、溅射应用 ......................................................................................................................... 3 1.3 分类：铜、铝、钼和 ITO 靶最为常见 .............................................................................................................................. 6 2 为何有十倍市场空间？——“卡脖子”垄断下的突围战 ............................................................................................... 7 2.1 美日龙头垄断，国产替代大势，十倍空间可期 ............................................................................................................. 7 2.2 全球靶材市场空间测算：2020 年约 196 亿美元，复合增速 14% ........