国内外半导体设备产业发展情况报告

国内外半导体设备产业发展情况报告 （简版） 中国电子信息产业发展研究院 赛迪智库集成电路产业研究所 2019 年 5 月赛迪智库集成电路所 前 言 半导体设备是包括集成电路、新型显示、太阳能光伏、发光二极管产业在内的泛半导体产业的基础，对产业发展起到极大的支撑和引领作用。近年来，在电子信息产业蓬勃发展带动下，我国泛半导体产业发展迅速，多个领域生产规模已经位居全球首位。但国产半导体设备与国外先进水平相比仍有差距，与产业国际领先地位极不相称。此前曾有多个机构或研究人员对半导体设备产业进行过梳理，但大多只局限于某个领域。为全面梳理我国半导体设备产业发展情况，赛迪智库集成电路所充分发挥在集成电路、新型显示、太阳能光伏、LED 等领域的研究优势，组织研究人员撰写了《国内外半导体设备产业发展情况报告》。该报告全面介绍了全球半导体设备行业的发展情况，在梳理各个环节主要设备基础上，分别从生产规模、设备进出口、产业发展格局、重点设备等维度介绍了集成电路、新型显示、光伏、LED 四大半导体产业领域的设备行业发展情况。最后总结了我国半导体设备存在的主要问题，提出相关对策建议。 此文为该报告的简版，若需要完整版报告，请与赛迪智库集成电路产业研究所联系索取。 （江华 010-68200513/13661246091） 赛迪智库集成电路产业研究所 2019 年 5 月 赛迪智库集成电路所1 一、全球半导体装备行业发展情况 （一）产业概况 半导体行业是以半导体为基础发展起来的产业，包括集成电路、新型显示、LED、光伏等。而半导体设备是指生产半导体相关产品的专用设备。本报告重点介绍集成电路、新型显示、光伏、LED 四类产业所需关键设备的发展情况。 2018 年，全球半导体设备行业产值达到 1007 亿美元。其中集成电路设备产值 649 亿美元，新型显示设备产值 280亿美元，光伏设备产值 48 亿美元，LED 设备产值 30 亿美元。2018 年全球前十大半导体设备厂商如下表所示。 表 1 2018 年全球前十大半导体设备厂商 序号 国家 企业 收入 （亿美元） 研发投入（亿美元） 员工人数 毛利率 1 美国 应用材料 172.5 20.2 21000 45.3% 2 荷兰 阿斯麦 124.0 17.8 23247 46.0% 3 日本 东京电子 117.4 8.9 11946 42.0% 4 美国 泛林半导体 108.7 12.1 10950 46.3% 5 日本 爱德万测试 44.7 3.1 4500 32.1% 6 美国 科天 40.4 6.1 6550 64.0% 7 日本 斯科半导体 33.2 2.1 6099 27.6% 8 新加坡 先进太平洋科技 24.9 2.1 16300 38.0% 9 美国 泰瑞达 21 3.0 4900 58.1% 10 日本 日立高科 14 -- 295941 26.5% 合计 700.9 76.7 401433 42.6% （平均值） 注：*以上收入均为半导体设备业务销售收入，并为自然年收入 *按 1 欧元=1.13 美元，1 日元=0.009121 美元计算 *因为无法区分，日立高科和爱德万研发投入和人员为集团 2017 财年（截至 2018 年 3月）数据 数据来源：企业财报，赛迪智库整理，2019.4 赛迪智库集成电路所2 2018 年，我国半导体设备行业产值达到 344 亿元。其中集成电路设备产值 56 亿元，新型显示设备产值 80 亿元，光伏设备产值 160 亿元，LED 设备产值 48 亿元。2018 年我国前十大半导体设备厂商如下表所示。 图 1 我国半导体装备产值情况 数据来源：赛迪智库集成电路所 2019.5 表 2 2018 年我国前十大半导体设备厂商 序号 企业 2018 年收入（亿元） 1 北方华创 25.2 2 晶盛机电 22.2 3 欣奕华 16.7 4 屹唐半导体 16.6 5 中微半导体 16.4 6 中电装备 15.0 7 捷佳伟创 14.9 8 武汉精测 13.9 9 大族激光1 9.0 10 迈为股份 7.9 1 统计的其新型显示及半导体设备收入 集成电路, 16.3% 新型显示, 23.3% 光伏, 46.5% LED, 14.0% 赛迪智库集成电路所3 序号 企业 2018 年收入（亿元） 合计 157.8 数据来源：企业财报，赛迪智库整理，2019.4 （二）全球半导体设备贸易 表 3 2018 年全球主要地区半导体设备及零配件进出口情况 国家/地区 出口额（亿美元） 进口额（亿美元） 日本 245.6 63.2 中国大陆 25.1 307.7 韩国 86.6 169.0 中国台湾 31.3 116.9 美国 182.3 83.3 欧洲 46.4 24.7 数据统计：各国海关 2019.5 二、集成电路设备行业发展情况介绍 （一）全球集成电路设备行业发展概述 1、产业规模 2018 年，伴随行业景气度的延续，全球集成电路设备投资金额持续上涨，SEMI 数据显示，2018 年全球半导体设备市场规模达到 649 亿美元，其中全球晶圆加工设备市场销售额增长 15%，而其他前端设备（包括掩模/掩模版制造，晶圆制造和晶圆厂设备）销售额增长 9%，封装设备销售额增长2%，总的测试设备销售额增长了 20%。 赛迪智库集成电路所4 图 2 全球半导体设备投资额变化趋势 数据来源：SEMI，2019.03 2、竞争格局 全球集成电路设备头部企业经过多年自身发展和对外并购，已经在所在领域占据主导地位。全球前 10 大半导体设备厂商总市场占有率超过 80%，呈现典型的寡头垄断。其中沉积设备前三大厂商市占率超过 75%，刻蚀设备前三大企业占领了市场超 92%的市场份额，退火设备市场前三大企业市占率达到 94%，CMP 抛光机市场基本被应用材料、Ebara 占据，高端光刻机市场 ASML 一家独大。 （二）我国集成电路设备行业发展概述 1、产业规模 2018年，我国集成电路设备市场规模达到 131.1 亿美元，同比增长 59.3%，我国成为全球第二大集成电路设备市场，仅次于韩国。 434 369 318 374 360 410 560 649 10% -15% -14% 18% -4% 14% 37% 16% -20%-10%0%10%20%30%40%010020030040050060070020112012201320142015201620172018投资额（亿美元） YoY赛迪智库集成电路所5 图 3 中国半导体设备市场规模趋势 数据来源：SEMI，2019.4 目前，虽然我国有不少企业从事半导体设备的开发和生产工作，但真正在集成电路领域形成销售并且有一定竞争力的企业并不多，半导体设备企业大部分收入还主要来自于泛半导体领域，我国集成电路设备进口依赖问题仍然较为突出。2018 年内资控股品牌集成电路设备销售额约为 56 亿元人民币，其中国产产品销售额约 3