半导体行业AMHS：晶圆厂自动物料传送系统，国产替代从0到1进入破局期

联合研究丨行业深度 [Table_Title] AMHS：晶圆厂自动物料传送系统， 国产替代从 0 到 1 进入破局期 %%%%%%%%research.95579.com1 请阅读最后评级说明和重要声明 2 / 25 丨证券研究报告丨 报告要点 [Table_Summary]AMHS 是晶圆厂自动化的“物流神经系统”，壁垒不在单机，而在整厂级软硬件稳定交付、高洁净/低振动控制和调度算法。行业受晶圆厂扩产、12 英寸化、存量改造与国产替代驱动，需求具备中长期持续性。全球格局由大福、村田主导，国产厂商正从单点设备验证迈向整厂交付突破。投资主线看价值量提升、系统级国产替代和软件调度能力，重点跟踪大型 12 英寸验证、订单放量与毛利率修复。关注海晨股份、弥费科技（申请科创板上市）和果纳半导体（申请港股上市）等。 分析师及联系人 [Table_Author] 韩轶超 张弛 鲁斯嘉 SAC：S0490512020001 SAC：S0490520080022 SAC：S0490519060002 SFC：BQK468 SFC：BUT917 SFC：BWN875 胡俊文 SAC：S0490524120001 %%%%%%%%research.95579.com2 请阅读最后评级说明和重要声明 更多研报请访问 长江研究小程序 丨证券研究报告丨 cjzqdt11111 [Table_Title2] AMHS：晶圆厂自动物料传送系统， 国产替代从 0 到 1 进入破局期 联合研究丨行业深度 [Table_Summary2] AMHS：晶圆厂自动物料传送系统 AMHS（Automated Material Handling System）是晶圆厂自动化的“物流神经系统”，其核心价值在于整厂级软硬件系统稳定交付能力。半导体晶圆制造包含上千道工序，晶圆需要在工艺设备、量测设备、存储设备之间高频流转。随着 12 英寸化、先进制程、存储扩产和单片晶圆价值提升，人工搬运已难以满足洁净度、效率和可靠性要求，AMHS 成为晶圆厂保障产量、稼动率和良率的关键基础设施。典型 12 英寸中大型晶圆厂通常需要数百台天车、数十台大型存储设备、上万台空中缓存单元及 MCS 调度软件，行业壁垒集中在长期稳定运行、低振动、高洁净、亚毫米级定位和复杂调度算法。 需求扩容：晶圆厂扩产、12 英寸化和国产替代 AMHS 行业需求具备新建晶圆厂、12 英寸化和国产替代三重驱动。根据 SEMI 及赛迪顾问口径，2025 年全球 AMHS 市场规模约 40.53 亿美元，中国大陆约 14.79 亿美元，折合约 105.65亿元。中国大陆是全球最大半导体设备市场，2025 年半导体设备市场规模达 493 亿美元，且2025-2027 年预计占全球 WFE 市场约 30%份额。AMHS 需求不仅来自新厂建设，也来自存量扩产、旧厂改造、运维升级和国产替代，具备较强的中长期持续性。 竞争格局：全球双寡头主导，国产步入破局窗口 全球 AMHS 市场长期由日本大福集团和村田机械主导，二者合计份额约 90%。高集中度来自多年量产案例、客户信任、整厂工程经验和全球服务能力。国内厂商过去多从局部设备、后道和测试线切入，但在供应链安全、海外交期、本地化服务和成本因素推动下，国产替代正从单项设备验证进入整厂交付验证阶段。国产 AMHS 的突破路径将大概率沿着“Stocker/净化/缓存单元等单点设备导入—中小型晶圆厂整厂交付—大型 12 英寸区域线验证—大型 12 英寸整厂替代”逐级推进。 破局路径：从单点导入到 12 英寸整厂验证 国产 AMHS 替代不是一蹴而就，而是阶梯式推进。第一阶段是单项设备导入；第二阶段是中小型晶圆厂整厂交付；第三阶段是大型 12 英寸晶圆厂区域线验证。如果国产厂商在大型 12 英寸产线完成稳定运行，其市场空间和订单天花板将明显打开。 投资逻辑：价值量与国产替代共振，聚焦整厂交付能力 弥费科技是当前 AMHS 业务纯度较高、整厂验证披露较充分的国产标杆，已具备传送、存储、净化和 MCS 软件的全套产品体系，并完成多个 8 英寸及 12 英寸整厂项目验收。海晨股份通过海盟科技切入智能装备和 AMHS，是 A 股稀缺映射，但业务仍处早期放量阶段；若未来海盟在后道、SiC、成熟制程和前道客户中持续获得订单并完成验收，海晨有望从传统生产物流服务商，逐步形成“物流服务+自动化装备+AMHS”的新估值映射。果纳半导体则以 EFEM、Sorter等晶圆传输设备为基础，向厂级 AMHS 延伸，优势在设备级客户基础。 风险提示 1、晶圆厂资本开支不及预期风险；2、国产 AMHS 导入进度不及预期风险；3、整厂项目盈利能力波动风险；4、客户集中度较高风险；5、海外龙头竞争加剧风险；6、技术迭代与研发不及预期风险。 2026-07-20%research.95579.com3 请阅读最后评级说明和重要声明 4 / 25 联合研究 | 行业深度 目录 AMHS：晶圆厂自动物料传送系统 ................................................................................................ 6 需求扩容：晶圆厂扩产、12 英寸化和国产替代 ............................................................................ 8 资本开支：大厂保持高位，项目密集推进 ...................................................................................................... 8 订单验证：洁净室工程景气向产业链传导 .................................................................................................... 12 市场空间：市场小而美，国内超百亿 ........................................................................................................... 13 竞争格局：全球双寡头主导，国产步入破局窗口 ........................................................................ 15 破局路径：从单点导入到 12 英寸整厂验证 ................................................................................ 16 投资逻辑：价值量与国产替代共振，聚焦整厂交付能力 ............................................................. 17