专用设备行业半导体设备系列报告:双重国产替代趋势叠加,半导体设备零部件市场星辰大海

本报告由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国(仅为本报告目的,不包括香港、澳门、台湾)提供。在遵守适用的法律法规情况下,本报告亦可能由中信建投(国际)证券有限公司在香港提供。同时请务必阅读正文之后的免责条款和声明。 证券研究报告·行业深度 双重国产替代趋势叠加,半导体设备零部件市场星辰大海——半导体设备系列报告 核心观点 半导体设备零部件板块正处于双重自主可控趋势叠加的背 景下:一方面 AI 驱动下游扩产景气周期开启,中国大陆半导体 设备整机端要求自主可控,设备端国产化率提升背景下,零部件 市场整体空间打开;另一方面,关键零部件整体国产化率偏低, 高端产品国产替代尚处于早期。建议关注①低国产化率品类的国 产替代与突破进展;②国产化进展顺畅品类的快速放量带动上市 公司业绩改善。 摘要 半导体设备零部件空间广阔,海外限制下国产替代加速推进 集成电路上游核心环节,零部件技术进步推动设备制程提升。半导体设备精密零部件行业是半导体设备行业的支撑,以百 亿美金市场支撑着千亿美金设备市场及万亿美金终端市场,设备 的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破,从而半导 体精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量 较高的环节之一,也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一。 双重国产替代趋势下,半导体设备零部件有望贡献更高弹性。趋势一:2021 年以来半导体设备国产化水平快速提升。国内半导体设备国产化率从 2018 年的 4.91%提升至 2024 年的 18.02% ,呈现持续攀升的趋势,且 2021 年以来提升幅度大幅增长,设 备端国产替代进入加速期,我们判断后续半导体设备国产化率将 持续提升。趋势二:上游零部件国产化水平亟待提升。中国大陆半导体设备零部件国产化率持续提升,但整体仍处于低位。随着 外部制裁逐步从设备整机向上游零部件延伸,零部件国产化水平 亟待提升。双重国产替代趋势叠加背景下,我们认为零部件板块的国产化放量弹性将高于整机。 半导体设备零部件市场空间广阔。半导体设备零部件是半导体设备成本的主要来源,零部件市场约为全球半导体设备市场 规模的50%-55%,伴随本轮 AI 需求驱动下全球半导体设备景气 周期开启,预计 2027 年全球、中国大陆半导体设备零部件市场 分别为858.00 亿美元、343.20 亿美元。 卡脖子品类国产化率亟待提升,放量品类有望贡献业绩拐点 以高端产品替代海外供应商角度来看,半导体设备零部件国产化突破尚处早期阶段。分品类来看,机械类、气体/液体/真空系统类 维持 强于大市 许光坦 xuguangtan@csc.com.cn SAC 编号:S1440523060002 SFC 编号:BWS812 吴雨瑄 wuyuxuan@csc.com.cn SAC 编号:S1440525070008 陈宣霖 chenxuanlin@csc.com.cn SAC 编号:S1440524070007 发布日期: 2026 年 02 月 23 日 市场表现 相关研究报告 -12%8%28%48%68%2025/2/172025/3/172025/4/172025/5/172025/6/172025/7/172025/8/172025/9/172025/10/172025/11/172025/12/172026/1/17专用设备上证指数专用设备 行业深度报告 专 用设备 请务必阅读正文之后的免责条款和声明。 等基础部件已具备一定自主供给能力,部分产品实现批量替代并进入国际市场,但高端型号仍受制于国外厂商;电气类、机电一体类作为设备性能的核心支撑,虽已有本土企业参与,但核心技术(如高稳定性射频电源、精密运动控制模块)仍由国际巨头主导,国产化率整体偏低;光学类、仪器仪表类则处于技术壁垒最高的环节,其对精度、稳定性和一致性要求极高,目前国产化率普遍较低,尚未形成规模化应用,高端产品基本依赖进口。 快速发展的行业需求有望加速零部件层面的研发及量产突破,具体到各细分品类来看后续设备零部件的发展趋势:①机械类零部件:关注金属零部件产能释放与陶瓷零部件国产替代;②机电一体类零部件:通用性零部件国产放量在即,关注光刻相关子系统突破进展;③气体/真空/液体系统类零部件:泵阀国产替代相对早期,看好国产气体输送模组等高集成度产品放量;④电气类零部件:关注国产射频电源供应商突破及放量进展;⑤光学类零部件:欧美仍居行业领先地位,建议关注国内市场核心供应商光学能力突破;⑥仪器仪表:国产化率极低的卡脖子赛道,关注 MFC 等品类美日替代进展。 投资建议 随着国产零部件供应商的持续研发突破与放量,我们认为当前时间点对于零部件板块的投资更多聚焦于细分品类的赛道投资:一方面,关注对低国产化率赛道的投资,期待相关品类研发-送样-小批量的持续突破,如EFEM、机械手、真空泵/分子泵、阀门、静电卡盘、射频电源、MFC、光刻机相关零部件(双工件台/浸液系统、光学类零部件等);另一方面,关注国产化进展顺畅、业绩逐步释放的品类投资,如机械大类金属零部件、气体输送子系统 GAS BOX 等。 公司方面,①低国产化率赛道:推荐茂莱光学、新莱应材、汉钟精机、英杰电气(电新组覆盖)等;②产 品 放量落地、业绩释放赛道:推荐富创精密、正帆科技、先锋精科、盛剑环境、华亚智能等。 风险提示 无法跟随工艺制程演进及半导体设备更新迭代的风险、技术人才流失与核心技术泄密的风险、新产品及新工艺开发风险。 行业深度报告 专 用设备 请务必阅读正文之后的免责条款和声明。 目录 一、半导体设备零部件空间广阔,海外限制下国产替代加速推进 ............................................................ 1 1.1 集成电路上游核心环节,零部件技术进步推动设备制程提升...................................................... 1 1.2 AI 驱动下游扩产景气周期开启,中国大陆半导体设备国产化率持续提升 .................................... 4 1.3 海外先进制程零部件制裁持续加码,零部件国产化提速............................................................. 5 1.3.1 外部对先进制程相关产业链制裁持续收紧,国家大基金支持关键零部件国产化 ................ 6 1.3.2 当前高端产品海外替代尚处于早期,预计国内半导体设备零部件国产化率持续提升 ......... 7 1.4 双重自主可控趋势叠加背景下,中国大陆半导体设备零部件空间广阔........................................ 9 二、卡脖子品类国产化率亟待提升,放量品类有望贡献业绩拐点 .......................................................... 12 2.1 零部件是半导体设备制造的“基石”,种类繁多且壁垒极高

