富创精密2025年半年度报告

沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告1 / 236公司代码：688409公司简称：富创精密沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告2 / 236重要提示一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。二、 重大风险提示报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。三、 公司全体董事出席董事会会议。四、 本半年度报告未经审计。五、 公司负责人郑广文、主管会计工作负责人张璇及会计机构负责人（会计主管人员）栾玉峰声明：保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。六、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案不适用七、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项□适用 √不适用八、 前瞻性陈述的风险声明√适用 □不适用本报告所涉及的公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，请投资者注意投资风险。九、 是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况否十、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况否十一、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否十二、 其他□适用 √不适用沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告3 / 236目录第一节释义.......................................................................................................................................... 4第二节公司简介和主要财务指标......................................................................................................7第三节管理层讨论与分析................................................................................................................11第四节公司治理、环境和社会........................................................................................................32第五节重要事项................................................................................................................................ 34第六节股份变动及股东情况............................................................................................................74第七节债券相关情况........................................................................................................................81第八节财务报告................................................................................................................................ 82备查文件目录载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管人员）签名并盖章的财务报表报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告4 / 236第一节释义在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：常用词语释义公司、本公司、富创精密、沈阳富创指沈阳富创精密设备股份有限公司沈阳先进指沈阳先进制造技术产业有限公司，曾用名“沈阳先进制造技术产业发展有限责任公司”，为公司第一大股东辽宁科发指辽宁科发实业有限公司，曾用名“辽宁科发实业公司”，为公司股东泰州祥浦指泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙），曾用名“宁波祥浦创业投资合伙企业（有限合伙）”，为公司股东上海国投指国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙），为公司股东宁波芯富指宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙），为公司股东，公司员工持股平台之一宁波芯芯指宁波芯芯投资管理合伙企业（有限合伙），为公司股东，公司员工持股平台之一宁波良芯指宁波良芯投资管理合伙企业（有限合伙），为公司股东，公司员工持股平台之一辽宁中德指辽宁中德产业股权投资基金合伙企业（有限合伙），为公司股东北京亦盛指北京亦盛精密半导体有限公司沈阳强航指沈阳强航时代精密科技有限公司，为公司控股子公司拓荆科技指拓荆科技股份有限公司，曾用名“沈阳拓荆科技有限公司”，上交所科创板上市公司，证券代码：688072.SH，国内半导体领域薄膜沉积设备龙头企业之一，为公司客户，同时为公司关联方半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体器件根据世界半导体贸易统计组织（WSTS）定义可分为集成电路（IC）、分立器件、光电子和传感器，广泛应用于下游通信、计算机、消费电子、网络技术、汽车及航空航天等产业IC、集成电路指Integrated Circuit，指通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻器、电容器等无源元件按一定的电路互联并集成在半导体晶片上，封装在一个外壳内，执行特定功能的电路或系统，是半导体器件中主要的组成部分芯片指集成电路载体，是集成电路经设计、制造、封装、测试后的结果前道指集成电路芯片制造的前道工序，是把衬底材料（目前集成电路主要是硅衬底）加工成包含成千上万个芯片的工艺过程，指的是从制造器件结构到进行金属互联，一直到最后的表面钝化的过程晶圆指在氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光、金属化等特定工艺加工过程中的硅片刻蚀（ETCH）指用化学或物理方法有选择地在硅片表面去除不需要的材料的过程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主沈阳富创精密设备股份有限公司2025 年半年度报告5 / 236要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤薄膜沉积指半导体制造中任何在硅片衬底上沉积一层膜的工艺。这层膜可以是导体、绝缘物质或者半导体材料。沉积膜可以是二氧化硅、氮化硅、多晶硅以及金属。薄膜沉积设备在半导体的前段工序 FEOL（制作晶体管等部件）和后段布线工序 BEOL（将在 FEOL 制造的各部件与金属材料连接布线以形成电路）均有多处应化学气相沉积（CVD）指C