半导体设备专题报告二：全球逻辑/NAND/DRAM扩产周期下，TOP5半导体设备企业成长复盘：先进工艺塑造成长天花板

本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 1 2023 年 10 月 22 日 半导体设备 行业专题 全球逻辑/NAND/DRAM 扩产周期下，TOP5 半导体设备企业成长复盘：先进工艺塑造成长天花板 ——半导体设备专题报告二 证券研究报告 投资评级 领先大市-A 维持评级 行业表现 资料来源：Wind 资讯 升幅% 1M 3M 12M 相对收益 13.1 5.9 9.2 绝对收益 7.8 -2.3 2.7 郭倩倩 分析师 SAC 执业证书编号：S1450521120004 guoqq@essence.com.cn 胡园园 联系人 SAC 执业证书编号：S1450123070005 huyy1@essence.com.cn 相关报告 订 单 兑 现 业 绩 继 续 高 增 ，“ 周 期 复 苏 ” + “ 先 进 工艺”成为市场预期关键——半导体设备行业 2023 年中报总结 2023-09-04 半导体工艺控制设备，芯片良率关键 ，国产 化率不足5%，替代空间大 2023-07-04 收入盈利订单三重上修，平台化更显α竞争力 ——半导体设备板块 2022 年年报及 2023 年一季报总结 2023-05-16 综述：我们复盘逻辑、NAND、DRAM 三大核心下游的技术变革和扩产周期，以及全球 TOP5 半导体设备企业的成长路径，定性定量分析半导体设备成长与下游之间的关系，对标国内市场及格局，得出结论：下游角度长期来看，逻辑和存储先进工艺的突破是半导体设备企业成长天花板的关键，也是市场预期的关键，在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业将享有市场更高的估值溢价。 全球市场：逻辑围绕摩尔定律，存储围绕 3D 化+价格周期 2009-2022 年，全球半导体产品市场销售规模复合年增速 7.4%，反馈到半导体设备，全球 TOP5 企业 ASML/AMAT/Lam/TEL/KLA 分别实现收入复合增速 19.2%/13.4%/23.4%/9.3%/14.9%，体现超越终端产品的高增速。复盘半导体设备直接下游逻辑/NAND/DRAM扩产，可以发现： 1）逻辑芯片扩产重点围绕“摩尔定律”，2018-2022 年先进工艺扩产给设备公司带来更陡峭成长曲线，ASML/AMAT/Lam/TEL/KLA分别实现相关销售收入 28%/37%/41%/33%/48%的复合增速。 2）存储扩产重点围绕“价格周期”，其中，NAND 芯片 2013-2018年 3D 化渗透驱动半导体设备公司成长超越“价格周期”；DRAM进入 10nm+节点微缩放缓，扩产重点围绕“价格周期”，波动相对更大。 龙头复盘：成熟制程完成卡位优势，技术革新塑造陡峭成长 1）ASML：光刻设备龙头，受益逻辑/存储进入 EUV 时代，2017-2022 年 EUV 设备销售收入复合增速 46%，至 2022 年收入规模达到 70.8 亿欧元，占设备系统收入比例 46%。 2）AMAT：平台化龙头，逻辑芯片扩产最大设备供应商，2022 年逻辑/代工相关销售收入 135.7 亿美元，占设备收入比例 70%。 3）Lam：深耕刻蚀和沉积，NAND 芯片扩产最大设备供应商，2022 年NAND 相关销售收入 74.7 亿美元，占比 39%。 4）TEL：日系平台化龙头，2022 年半导体设备销售收入（不含服务）中逻辑/DRAM/NAND 占比 62.5%/17.7%/19.8%，2018-2022 年深-14%-4%6%16%26%36%2022-102023-022023-062023-10半导体设备沪深300 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 2 行业专题/半导体设备 度受益先进逻辑扩产。 5）KLA：半导体量检测设备龙头，2015 年进入高速成长期，前期受益存储，后期受益先进逻辑扩产。 中国市场：国产替代成效显著，先进工艺突破成为天花板关键 根据我们不完全统计，目前内资 12 吋在建晶圆厂合计规划产能达 175 万片/月，合计投资金额超 1000 亿美元，其中 NAND/DRAM/逻辑代工等投资占比分别为 21%/24%/54%。2018 年以来，半导体设备国产替代成效显著，根据我们的测算，中国大陆国产比例从 2018 年的约 5.2%提升至 2022 年的 14.5%，期间北方华创/中微公司/盛美上海/拓荆科技/华海清科/芯源微半导体设备相关收入分别实现 55%/29%/51%/122%/159%/60%的复合 增速，量检测设备板块国产化率仍不足 5%。对比全球半导体设备龙头，北方华创发展对标应用材料，产品布局全面，中微公司对标泛林，深耕刻蚀+CVD/ALD 领域。下游角度分析，长期来看，未来逻辑和存储先进工艺的突破将成为半导体设备成长天花板的关键，也是市场预期的关键，在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业将享有市场更高的估值溢价。 投资建议： 规模化角度看，AMAT 重点受益先进逻辑扩产，泛林重点受益存储扩产；对比国内格局，北方华创对标应用材料，中微对标泛林，其中，CVD 设备独立于二者由拓荆科技供应，因此： 1）逻辑设备角度，推荐：北方华创、拓荆科技； 2）存储设备角度，推荐：中微公司、拓荆科技； 增速角度看，在 2018-2022 年 7/5nm 先进逻辑扩产周期内，全球 TOP5 厂商中KLA 增速最高，主要在于工艺微缩给晶圆制造良率提出更高要求，由此带来量检测设备需求增加。 对比国内市场，量检测板块仍处于 0-1 突破阶段，国产化率仍不足 5%，未来将首先经历 0-1、1-n 的国产替代阶段，推荐：精测电子、中科飞测。 内资逻辑/存储晶圆厂继续扩产以及国产替代下，其他设备环节也将继续受益，建议关注：华海清科、芯源微、盛美上海、万业企业、至纯科技。 风险提示： 1） 终端需求复苏不及预期、中美科技博弈影响海外核心设备供应，从而导致晶圆厂扩产及国产设备招标不及预期，影响内资半导体设备企业订单； 2） 半导体设备国产化推进不及预期； 3） 统计误差导致测算数据失真； 4） 本文结论推导以全球半导体设备产业在逻辑/NAND/DRAM 扩产周期下的发展驱动为基础，受发展环境、管理风格等因素影响，国内产业实际发展可能有所差异。 行业专题/半导体设备 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 3 内容目录 1. 全球市场：逻辑围绕“摩尔定律”，存储围绕“3D 化+价格周期” ...................... 5 1.1. 半导体设备：受益逻辑/存储扩产，享超越终端 β 高增速 .................... 5 1.2. 逻辑扩产：围绕“摩尔定律”，先进制程贡献更陡峭成长曲线