立即下载
电子设备
2026-02-24
中信建投
55页
10.24M
收藏
分享

[中信建投]:专用设备行业半导体设备系列报告:双重国产替代趋势叠加,半导体设备零部件市场星辰大海,点击即可下载。报告格式为PDF,大小10.24M,页数55页,欢迎下载。

本报告共55页,只提供前10页预览,清晰完整版报告请下载后查看,喜欢就下载吧!
立即下载
本报告共55页,只提供前10页预览,清晰完整版报告请下载后查看,喜欢就下载吧!
立即下载
水滴研报所有报告均是客户上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作商用。
相关图表
本周(2026.2.16-2026.2.20)恒生科技下滑幅度较大(%)
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
OpenRouter 本周大模型排名上,前三为国产大模型
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
Gemini 3.1 Pro 的 SVG 动画表现更合理
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
谷歌衡量模型抽象推理能力的 ARC-AGI-2 较前代能力翻倍
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
特斯拉 Robotaxi 价格大幅低于 uber
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
千问 3.5 在推理、编程、Agent 智能体等全方位基准评估中均表现优异
电子设备
2026-02-23
来源:海外AI行业周报:春节成为C端AI全民普及拐点,国产大模型跻身全球第一梯队
查看原文
回顶部
报告群
公众号
小程序
在线客服
收起