电子行业：射频电源，刻蚀-PECVD设备核心零部件，国产替代迫在眉睫

请务必阅读正文之后的信息披露和重要声明 行业 研 究 行业深度研究报告 证券研究报告 ＃industryId＃ 电子 ＃investSuggestion＃ 推荐 ( ＃investSuggestionChange＃ 维持 ） 重点公司 重点公司 评级 来源：兴业证券经济与金融研究院 ＃relatedReport＃ 相关报告 《【兴证电子】存储行业供需有望逐步改善，半导体自主可控亟不可待待》2023-04-02 《【兴证电子】AI 迎来 iPhone 时刻，拉动算力需求持续提升，半导体核心产业链自主可控重要性凸显》2023-03-26 《【兴证电子】GPT-4 发布拉动算力需求持续提升，半导体核心产业链自主可控重要性凸显》2023-03-19 ＃emailAuthor＃ 分析师： 李双亮 lishuangliang@xyzq.com.cn S0190520070005 王佩麟 wangpeilin@xyzq.com.cn S0190522080002 投资要点 ＃summary＃ ⚫ 射频电源为刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒较高。射频电源作为用来产生等离子体的高频交变电源，广泛应用于刻蚀、PECVD、等离子体清洗/去胶、射频溅射、PEALD 等半导体制造设备。射频电源极大程度上决定了产生离子的浓度、均匀度、稳定性，是刻蚀等工艺设备的核心零部件之一，需要满足高功率、高效率、精准的频率控制精度、较短的匹配时间等要求，技术壁垒较高，且随着制程演进对射频电源的要求也仍在不断提高。 ⚫ 射频电源在半导体设备中成本占比显著，美系厂商垄断。射频电源是刻蚀设备、PECVD 设备等工艺设备的核心零部件之一，在采购成本中占比显著，2022年全球市场规模估测约在 20-30 亿美元。射频电源行业主要由积累深厚的海外龙头主导，尤其是美国的 MKS 和 AE 两家厂商垄断市场，国产厂商此前技术能力和下游土壤都较为欠缺，因此市占率极低。 ⚫ 国产设备长期空间巨大，零部件市场有望随之快速成长。国内晶圆厂持续扩产，中芯国际成熟制程产能规划巨大，且扩产的意志和决心坚定，预计未来两三年扩产幅度和资本开支都较为积极；存储厂虽然部分厂商由于美国限制而影响短期扩产，但中长期产能提升的空间和意志不改。在当前半导体产业各地区脱钩趋势下，国内晶圆厂存储厂扩产空间巨大，且自主可控重要性愈发凸显，设备国产化比例有望快速提升，因此本土设备厂商面临的长期国产化空间显著，而上游零部件市场也将随之快速成长。 ⚫ 射频电源国产替代迫在眉睫，优质厂商有望迎来突破放量。当前中美贸易摩擦加剧趋势下，半导体设备上游的零部件环节的供应稳定性也在逐渐面临越来越大的风险，因此设备厂商对于零部件自主可控的紧迫性也愈发凸显，尤其是射频电源这种国内厂商此前突破较少、卡脖子情况严重的环节，随时面临美系厂商断供风险，因此设备厂商对于国产供应商的导入尤为急切。国内以英杰电气为代表的部分优质供应商经过多年积累，以及在近两年下游客户快速增强的意愿和积极的配合之下，逐渐取得了良好的进展，部分产品在客户端验证已取得很好的结果，有望迎来订单和销售的突破和放量。 ⚫ 投资建议：射频电源作为刻蚀&PECVD 设备核心零部件，市场空间巨大，且主要由美国厂商 MKS 和 AE 主导，当前趋势下国产替代迫在眉睫，而优质国产厂商产品研发和认证进展良好，有望迎来订单和销售的突破，建议关注英杰电气、恒运昌（未上市）等优质厂商。 ⚫ 风险提示：中美贸易摩擦加剧、下游扩产及资本开支不及预期、细分行业竞争加剧。 ＃title＃ 射频电源：刻蚀&PECVD 设备核心零部件，国产替代迫在眉睫 ＃createTime1＃ 2023 年 04 月 10 日 请务必阅读正文之后的信息披露和重要声明 - 2 - 行业深度研究报告 目 录 1、射频电源：刻蚀等工艺设备核心零部件，技术壁垒高筑 ............................... - 4 - 1.1、射频电源：等离子体配套电源，广泛用于刻蚀、PECVD 等工艺 .......... - 4 - 1.2、射频电源持续演进发展，技术壁垒高筑.................................................... - 7 - 2、射频电源举足轻重，美系厂商垄断下国产化空间大 ..................................... - 11 - 2.1、射频电源成本占比显著，全球市场空间不俗 .......................................... - 11 - 2.2、射频电源市场格局集中，美系厂商垄断.................................................. - 14 - 2.3、全球龙头厂商梳理 ..................................................................................... - 15 - 2.3.1、MKS Instruments ...................................................................................... - 15 - 2.3.2、Advanced Energy ...................................................................................... - 16 - 3、国产替代紧迫性凸显，优质厂商有望突破放量 ............................................. - 18 - 3.1、国产设备厂商成长空间巨大，零部件国产替代正当时 .......................... - 18 - 3.2、射频电源国产化率提升空间巨大，国产替代迫在眉睫 .......................... - 20 - 3.3、优质国产厂商梳理 ..................................................................................... - 21 - 3.3.1、英杰电气 .................................................................................................. - 21 - 3.3.2、恒运昌 ...................................................................................................... - 24 -