科创板受理公司巡礼系列之（一）：中微公司拟科创板上市，半导体设备后起之秀或突破国际垄断？

1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 科创板受理公司巡礼系列之（一）深探内核：十五年磨一剑，中微实现后发制人原因何在？公司成立于 2004 年，主要业务是开发大型真空的微观器件工艺设备，包括等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备，公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从 65nm 到 14nm、7nm 和 5nm 的集成电路加工制造及先进封装；MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。公司 2018 年实现营收 16.39 亿元（+68.66%）；实现扭亏为盈，归母净利润 0.91 亿元（+203.72%）；2018 年公司在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据主导地位公司，成功进入国内泛半导体龙头三安光电、璨扬光电、华灿光电、乾照光电等，MOCVD 设备销售收入增长迅速，2018 年实现收入 8.32 亿元，占比超过50%；刻蚀设备已进入 5nm 尺寸，进入了包括台积电、SK 海力士、联华电子、格芯等世界龙头企业，2018 年刻蚀设备收入为 5.66 亿元，占比 34.51%。 公司保持大额研发投入与高研发投入占比，2018 年研发投入 4.0 亿元。截至 2 月 28 日，公司已申请 1201 项专利，已获授权专利 951 项。公司产品也逐渐得到全球企业的认可，在 2018 年度 VLSI Research“客户满意度”调查中位居全球半导体设备公司的第三名，在刻蚀和清洗设备供应商排名中位列第二，在全球薄膜沉积设备供应商排名中荣登榜首。聚焦市场：当前时点下，半导体设备行业发展如何？根据 SEMI 统计，全球半导体设备销售额由 2013 年的 318 亿美元增长至2018 年的预估 621 亿美元（CAGR14.33%）；大陆半导体设备销售则增长更为迅猛，2018 年半导体设备在中国大陆的销售额预计为 128 亿美元（+56%），约占全球半导体设备市场的 21%，已成为仅次于韩国的全球第二大半导体设备需求市场。晶圆制造设备具体分类中，刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备，2017 年价值量分别占比占晶圆制造设备价值量为 24%、23%和 18%。应用材料、阿斯麦、东京电子、泛林半导体与科天半导体前五大半导体设备制造厂商，由于起步较早，凭借资金、技术、客户资源、品牌等方面的优势，占据了全球半导体设备市场 65%的市场份额，行业呈现出高度垄断的竞争格局。随着研发投入的增加，国内中微、北方华创等公司的市场竞争力不断增强。海外标杆：深析三家海外优质半导体设备公司，我们看到了什么？ 应用材料：全球最大半导体设备制造商，产品覆盖全面；公司沉积设备的技术在全球领先，在刻蚀、清洗、平整化设备、离子注入设备、过程控制设备与自动化装备市场也占有一席之地。2018 年，公司营收达到 172.5 亿美元，净利润达到 33 亿美元。阿斯麦：光刻机领域龙头，全球唯一的极紫外光 EUV 光刻机供应商；阿斯麦的主要客户为全球一线的晶圆厂，包括英特尔、三星、台积电与中芯国际等。2018 年，公司营收达到 125.13 亿美元，净利润达到 29.63 亿美元。 Table_Tit le 2019 年 04 月 19 日 中微公司拟科创板上市，半导体设备后起之秀或突破国际垄断？ Table_BaseI nfo 新三板主题报告 证券研究报告 诸海滨 分析师SAC 执业证书编号：S1450511020005 zhuhb@essence.com.cn 021-35082086 Tabl e_Report相关报告 近一周共 4 家企业 IPO 过会，其中 1 家为三板企业：松炀资源 2019-04-13 如涵登陆纳斯达克，“网红”经济浮出水面-全市场消费行业策略 2019-04-13 今年第五家新三板企业环保再生纸供应商松炀资源 IPO过会点评 2019-04-12 反弹行情下市场结构如何演变？——新三板二季度投资策略 2019-04-12 新三板日报（新三板年报捷报频传 科创板概念股业绩、股价双双创新高） 2019-04-12 20419845/36139/20190419 13:47 2 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。  拉姆研究：全球第三大半导体生产商，近三年净利润增速超过 40%；公司下游客户为主流半导体供应商和代工厂，包括 SK 海力士、美光、台积电和中芯国际等；2018 年公司营收 110.77 亿美元，净利润达到 23.81 亿美元。  横纵比较：对比北方华创，中微公司有何独特优势？  国内上市公司中，所涉及业务的公司主要是北方华创。中微公司自成立以来专注为 IC 与 LED 领域客户提供服务，而北方华创的业务覆盖则更广，包括半导体能源（光伏）、半导体照明（LED）、半导体显示（面板）以及半导体集成电路（IC），下游客户均为半导体 IC、LED、LCD、光伏四大领域龙头企业。  北方华创 NMC612D——其最大芯片制程为 28nm，该设备已进入中芯国际生产线；中微半导体的 Primo nanova——涵盖 14nm、7nm、到 5nm 尺寸的刻蚀应用，其中 7nm 已进入台积电生产线。而 5nm 的精细度已经与国际巨头目前设备水平一致。  与北方华创相比，中微研发投入比例基本持平，研发人员比例较高。公司毛利率与北方华创基本持平，净利率差距不断缩小。在营运能力与成本管理方面，公司总体优于北方华创。 风险提示：行业竞争加剧、宏观政策影响。 20419845/36139/20190419 13:47 3 新三板主题报告 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 内容目录 1. 写在前面：中微公司拟登陆科创板，成半导体设备行业领先？ ........................................... 6 2. 明辨概念：到底何为刻蚀设备与 MOCVD 设备？ ............................................................... 7 2.1. 刻蚀设备：半导体制造工艺的关键步骤，工艺要求不断提升...................................... 7 2.2. MOCVD 设备：LED 制造重要环节，技术长足发展 .................................................... 8 3. 深探内核：十五年磨一剑，中微实现后发制人原因何在？ ................................................ 10 3.1. 纵观发展历程：专注等离子刻蚀与薄膜沉积设备研发，已进入 5nm 领域................. 10 3.2. 深入核心业务：专注半导体设备研发生产与销售，MOCVD 设备成主要收入来源 .....11 3.2.1. 刻蚀设备：刻蚀设备已进入 5nm 尺寸，占营收比重为 35% ............................ 12 3.