半导体行业：设备国产化关键环节，半导体零部件蓝海启航

1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 xml 设备国产化关键环节，半导体零部件蓝海启航 ■零部件是半导体设备核心，市场规模超 400 亿美元：半导体设备结构复杂，由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度都共同决定着设备的可靠性与稳定性，零部件是半导体设备是延续半导体行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。一般来说，零部件采购额占据半导体设备生产成本的 80%左右，按此推算，预计 2021 年全球半导体零部件市场规模 439 亿美元。 ■零部件品类众多，单一产品市场集中度高：半导体零部件数量庞大、种类繁多，碎片化特征明显。按照业内主流的零部件划分方式，半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类和其他零部件。总体来看，全球前十大半导体零部件供应商的市场份额总和趋于稳定在 50%左右，由于半导体零部件对精度和品质的严格要求，就单一半导体零部件而言，往往会出现仅有几家供应商的局面，集中度远高于 50%。 ■技术壁垒高，国产化率低：半导体零部件技术壁垒高，其研发设计、制造和应用涉及到材料、机械、物理、电子、精密仪器等跨学科、多学科的交叉融合。 总体来看，目前大部分零部件均被海外巨头垄断，例如在静电吸盘领域，基本由美国和日本半导体企业主导，市场份额占 95%以上。根据芯谋研究数据，石英、反应腔喷淋头、边缘环等自给率大于 10%，各种泵、陶瓷部件国内自给率在 5%-10%之间，射频发生器、机械手、MFC 等自给率在 1%-5%之间，阀门、测量仪器等自给率甚至不到 1%，半导体零部件整体国产化率处于较低水平。 ■部分品类率先突破，国产化快速推进：国内厂商在某些细分品类零部件率先突破，例如机械类零部件，国内如新莱应材、江丰电子、富创精密等均有相应产品布局，并在国内龙头半导体设备公司份额快速提高。在阀门领域，国内企业新莱应材也具备了国产替代能力。在射频电源领域，英杰电气率先实现突破，正在从 MOVCD 设备往更多半导体设备拓展。在真空泵上，汉钟精机在光伏领域已经占据主要份额，半导体客户也开始出货，正处于快速成长阶段。 ■投资建议：推荐国内高纯洁净材料龙头新莱应材、气体输送系统龙2022 年 09 月 23 日 半导体 Table _BaseI nfo 行业深度分析 证券研究报告 投资评级 领先大市-A 维持评级 Table _Fi rstStock 首选股票 目标价 评级 Table _Cha rt 行业表现 资料来源：Wind 资讯 单击此处输入文字。 升幅% 1M 3M 12M 相对收益 -11.87 -17.49 73.77 绝对收益 -22.16 -38.29 55.33 马良 分析师 SAC 执业证书编号：S1450518060001 maliang2@essence.com.cn 021-35082935 郭旺 分析师 SAC 执业证书编号：S1450521080002 guowang@essence.com.cn Table_R eport 相关报告 -14%-4%6%16%26%36%46%56%2021-032021-072021-11半导体(中信)沪深300 2 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 xml 头万业企业，从清洗设备切入半导体零部件的至纯科技，建议关注零部件业务快速增长的江丰电子、国内平台型零部件企业富创精密、国内真空泵领先企业汉钟精机、半导体精密运动控制系统龙头华卓精科、国内领先的工艺介质系统供应商正帆科技。 ■风险提示：市场竞争风险、产品开发不及预期、下游需求衰减、业务经营风险。 nMtQnNnOwOpMmOoQqQrRsP7NaO9PsQnNtRmOlOqQzQeRmOsN7NpOqNMYmOsOxNtPnQ 3 行业深度分析/半导体 内容目录 1. 零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高 ............................................................ 6 1.1. 半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域 ................................................ 6 1.2. 半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多 ........................................ 7 1.3. 多学科交叉融合，复合型技术壁垒高 ............................................................................. 9 2. 市场空间大，零部件交期拉长限制下游扩产需求 .................................................................. 10 2.1 全球半导体零部件市场规模超 400 亿美元 .................................................................... 10 2.2 半导体零部件短缺限制设备产能提升 ............................................................................ 12 3. 海外巨头垄断市场，国产率低 ............................................................................................... 13 3.1 射频电源：AE 和 MKS 垄断，英杰电气实现突破 ......................................................... 16 3.2 机械类：品类众多，国产化快速推进 ............................................................................ 18 3.3 真空泵： Edwards 以及 Ebara 占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破................ 21 3.4 阀门： 海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高 ............................................................ 23 4.相关公司 ................................................................................................................................. 26 4.1. 新莱应材：国内半导体高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先 .................... 26 4.2. 万业企业：收购 Compart Systems 布局零部件，气体输送系统领