半导体设备行业系列报告：先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮

先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮——半导体设备系列报告证券研究报告行业动态报告日期：2023年4月17日分析师：吕娟lyujuan@csc.com.cn021-68821610SAC执证编号：S1440519080001SFC中央编号：BOU764本报告由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国（仅为本报告目的，不包括香港、澳门、台湾）提供。在遵守适用的法律法规情况下，本报告亦可能由中信建投（国际）证券有限公司在香港提供。同时请参阅最后一页的重要声明。 核心逻辑• 先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮：AI所需要的高算力、低能耗，将会提升20nm以下先进制程的需求；美日荷对中国先进制程的联合封锁，必将加速国产半导体设备的突破，目前我们已经看到多数国产半导体设备达到28nm制程节点，部分设备已达先进制程节点。• 国内半导体支持政策升温预期强，半导体设备有望优先受益：刘鹤总理发声及大基金二期注入长存，均向市场释放政策端的积极信号，表明国家高度重视集成电路产业发展，而半导体设备作为产业链中“卡脖子”最严重的领域，有望率先受益。• 行业判断：全球半导体设备预计2024年重回增长赛道，而国内半导体设备预计2023年订单仍有快速增长，受益下游尤其是中小客户扩产积极，以及机台国产化率持续攀升。• 投资建议：一看先进制程突破，二看相对估值，前者重点推荐北方华创、中微公司、芯源微、盛美上海、拓荆科技等，后者重点推荐正帆科技等。 qRsRoQtOqPmMsNwPrOpMsO6MbP7NpNoOpNmPlOnNnRfQrQxP6MmNmQMYsPtMNZsRmO目录• 一、先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮1.1 美国芯片法案加速半导体设备国产化进程1.2 AI发展浪潮推动先进制程扩产需求1.3 国内半导体设备在先进制程突破不断1.4 国内半导体支持政策升温预期强，半导体设备有望优先受益• 二、全球与国内半导体设备行业判断2.1 全球半导体设备预计2024年重回增长赛道2.2 国内半导体设备预计2023年订单仍有快速增长2.2.1 下游扩产继续，尤其中小客户扩产积极2.2.2 机台国产化率持续攀升• 三、投资建议：一看先进制程突破，二看相对估值• 四、风险提示 一、先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮图表：美国多次制裁中国芯片制造领域相关公司，对“软硬件”+“上下游”实施全方位封锁•中美贸易摩擦背景下，美国加大对中国芯片产业链封锁，并将限制范围逐步从芯片制造转移至上游设备。2018年美国发起贸易战，并对国内以华为为代表的高新技术公司进行制裁，随后将制裁范围上移至芯片制造领域，对中芯国际发起制裁，并开始对设备产业链开启部分制裁。2021年1月，中微公司被美国商务部列入实体清单（后撤回）；2022年2月，上海微电子装备被列入UVL清单；均反映出美国制裁范围的扩大以及向上游延伸。•14nm以下同等芯片制程领域实施进一步封锁。2022年10月7日，美国商务部发布对中国技术出口的新限制，即美国供应商若向中国本土芯片制造商出售尖端生产设备，生产18纳米或以下的DRAM芯片、128层或以上的NAND闪存芯片、14纳米或以下的逻辑芯片，必须申请许可证并将受到严格审查。2023年1月，荷兰和日本政府最终确认加入美国对华的出口限制。1.1 美国芯片法案加速半导体设备国产化进程10月15日美国商务部工业安全局(BIS)宣布将六项新兴技术添加到《出口管理条例》(EAR)的商务部管制清单(CCL)中。包括用于为5nm生产精加工晶圆的某些技术等。2月7日，拜登政府将33家中国实体列入所谓“未经核实名单”（UVL），对这些企业进行更为严格的出口管控，其中包括上海微电子装备(集团)有限公司等20192020202120225月15日将华为及其68家非美国关联企业列入其“实体清单”。并表示今后如果没有美国政府的批准，华为将无法向美国企业购买元器件。10月7日将28家中国企业列入实体清单，包括海康威视、大华科技、科大讯飞、旷视科技、商汤科技、依图科技、美亚柏科、颐信科技等。12月21日将58家中国公司列入实体清单，包括中芯国际、大疆、天津微纳、同房威视、中国航空工业集团(AVIC)下属的7家实体等。1月14日，美国国防部在“中国军方拥有或控制的中国企业清单”中，再增列9家中企，其中包括中微公司、小米、中国商飞等。4月8日实体清单新增7家中国超算公司，其中包括上海集成电路技术与产业促进中心、深圳市信维微电子有限公司、国家超级计算机济南中心等。10月7日，美政府将31家中资企业列入 “未经核实名单”，其中包括北京北方华创磁电科技有限公司、长江存储等。20231月底，荷兰和日本政府最终确认加入美国对华的出口限制，对光刻机、半导体耗材进口会产生较大影响。资料来源：美国商务部，美国财政部，美国国防部，美国政府，中信建投 一、先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮•日本政府宣布将实施半导体设备出口管制，针对设备或仅限于先进制程领域。据路透社报道，日本政府在3月31日宣布将会对用于芯片制造的6类（23项）设备实施出口管制，具体包括3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项热处理设备、4项光刻设备、3项刻蚀设备、1项测试设备。并且中国大陆地区不在42个“友好国家及地区”范畴，因此日本半导体设备企业需要申请许可证才能向中国大陆出口相关设备。同时我们结合东京电子、迪恩士公司的2022日历年数据，两家日企的中国大陆地区收入占比分别排名第一（22%）、第二（21%），表明大陆市场是日本半导体设备企业最重要的海外市场之一，因此我们认为日本政府为了降低本次出口管制对本土设备企业的影响，出口受限的设备制程应该不会超出美国2022年10月出台的芯片法案限制范围。1.1 美国芯片法案加速半导体设备国产化进程资料来源：东京电子年报，中信建投资料来源：迪恩士年报，中信建投图表：2022日历年东京电子大陆区域收入占比最高，为22%图表：2022日历年迪恩士大陆区域收入占比第二，为21%中国大陆22%中国台湾21%韩国16%日本11%北美15%欧洲9%其他6%中国大陆21%中国台湾29%韩国5%日本18%北美11%欧洲11%亚洲、澳洲其他地区4%全球其他地区1% 一、先进制程国产设备不断突破，受益AI发展浪潮•ASML发布最新声明，出口受限设备或仅限于“最先进的光刻机”。2023年3月8日，ASML官网发布声明，夏季出台的半导体设备出口管制或只针对“最先进的光刻机设备”。ASML的TWINSCAN NXT系列产品主要包括1980Di、2000i和2050i等型号，而“最先进的光刻机设备”仅包含2000i和2050i，1980Di及其他DUV产品（主要用于成熟制程）可能不受荷兰出口管控；不久后，ASML全球总裁温宁克主动访华， 3月28日与我国商务部部长王文涛就ASML在华发展等议题进行了深入交流，表明了ASML公司对中国市场的高度重视，结合以上信息我们判断用于先进制程的光刻机或将彻底对华断供，但成熟制程光刻机仍有望出口国