机械设备行业：半导体设备国产化专题七，硅片生长及加工设备，超80％设备依赖进口，但国产化率有上升趋势

机械设备 | 证券研究报告 — 行业点评 2019 年 11 月 24 日 [Table_IndustryRank] 强于大市 相关研究报告 《半导体设备国产化专题七：光刻工艺环节光刻和涂胶显影设备分别被 ASML、TEL 垄断，去胶设备由屹唐实现国产化》（2019-10-10） 《半导体设备行业：全球光刻机订单翻倍增长，大陆工艺设备采购明显加快》（2019-11-3） 《半导体设备行业：TSMC 扩大资本开支，ASML EUV 订单强劲增长，国产设备有望获大基金二期重点支持》（2019-10-28） 《半导体设备专题研究：5G 将推动半导体设备再上新台阶》（2019-10-23） 《半导体设备国产化专题五：封装设备国产化率特别低，国产品牌急需重点培育》（2019-10-10） 《半导体设备行业：晶圆厂扩产提速，中国大陆新 一 轮 集 成 电 路 设 备 采 购 大 潮 已 经 到 来 》20190923 《半导体设备行业：ASML、KLA、AMAT 业绩企稳回升，中国大陆贡献全球 24%的设备市场》2019-9-15 《半导体设备行业跟踪：ASML 二季度订单额创新高，逻辑客户需求强劲》2019-07-21 《ASML、KLA、AMAT 二季度业绩企稳回升，中国大陆贡献全球 24%的设备市场》2019-9-15 《半导体设备行业跟踪——ASML 二季度订单额创新高，逻辑客户需求强劲》2019-07-21 《半导体设备国产化专题四》2019-06-24 《半导体设备国产化专题三》2019-06-10 《半导体设备国产化专题二》2019-05-19 《半导体设备国产化专题一》2019-05-10 《半导体设备行业跟踪：从 ASML、台积电季报看半导体及其设备行业周期底部确立，5G、AI、IoT 等开启新一轮半导体大周期》2019-04-21 中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资格 [Table_Industr y] 机械设备 [Table_Anal yser ] 杨绍辉 (8621)20328569 shaohui.yang@bocichina.com 证券投资咨询业务证书编号：S1300514080001 陈祥 (8610)66229352 xiang.chen@bocichina.com 证券投资咨询业务证书编号：S1300519040001 *陶波为本报告重要贡献人 [Table_Title] 半导体设备国产化专题七：硅片生长及加工设备 超 80%设备依赖进口，但国产化率有上升趋势 集成电路硅片生长及加工环节，包括长晶、切磨抛、清洗、检测等工艺，对应设备种类包括长晶炉、切片机、研磨设备、抛光机、清洗机、检测设备等。硅片生长及加工设备供应商主要集中在日本、韩国、德国、美国，且每一类设备也被 1-3 家设备厂商垄断。我国大硅片产线设备采购中，仅有晶盛机电、南京晶能等少数厂家在长晶炉、研磨与切割设备已打破海外品牌绝对垄断格局。 报告要点  全球硅片生长及加工设备市场主要被日本、德国、瑞士、美国、韩国等的少数厂家垄断。半导体硅片生长设备厂商主要有德国 PVA、日本 Ferrotec、韩国 S-Tech、美国 Kayex 等，切割设备主要是德国梅耶博格、日本 Komatsu NTC 等，研磨设备厂商包括东精工程、光洋机械、东京精机等日本厂商，抛光设备主要是日本东京精机、德国 Lapmaster、日本冈本机械等，清洗设备厂商包括韩国 ASE、日本 Semicon Created Corp.，检测设备主要来自美国 KLA、匈牙利 Semilab、日本 KOBELCO 研究所和 Raytex。  我国主要大硅片产线的设备国产化率低于 20%但上升趋势显著。据中国国际招标网数据统计，上海新昇采购的设备国产化率仅为 8%左右，而中环领先直接目前采购的设备国产化率估计为 18%左右，整体国产化率有较明显的提升，主要是晶盛机电长晶炉和切割设备打破外资品牌垄断进入中环领先大硅片产线。  抛光设备国产化率为 0%，主要采购德国 Lapmaster 和日本多家厂商设备。大硅片抛光设备包括边缘抛光、双面抛光、最终抛光，按产线的采购数量计算，边缘抛光占 20%，双面抛光占 50%，最终抛光占 30%。上海新昇的抛光设备中的 55%来自德国的 Lapmaster ，45%来自日本的 BBS 金明、OKAMOTO、东京精机、日本 MICRO；中环领先的抛光设备中的 37%自德国的 Lapmaster ，21%来自日本的 BBS 金明，17%来自日本的不二越，10%来自日本 OKAMOTO。两大硅片产线均无国产抛光设备。  研磨/减薄设备国产化率接近为 0%，几乎全部采购日本品牌。上海新昇采购的研磨设备包括边缘研磨、双面研磨、外径研磨等，基本上边缘研磨、双面研磨各占1/2，研磨设备中的 95%来自日本，其中 1/3 来自东京工程，1/4 来自光洋机械，1/9来自东京精机；国产研磨设备中仅晶盛机电于 2018 年供应 1 台外径研磨设备。中环领先采购的减薄设备，包括单面减薄机、双面减薄机、全自动减薄机；减薄设备 100%来自日本，其中 3/4 来自 Disco，1/5 来自光洋机械，7%来自冈本机械，暂无国产设备。  切割/截断设备主要来自进口品牌，晶盛机电取得突破。上海新昇采购的切割设备，84%来自梅耶博格（瑞士），KOMATSU NTC LTD 占 11%，东京精机占 5%，但无国产设备。中环领先采购的切割设备中，70%-80%来自日本品牌 KOMATSU NTC LTD.、 Daitron、Toyo Advanced Technologies，估计 20%-30%来自晶盛机电。  检测设备主要采购 KLA、Semilab、KOBELCO，暂无国产突破。大硅片检测设备包括边缘检测机、表面粗糙度量测仪、平坦度检测机、翘曲度检测机、金属量测仪等，上海新昇采购的检测设备有 34%来自 KLA，12%来自匈牙利 Semilab，KOBELCO研究所和 RAYTEX 分别占比 11%和 9%，而中环领先采购的检测设备有 46%来自KLA，其余来自 E+H Metrology、Semilab、神钢研究所。  长晶炉国产化趋势明显，晶盛机电、南京晶能打破全球垄断格局。据中国国际招标网，上海新昇长晶炉主要采购韩国 S-Tech 和南京晶能，而中环领先的长晶炉主要采购晶盛机电和日立国际电气，晶盛机电在该产线长晶炉市占率估计 75%-80%。  投资建议：晶盛机电不仅在长晶炉，而且在晶体滚圆机、截断机、双面研磨机、全自动抛光机等均有布局，有望全面受益于中环、西安奕斯伟硅产业、金瑞泓等大硅片扩产，重点推荐。  风险因素：大硅片扩产进度慢于预期。 2019 年 11 月 24 日 半导体设备国产化专题七：硅片生长及加工设备 2 目录 硅片生产与加工设备市场状况 .............................................................. 4 我国大硅片产线的设备采购情况 ......................................