半导体设备行业研究系列之检测篇：进口替代，检测先行

请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 证券研究报告 2018 年 9 月 26 日 主题研究 半导体设备研究系列之检测篇：进口替代，检测先行 观点聚焦 投资建议 随着半导体产能逐步向中国大陆转移，我们预计国产检测设备将迎来发展东风。建议投资者重点关注后道检测设备的先锋企业长川科技，以及同时布局前道和后道检测设备的精测电子。 理由 乘晶圆厂建设东风，检测设备迎来发展良机。检测贯穿集成电路制造全程，是保证良率的关键。我们估算 2018/19 年中国大陆检测设备市场空间为 149/218 亿元，同比增长 43%/47%。其中前道/后道检测设备市场空间将分别从 2018 年的 84/64 亿元增长43%/47%至 2019 年的 124/94 亿元，市场空间广阔。 前道过程控制检测：国产设备有望从细分领域突围。1）涵盖多种细分设备，覆盖各类参数检测。前道检测针对膜厚、膜应力、折射率、线宽等关键参数进行测量，主要设备包括有图形晶圆光学检查设备/掩膜检查设备/薄膜测量设备/关键尺寸扫描电子显微镜等，预计以上设备 2019e 中国大陆市场空间分别为 40/16/15/12亿元。2）外资主导市场，国产设备有望从细分领域突围。科磊/日立/应用材料分别拥有 53%/13%/12%的份额，CR3 达 79%，市场基本被外资占据。目前上海睿励在光学测量方面实现国产化，精测电子也已有布局，国产商未来有望在部分细分领域取得突破。 后道检测：部分国产企业初露峥嵘，下游应用领域有待拓展。1）三类设备合计市场空间百亿。后道检测设备包括测试机、分选机和探针台三类，我们估算以上设备 2019e 中国大陆市场空间分别为 67/10/17 亿元。2）外资占据主导，部分企业实现进口替代。2017 年，龙头企业泰瑞达、爱德万、科休和科利登的市场份额分别为 35%、26%、7%和 7%，CR2/CR5 达 61%/75%，市场高度集中。目前已有本土企业在某些细分领域实现国产化，如长川科技在模拟/数模混合电路的测试机和分选机领域实现了进口替代，精测电子也有产品在研，但国产高端数字电路和 SoC 检测依然有待拓展。 盈利预测与估值 随着中国大陆的晶圆厂设备投入进入高峰期，国产设备厂商也迎来发展良机。我们预计本土检测设备厂商有望成为设备进口替代的先行者，继续推荐泛半导体检测领军企业精测电子，并建议投资者积极关注长川科技。 风险 半导体终端需求增速下行，晶圆厂建设进度不及预期。 目标 P/E (x) 股票名称 评级 价格 2018E 2019E 精测电子-A 推荐 86.50 42.9 28.5 中车时代电气-H 推荐 53.94 15.0 11.8 主要涉及行业 工业 相关研究报告 • 精测电子-A | 面板检测龙头，半导体检测新秀 (2018.06.11) • 半导体设备国产化迎来契机 (2018.04.19) • 晶圆厂迎装机热潮，半导体设备遇发展良机 (2018.04.10) • 半导体设备景气、工程机械热销 (2018.04.02) 资料来源：万得资讯、彭博资讯、中金公司研究部 张梓丁 孔令鑫 分析员 分析员 ziding.zhang@cicc.com.cn SAC 执证编号：S0080517090002 lingxin.kong@cicc.com.cn SAC 执证编号：S0080514080006 SFC CE Ref： BDA769 6778891001111222017-092017-122018-032018-062018-09相对值 (%) 沪深300 中金机械 中金公司研究部: 2018 年 9 月 26 日 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 2 目录 检测贯穿半导体产业链全程，对保障良率至关重要 ........................................................................................................... 4 产品良率的保障离不开层层检测 .......................................................................................................................................... 4 随着芯片集成度和复杂度的提高，对检测的要求也越来越高 ........................................................................................... 5 前道检测设备：百亿市场空间，期待国产突破 .................................................................................................................. 6 过程控制检测是对硅片性能进行精确评估 ........................................................................................................................... 6 中国大陆前道检测设备市场空间 120 亿，市场集中度高 ................................................................................................... 7 前道检测国产化率较低 ........................................................................................................................................................ 11 后道检测设备：空间广阔，国产设备初露峥嵘 ................................................................................................................ 12 后道检测的原理和分类 ........................................................................................................................................................ 12 后端检测设备主要包括测试机、分