卡位薄膜沉积高端工艺，受益存储扩产与国产替代

敬请参阅最后一页特别声明 1 投资逻辑 公司主营业务聚焦原子层沉积（ALD）核心工艺，并向 CVD 等真空装备及多元新兴应用市场延伸，产品全面覆盖半导体前道制造与光伏高效电池生产环节。公司 2025 年实现收入 26.33 亿元，同比微降 2.47%。半导体设备业务实现收入 8.81 亿元（YOY+169.12%）。截至 2025 年末，公司发出商品维持在 20.58 亿元的高水位，且合同负债于 2026Q1 末稳居 19.15 亿元。庞大的待结转资产与订单储备，有望支撑公司业绩稳健兑现。公司 2025 年 8 月发行可转债募集不超过 11.70 亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂及研发实验室扩建等项目。2026 年 6 月，公司转股价格 33.29 元/股。 AI 算力驱动与先进存储扩产共振，薄膜沉积设备需求高增。据WSTS 预测，2026 年全球半导体市场规模预计将达 1.51 万亿美元。受 3D NAND 与 DRAM 结构复杂化及逻辑芯片先进制程演进拉动，据ASMI 预测，全球单晶圆 ALD 市场规模将稳步攀升，至 2030 年达 51亿至 61 亿美元区间。公司是国内首家将量产型 High-k 原子层沉积设备导入前道逻辑与先进存储产线的本土企业。据公司 2025 年11 月披露，目前公司半导体新增订单中超过 80%直接来自于NAND与 DRAM 头部客户，深度绑定国内一线晶圆大厂。 平台化布局与高强度研发筑牢核心卡位优势。公司以 ALD 技术为锚点，成功打通并构建了覆盖半导体（逻辑、存储、先进封装）、光伏（TOPCon、HJT、钙钛矿）及柔性电子等领域的薄膜沉积设备矩阵。 盈利预测、估值和评级 我们预测公司 2026-2028 年营收分别为 31.79 亿元、44.37 亿元、64.05 亿元，归母净利润分别为 3.98 亿元、6.69 亿元、10.65 亿元。公司作为国内 ALD 薄膜沉积设备龙头的稀缺布局，半导体核心设备放量带来显著业绩弹性。首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 下游光伏行业景气度波动与设备验收延迟的风险，半导体核心客户集中度过高及下游资本开支不及预期的风险，核心技术研发与新工艺产线验证不及预期的风险，募投项目转固导致短期毛利率承压及盈利能力波动的风险，限售股解禁的风险。 公司基本情况（人民币） 项目 2024 2025 2026E 2027E 2028E 营业收入(百万元) 2,700 2,633 3,179 4,437 6,405 营业收入增长率 60.74% -2.47% 20.72% 39.56% 44.37% 归母净利润(百万元) 227 219 398 669 1,065 归母净利润增长率 -16.16% -3.23% 81.33% 68.20% 59.18% 摊薄每股收益(元) 0.495 0.476 0.856 1.441 2.293 每股经营性现金流净额 -2.18 0.85 0.90 0.76 0.53 ROE(归属母公司)(摊薄) 8.74% 7.40% 11.72% 16.46% 20.77% P/E 54.29 131.99 127.40 75.74 47.58 P/B 4.74 9.77 14.93 12.47 9.88 来源：公司年报、国金证券研究所 05001,0001,5002,0002,5003,0003,50030.0052.0074.0096.00118.00140.00162.00184.00250707251007260107260407人民币(元)成交金额(百万元)成交金额微导纳米沪深300 公司深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 2 扫码获取更多服务 内容目录 一、深耕原子层沉积，半导体设备开启第二增长曲线 ................................................. 4 1.1 十年深耕薄膜沉积,从光伏 ALD 龙头向半导体设备平台延伸 ................................... 4 1.2 研发投入持续增加，合同负债维持高位 ..................................................... 7 二、存储超级周期叠加国产替代，ALD 设备需求高增 ................................................. 9 2.1 半导体迈向万亿美元市场,AI 引爆存储超级周期 ............................................. 9 2.2 薄膜沉积占晶圆制造设备 22%,国产替代空间确定 ........................................... 11 2.3 ALD:先进制程驱动用量倍增,增速超半导体设备大盘 ......................................... 13 三、光伏出清叠加技术迭代,设备需求结构性切换 ................................................... 15 四、盈利预测与投资建议 ........................................................................ 17 4.1 盈利预测 .............................................................................. 17 五、风险提示 .................................................................................. 19 图表目录 图表 1： 公司深耕原子层沉积，从光伏设备延伸发展至半导体领域 .................................... 4 图表 2： 公司产品主要包括半导体及光伏薄膜沉积设备等 ............................................ 4 图表 3： 2025 年，公司半导体设备业务收入同增 169.12% ............................................ 6 图表 4： 公司客户集中度高，弹性较大 ............................................................ 6 图表 5： 公司股权结构稳定 ...................................................................... 7 图表 6： 受光伏设备收入减少影响，公司营收承压 .................................................. 7 图表 7： 公司利润受营收下降、客户债务重组、汇兑波动影响，短期下滑 ............