电子元器件行业半导体设备国产化系列跟踪：上海微电子~对接市场补国产光刻缺口，砥砺前行促企业创新发展

请务必阅读正文之后的免责条款部分 [Table_MainInfo] [Table_Title]2019.04.11 半导体设备国产化系列跟踪：上海微电子—对接市场补国产光刻缺口，砥砺前行促企业创新发展补国产光刻缺口，砥砺前行促企业创新发展 王聪（分析师） 张天闻（研究助理） 021-38676820 021-38677388 wangcong@gtjas.com zhangtianwen@gtjas.com 证书编号 S0880517010002 S0880118090094 本报告导读： 上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商。公司目前在中低端光刻机领域技术先进，并在国内拥有较高市场份额，发展潜力巨大。 摘要： [Table_Summary] 上海微电子是国产光刻设备龙头企业。公司主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售，其中光刻设备是公司的主营业务。公司在光刻设备领域拥有全国最先进的技术，产品目应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试，以及平板显示、高亮度 LED 等领域。 光刻设备市场空间广阔，行业龙头集中。晶圆尺寸变大和制程缩小将使产线所需的设备数量加大，性能要求变高。随着产业转移和建厂潮的推动和边际需求改善，光刻设备市场将不断增长。光刻机设备市场龙头集中，全球光刻机出货量 99%集中在 ASML，尼康和佳能，最先进的 EUV 光刻机被 ASML 垄断。Nikon 和 Canon 目前在高端市场技术与 ASML 相差甚远，几乎完全退出市场，Canon 也退出了 ArF 光源光刻机研发与销售，将其业务重点集中于中低端光刻机市场，包括封装光刻机、LED 光刻机以及面板光刻机。公司的 IC 前道光刻机逐渐取得阶段性成果，积极布局 FPD 光刻机产品线，继续扩大在中低端光刻机市场的优势。目前公司 IC 前道光刻机水平与 ASML 差距明显，但是不断取得阶段性的成果，已经实现 90 nm 制程。公司已经实现从低端切入市场，在中低端市场中具有高国内市场占有率。公司拥有先进的封装光刻机技术，目前已成为封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达 80%，全球市场占有率达 40%。公司 LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED 光刻机市占率第一。目前公司积极进行 FPD 光刻机研发，实现首台 4.5代 TFT 投影光刻机进入用户生产线，公司 6 代以下机型全球领先，并逐步布局研发 6 代及 6 代以上的产品，努力切入主流厂商供应，未来有望打破长期被尼康和佳能所垄断的 FPD 光刻机市场格局。投资建议。通过跟踪上海微电子成长历史，我们认为随着本轮半导体晶圆建厂热潮，像上海微电子这种具有自主知识产权的半导体设备企业将会深度受益产业发展，同时利用资本平台快速崛起，上市标的推荐北方华创（002371）、盛美半导体（ACMR.O），中微公司（科创板拟上市）受益。风险提示。公司晶圆、面板等市场开拓不及预期。[Table_Invest]评级： 增持 上次评级：增持 [Table_subIndustry]细分行业评级 半导体 增持 [Table_Report]相关报告 电子元器件：《半导体设备国产化系列跟踪：中微半导体—刻蚀、MOCVD》 2019.03.25 电子元器件：《下一个时代：5G+AI》 2019.02.18 电子元器件：《多轮驱动刻蚀市场，大陆厂商崛起可期》 2018.09.27 电子元器件：《5G 基建脚步临近，PCB 板大有可为》 2018.08.14 印刷电路板：《国内产业集中度提升，内资大厂加速崛起》 2018.07.10 行业专题研究电子元器件 股票研究 证券研究报告 行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 of 20 目 录 1. 光刻设备中国龙头，各方扶持蓄力发展 ............................................. 3 1.1. 上海微电子技术先进，是中国光刻设备龙头厂商 ...................... 3 1.2. 公司在大陆市场份额高，业绩逐渐向好 ...................................... 4 1.3. 公司国有股份占比高 ...................................................................... 6 2. 光刻机：高壁垒资本密集核心设备，市场广阔龙头集中 ................. 6 2.1. 光刻技术是实现先进制程的关键设备 .......................................... 6 2.2. 光刻机市场空间广阔，高低端市场格局迥异 .............................. 9 2.2.1. 光刻机市场龙头集中，中低端市场广阔竞争激烈 ............... 9 2.2.2. 半导体产线升级为光刻设备带来更大需求 ......................... 13 3. 对接多元光刻机市场需求，积极开拓封装、LED 和平板显示光刻机业务 .............................................................................................................. 13 3.1. 公司前道光刻机差距较大，后道封装光刻机优势明显 ............ 13 3.1.1. 公司前道光刻机与国际先进水平差距较大 ......................... 13 3.1.2. 公司封装光刻机技术先进，未来将依托于广阔市场不断发展 14 3.2. 国内 LED 市场需求快速增长，公司 LED 光刻机性能指标领先 15 3.3. 国内 FPD 产业高速发展，公司积极开拓 FPD 光刻机市场...... 16 4. 投资建议 ............................................................................................... 19 5. 风险提示 ............................................................................................... 19 行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分 3 of 20 1. 光刻设备中国龙头，各方扶持蓄力发展 1.1. 上海微电子技术先进，是中国光刻设备龙头厂商 上海微电子是在国家科技部和上海市政府共同推动下，由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技企业。公司成立于 2002 年，主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设