电子元器件行业半导体设备国产化系列跟踪：中微半导体，刻蚀、MOCVD全球龙头，深度受益大陆产业发展

请务必阅读正文之后的免责条款部分 [Table_MainInfo] [Table_Title] 2019.03.25 半导体设备国产化系列跟踪：中微半导体—刻蚀、MOCVD MOCVD 全球龙头，深度受益大陆产业发展 王聪（分析师） 张天闻（研究助理） 021-38676820 021-38677388 wangcong@gtjas.com zhangtianwen@gtjas.com 证书编号 S0880517010002 S0880118090094 本报告导读：中微半导体是一家面向全球的微观加工高端设备公司，现已接受上市辅 导。公司专注刻蚀和化学薄膜沉积类型设备的生产，未来将通过不断创新以及凭资本化平台克服挑战成为全球龙头半导体设备公司。 投资要点： [Table_Summary]  中微半导体是领先的高端芯片制造设备供应商，现已接受上市辅导。中微半导体主要研发生产刻蚀和化学薄膜沉积类型设备；公司成立于 2004 年，根据半导体设备年会，2014 年中微半导体占大陆半导体设备出口额的 79%，2017 年收入超 1 亿美金，增长近80%，2018 年收入、利润维持高速成长,已接受上市辅导。  公司主营的制造设备市场增长空间巨大，行业驱动力充足。受益于国内建厂潮引起的内资需求增大以及芯片制程推进和设计结构复杂化，半导体制造产线中刻蚀设备需求量将进一步加大。另外近年来，随着全球 LED 芯片行业逐渐向大陆转移，国内产能占全球总产能近 70%。公司主打 MOCVD 设备是 LED 芯片生产过程中最关键和最昂贵的设备,全球 MOCVD 市场市场规模将从 2016 年的6.15 亿美元增加到 2021 年的 11.63 亿美元。  中微业绩快速成长，三大产品领域排名世界前三并广泛应用于国内外市场，同时积极推出极具竞争力的新型设备。公司的三大产品均位列全球前三：（1）介质刻蚀设备已经总计进入 20 余条芯片生产线， 7nm 制程已实现量产，5nm 制程正在与龙头代工合作研发；（2）中微在 TSV 硅通孔刻蚀设备方面，8 英寸和 12 英寸设备国内市占率超过 50%；（3）中微的 MOCVD 打破了美国的 Veeco 和德国的 AIXTRON 的垄断局面，实现了国产化替代。除此之外，中微半导体的芯片硅刻蚀设备也正在进行客户验证。  公司成为国内外龙头客户的重要供应商并拥有核心技术专利，未来将克服挑战成为平台型公司。公司坚持自主专利创新，严格尊重他人知识产权。对标 AMAT 我们预测中微未来将通过不断创新和正确的市场战略以及资本化平台克服挑战成为龙头平台公司。  投资建议。通过跟踪中微半导体成长历史，我们认为随着本轮半导体晶圆建厂热潮，像中微半导体这种具有自主知识产权的半导体设备企业将会深度受益产业发展，同时利用资本平台快速崛起，上市标的推荐北方华创（002371）、盛美半导体（ACMR.O）。  风险提示。中美贸易战带来的不确定性及全球晶圆建厂资本支出不及预期。 [Table_Finance] 评级： 增持 上次评级： 增持 [Table_Profit] [Table_Report] 相关报告 电子元器件：《下一个时代：5G+AI》 2019.02.18 电子元器件：《多轮驱动刻蚀市场，大陆厂商崛起可期》 2018.09.27 电子元器件：《5G 基建脚步临近，PCB 板大有可为》 2018.08.14 印刷电路板：《国内产业集中度提升，内资大厂加速崛起》 2018.07.10 电子元器件：《智能声学创新开启语音交互新时代》 2018.01.14 行业专题研究 电子元器件 股票研究 证券研究报告 行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 of 24 目 录 1. 中微半导体是领先的高端芯片装备企业，已辅导备案 ..................... 3 1.1. 2004 年成立于上海张江，分公司已遍布全球 ............................. 3 1.2. 快速成长，三大产品领域排名世界前三 ...................................... 4 1.3. 中微半导体已接受多轮融资 .......................................................... 5 1.4. 已接受上市辅导，为登陆资本市场做准备 .................................. 6 2. 刻蚀设备与 MOCVD 设备行业国产设备逐步崛起 ............................ 7 2.1. 刻蚀设备市场持续增长，国产设备逐步崛起 .............................. 7 2.2. MOCVD：专利技术密集型产业，是生产 LED 外延芯片的关键设备 9 3. 刻蚀设备与 MOCVD 设备均为世界前三，硅刻蚀设备（CCP）等设备不断突破 ................................................................................................... 11 4. 对标 AMAT，迈向自主知识产权平台型设备龙头公司 ................... 16 4.1. 对标 AMAT，公司未来将克服挑战成为平台型公司 ................ 16 4.2. 公司注重研发与创新得到政府的支持，成功进入美国市场 .... 21 5. 投资建议 ............................................................................................... 22 6. 风险提示 ............................................................................................... 23 行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分 3 of 24 1. 中微半导体是领先的高端芯片装备企业，已辅导备案 1.1. 2004 年成立于上海张江，分公司已遍布全球 中微半导体是一家面向全球的微观加工高端设备公司，为半导体行业及其他高科技领域服务。2004 年，公司成立于上海张江高科苑，总部位于中国上海，在中国大陆、中国台湾、新加坡、日韩、美国等多个地区都已经设有分公司。公司通过向全球半导体和 LED 芯片制造商提供具有自主知识产权的晶圆制造方案，帮助他们提升技术水平、提高生产效率、降低生产成本。公司致力于向国内外半导体芯片前段制造、后端封装、发光二极管生产以及其他微观制造的生产线提供极具竞争力的设备和高质量的客户服务。