拓荆科技(688072)先进制程工艺用薄膜沉积设备放量可期，混合键合设备有望成为新的增长点

请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_MainInfo] 公司研究/信息设备/半导体产品与半导体设备 证券研究报告 拓荆科技（688072）公司研究报告 2024 年 06 月 04 日 [Table_InvestInfo] 投资评级 优于大市 首次覆盖 股票数据 [Table_StockInfo] 06 月 03 日收盘价（元） 192.70 52 周股价波动（元） 146.50-448.50 总股本/流通 A 股（百万股） 188/154 总市值/流通市值（百万元） 36264/20056 市场表现 [Table_QuoteInfo] -45.88%-34.88%-23.88%-12.88%-1.88%2023/62023/92023/122024/3拓荆科技海通综指 沪深 300 对比 1M 2M 3M 绝对涨幅（%） 6.1 6.6 -8.2 相对涨幅（%） 6.5 6.0 -9.6 资料来源：海通证券研究所 [Table_AuthorInfo] 分析师:张晓飞 Tel:(021)23154135 Email:zxf15282@haitong.com 证书:S0850523030002 分析师:肖隽翀 Tel:(021)23154139 Email:xjc12802@haitong.com 证书:S0850521080002 分析师:张幸 Tel:(021)23183951 Email:zx15429@haitong.com 证书:S0850524030002 先进制程工艺用薄膜沉积设备放量可期，混合键合设备有望成为新的增长点 [Table_Summary] 投资要点：截止 2023 年末在手销售订单金额 64.23 亿元（不含DEMO 订单），预计 2024E 全年出货超过 1000 个反应腔。  半导体设备的收入规模快速提升。拓荆科技十多年技术积累，自主研制了包括 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD 等薄膜设备系列产品及混合键合设备系列产品。2023 年实现收入 27.05 亿元，同比增 58.60%；归母净利润 6.63亿元，同比增 79.82%；扣非后归母净利润 3.12 亿元，同比增 75.29%。其中半导体设备的收入 26.35 亿元，同比增长 56.32%；毛利率 50.76%，同比增加 1.55pct。24Q1 实现收入 4.72 亿元，同比增 17.25%；扣非后归母净利润-4420.93 万元，同比下滑 325.07%。一季度的盈利能力下滑的原因主要是费用增幅远大于收入增幅导致。  2023 年薄膜沉积设备平均单价提升。分项来看，2023 年薄膜沉积设备收入25.70 亿元，同比增 52.51%；毛利率 50.76%，同比增 1.55pct；混合键合设备 6430 万元，毛利率 50.84%。销量方面，2023 年薄膜沉积设备、混合键合设备的销售量分别为 153 台、3 台。我们按照公司年报披露的平均单价=销售收入/销量的公式进行计算，得到 2023 年薄膜沉积设备的平均单价为1679.87 万元/台，较 2022 年的 1620.50 万元/台提升 3.66%。  多项新产品突破、实现产业化。几大系列产品快速发展，①、薄膜沉积设备在新工艺应用及新产品开发方面取得显著成效，其中全系列 PECVD 薄膜材料的覆盖；Thermal-ALD 设备通过客户端验证，实现首台产业化应用、取得突破性进展；SACVD 系列产品持续拓展应用领域；HDPCVD 设备通过客户端验证，实现首台的产业化应用，并获得批量重复订单。②、混合键合设备，首台晶圆对晶圆键合产品顺利通过客户端验证，复购设备再次通过验证；芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品通过客户端验证，实现产业化应用。  在手订单饱满，2024E 全年设备的出货指引乐观、预计实现翻倍以上的成长。公司在客户拓展方面卓有成效，销售订单持续增长，截止 2023 年末在手销售订单金额 64.23 亿元（不含 DEMO 订单）。且伴随公司业务规模逐步扩大和先进产品陆续推出，设备出货量逐年增加，2023 年出货超过 460 个反应腔，预计 2024E 全年出货超过 1000 个反应腔，将创历史新高。  盈利预测与估值建议。我们预测拓荆科技 2024E-2026E 收入 38.64 亿元、53.13 亿元、71.78 亿元，归母净利润分别为 7.69 亿元、10.49 亿元、14.54亿元。采取 PS 估值法，结合可比公司估值 PS（2024E）均值为 6.96 倍，给予公司 PS（2024E）一定估值溢价为 9x-10x，对应合理市值区间为 347.77亿元-386.41 亿元，对应 184.80 元/股-205.33 元/股，给予“优于大市”评级。  风险提示：竞争加剧风险、下游客户扩产不及预期、研发进度不及预期等。 主要财务数据及预测 [Table_FinanceInfo] 2022 2023 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 1706 2705 3864 5313 7178 (+/-)YoY(%) 125.0% 58.6% 42.9% 37.5% 35.1% 净利润（百万元） 368 663 769 1049 1454 (+/-)YoY(%) 438.0% 79.8% 16.1% 36.4% 38.6% 全面摊薄 EPS(元) 1.96 3.52 4.09 5.57 7.73 毛利率(%) 49.3% 51.0% 50.1% 50.0% 49.9% 净资产收益率(%) 9.9% 14.4% 14.3% 16.3% 18.5% 资料来源：公司年报（2022-2023），海通证券研究所 备注：净利润为归属母公司所有者的净利润 公司研究〃拓荆科技（688072）2 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 我们预测拓荆科技 2024E-2026E 收入分别为 38.64 亿元、53.13 亿元和 71.78 亿元，分别同比增 42.85%、37.49%、35.10%；归母净利润分别为 7.69 亿元、10.49 亿元和14.54 亿元，分别同比增 16.11%、36.39%、38.64%。我们作预测的相关假设条件如下： ①、PECVD 设备。贡献公司收入的主力设备为 PECVD 设备，已实现产业化应用并实现销售的产品包括 12 英寸 PECVD 设备（PF-300T）和 8 英寸 PECVD 设备（PF-200T）。其中 PF-300T 设备主要应用于 12 英寸逻辑芯片及 Flash、DRAM 存储芯片制造，PF-200T 设备主要应用于 90nm 以上集成电路前道工艺及 3D TSV 先进封装环节。目前公司已实现全系列 PECVD 薄膜材料的覆盖，并持续后的批量订单和批量验收。此外，公司 2023 年首台 PECVD LoK II 工艺设备、ADC II 工艺设备通过验收、实现了产业化应用；PECVD 通用介质薄膜材料和先进介质薄膜材料均已