电子行业：看好空白掩膜版与掩膜版的技术通胀和国产替代

谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 1 看好空白掩膜版与掩膜版的技术通胀和国产替代 电子 证券研究报告 行业专题报告 / 2026.09.22 投资评级:看好（维持） 最近 12 月市场表现 分析师 唐佳 SAC 证书编号：S0160525110002 tangjia@ctsec.com 分析师 詹小瑁 SAC 证书编号：S0160525120008 zhanxm@ctsec.com 相关报告 1. 《芯片近端散热瓶颈凸显，金刚石方案加速商业化》 2026-09-21 2. 《海外龙头囤货涨价，高景气驱动业绩估值双修复》 2026-09-18 3. 《再谈韬定律：我们为什么看好后道测试环节？》 2026-09-10 核心观点 ❖ 掩膜版是光刻工艺的图形母版、晶圆制造第三大材料，空白掩膜版则是掩膜版上游的卡脖子环节之一。掩膜版是承载芯片电路图形并通过曝光将其批量转移至硅片的“蓝本”，其品质直接决定下游良率，同时市场规模约占晶圆制造材料的 12%，仅次于硅片与电子特气，根据 SEMI 测算，2025 年半导体掩膜版国内市场空间达百亿元量级。技术难度上，随着半导体工艺的不断升级，半导体掩模版对最小线宽、CD 精度等要求日益严苛；而空白掩膜版是技术壁垒最高的环节，被美日韩企业长期垄断。空白掩膜版的难点在于，石英基板需达到亚纳米级平整度与极低缺陷密度，其直接决定光刻图形转移精度。据半导体前沿，当前国内半导体掩膜版整体国产化率约 10%、高端仅约 3%；空白掩膜版环节更为严峻，ArF 基板国产化率几乎为零、EUV 基板处于禁运状态，掩膜版与空白掩膜版由此成为继光刻胶之后国产光刻材料链条上最具紧迫性的拼图之一。 ❖ 制程节点缩进、先进制程多重曝光与先进封装三重叠加，掩膜版量价齐升。掩膜版需求兼具设备属性与耗材属性，新增产线、新品流片与半导体技术迭代带来增量光罩需求，而曝光次数累积则决定更换频率，2026-2027 年国内晶圆厂扩产与国产算力芯片密集迭代形成需求共振。具体来看，制程节点缩进带动掩膜版层数增加，据 IC Knowledge 统计，130nm 节点所需掩膜版层数约30 层，28nm 节点增至约 50 层，14nm/10nm 节点进一步达到 60 层；多重曝光将单层掩膜数量由 1 张提升至 2-4 张甚至更多，制造复杂度与单价同步抬升；CoWoS/CoWoP 等先进封装对封装掩膜版提出更小线宽、更大面积、更高套刻精度的要求；供给端，EUV 掩膜基板由日系掌控九成以上供给、定价权持续强化，日本对华出口管制后先进光刻材料价格亦明显上行，成为国产替代加速的现实催化，据 SEMI 预计 2025 年中国半导体掩膜版需求约 6.95 亿美元。综合来看，需求端量价齐升与供给端日系主导、出口管制收紧形成共振，掩膜版作为晶圆制造第三大材料的战略地位持续凸显，国产替代正迎来加速窗口。 ❖ 日系长期垄断，2026 年是验证导入与产能落地的关键窗口。空白掩膜版全球供给由日本 Hoya、信越、AGC 占据约 83%份额，对日替代已成为产业链的共同主线。国内空白掩膜版核心变量在聚和材料：公司于 2026 年 3 月底完成对 SKEnpulse 株式会社空白掩膜版业务的收购交割，产品为适配 DUV-ArF 及KrF 半导体光刻工艺的掩膜基板，主要应用于 PSM 相移掩模版，已通过 SK海力士、TMC 等客户认证并批量供货。掩膜版制造环节则呈现“第三方厂商多点追赶”格局：清溢光电已量产 180nm、150nm 小批量量产并推进 130-40nmPSM/OPC 与 28nm 工艺开发规划；路维光电路芯项目一期 90nm 成套及40nm/28nm 单片掩膜版已验证供货、二期布局 28-14nm；龙图光罩 90nm 已完成从研发到量产的跨越，国产进程如火如荼。 ❖ 投资建议：建议关注空白掩膜版稀缺标的聚和材料，以及半导体掩膜版企业清溢光电、路维光电、龙图光罩、冠石科技等 ❖ 风险提示：下游需求波动风险，行业竞争加剧风险，供应链与国产化风险。 -11%8%27%46%65%84%电子沪深300 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 2 行业专题报告/证券研究报告 信息披露 ⚫ 分析师承诺 作者具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，并注册为证券分析师，具备专业胜任能力，保证报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于作者的职业理解。本报告清晰地反映了作者的研究观点，力求独立、客观和公正，结论不受任何第三方的授意或影响，作者也不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。 ⚫ 资质声明 财通证券股份有限公司具备中国证券监督管理委员会许可的证券投资咨询业务资格。 ⚫ 公司评级 以报告发布日后 6 个月内，证券相对于市场基准指数的涨跌幅为标准： 买入：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅大于 10%； 增持：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在 5%～10%之间； 中性：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在-5%～5%之间； 减持：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅小于-5%； 无评级：由于我们无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使我们无法给出明确的投资评级。 A 股市场代表性指数以沪深 300 指数为基准；中国香港市场代表性指数以恒生指数为基准；美国市场代表性指数以标普 500指数为基准。 ⚫ 行业评级 以报告发布日后 6 个月内，行业相对于市场基准指数的涨跌幅为标准： 看好：相对表现优于同期相关证券市场代表性指数； 中性：相对表现与同期相关证券市场代表性指数持平； 看淡：相对表现弱于同期相关证券市场代表性指数。 A 股市场代表性指数以沪深 300 指数为基准；中国香港市场代表性指数以恒生指数为基准；美国市场代表性指数以标普 500指数为基准。 ⚫ 免责声明 本报告仅供财通证券股份有限公司的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。 本报告的信息来源于已公开的资料，本公司不保证该等信息的准确性、完整性。本报告所载的资料、工具、意见及推测只提供给客户作参考之用，并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的邀请或向他人作出邀请。 本报告所载的资料、意见及推测仅反映本公司于发布本报告当日的判断，本报告所指的证券或投资标的价格、价值及投资收入可能会波动。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。 本公司通过信息隔离墙对可能存在利益冲突的业务部门或关联机构之间的信息流动进行控制。因此，客户应注意，在法律许可的情况下，本公司及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务。在法律许可的情况下，本公司的员工可能担任本报告所提到的公司的董事。 本报告中所指的投资及服务可能不适合个别客户，不构成客户私人咨询建议。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议。在任何情况下，本公司不对任何人使用本报告中的