电子特气行业报告：硅烷材料：从光伏辅料到硅碳负极、光纤核心原料

证券研究报告化工行业|深度报告硅烷材料：从光伏辅料到硅碳负极、光纤核心原料电子特气行业报告——2026-07-03证券分析师:王亮分析师登记编号:S1190522120001证券分析师:王海涛分析师登记编号:S1190523010001请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远报告摘要电子特气为半导体制造关键材料，被称为“芯片血液”•电子特气广泛应用于集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业。集成电路制造涉及上千道工序，工艺极其复杂，需使用上百种电子特种气体。从半导体市场构成来看，电子特气为晶圆制造过程中的第二大耗材，占比接近14%，仅次于硅片。下游三大需求领域强力驱动，中国电子特气市场规模高速增长•电子特气下游三大领域齐头并进，半导体制造伴随AI技术发展与日俱增，显示面板在下游消费电子逐步复苏下稳步增长，光伏光纤需求稳健增长。电子特气行业市场空间广阔，市场规模有望保持高速增长。•需求方面，下游Fab厂的逆周期扩产将会为电子特气带来需求的持续增长。政策方面，《中国制造2025》提出了我国70%的核心基础零部件以及关键基础材料需实现自主保障的规划，为电子特气国产化提供了政策指导和支持。预计中国电子气体市场有望迎来加速发展。市场规模有望从2024年的195亿元提升至2030年的708亿元，尤其是电子特气的市场规模将快速提升至420亿元。从光伏辅料到硅碳负极、光纤核心原料，硅烷材料有望迎来新机遇•硅烷凭借其独特的“气体”和“含硅”特性，是最重要的高纯硅源之一，主要应用于半导体微电子薄膜制备，同时还用于硅基层低温外延、选择外延、异质外延，以及化合物半导体器件如砷化镓、碳化硅合成等。未来硅碳负极等新应用的扩散有望带动国内硅烷气需求持续增长。高纯四氯化硅因为副产物的属性决定了该产品扩产较难，光纤需求大幅增加导致行业阶段性供应紧张。请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远1. 电子特气为半导体制造关键材料，被称为“芯片血液”2. 下游三大需求领域强力驱动，中国电子特气市场规模高速增长3. 从光伏辅料到硅碳负极、光纤核心原料，硅烷材料有望迎来新机遇4. 投资建议和风险提示目录请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远1.工业气体可分为大宗气体和特种气体图表1：大宗气体应用领域Ø工业气体广泛应用于现代工业的各个领域，根据其纯度和用量大小可以分为大宗气体和特种气体两类。大宗气体指大批量用于工业生产制造，纯度小于等于99.99%（4N）的气体；根据制备方式的不同可分为空分气体和合成气体。特种气体是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气，特种气体可分为标准气体、高纯气体（电子大宗气体）和电子特气。资料来源：前瞻产业研究院、亿渡数据，太平洋证券请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远2.大宗气体对纯度要求较低，可分为空分气体和合成气体图表2：工业气体分类Ø空气气体指利用空气分离设备，从空气中分离出来的工业气体（广义上衍生为通过物理反应分离的工业气体），主要通过分离空气或工业废气制取。空气气体主要包括氧气、氮气、氩气等，在空气中的体积占比分别为20.95%、78.08%、0.93%。合成气体指通过化学反应制取的工业气体，包括乙炔、氨气、二氧化碳等。Ø大宗气体是现代工业的重要基础原料，广泛应用于国民经济众多领域。目前，大宗气体消耗最多的行业是冶金和化工行业。新能源、半导体、电子信息、生物医药、新材料等多个产业的快速发展，也促进了大宗气体应用领域的延伸。资料来源：亿渡数据，太平洋证券应用领域冶金石油机械加工食品行业环保行业医疗行业化肥空分气体氧气√√√√√√氮气√√√√√氩气√√合成气体二氧化碳√√√√√乙炔√√√氨气√√请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远3.电子气体包括电子特种气体和电子大宗气体图表3：电子气体主要分类图表4：电子特气应用领域资料来源：金宏气体招股书，太平洋证券Ø电子气体包括电子特种气体和电子大宗气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料。资料来源：中船特气招股说明书，太平洋证券类别用途主要产品电子特种气体化学气相沉积(CVD)氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等离子注入氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等光刻胶印刷氟气、氦气、氪气、氖气等扩散氢气、三氯氧磷等刻蚀氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等掺杂含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体,如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等电子大宗气体 环境气、保护气、载体氮气、氧气、氩气、二氧化碳等请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远4.集成电路制造涉及百种电子特种气体图表5：电子特种气体在集成电路工艺中的应用Ø电子特种气体是集成电路制造所必需的支撑性材料，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求，被誉为半导体行业的“粮食”和“血液”。集成电路制造涉及上千道工序，工艺极其复杂，需使用上百种电子特种气体。资料来源：中船特气招股说明书，太平洋证券多晶硅拉晶切割研磨抛光清洗硅片制造芯片设计光罩制作电路设计CAD版图设计光罩制作单晶硅片清洗氧化成膜沉积光刻刻蚀掺杂光阻去除老化检验晶圆测试传统封装先进封装芯片测试客户芯片制造封装测试请务必阅读正文之后的免责条款部分 守正 出奇 宁静 致远5.电子特气广泛应用于集成电路、显示面板等领域图表6：不同应用领域电子特气的分类图表7：电子特气应用于晶圆制造各个环节资料来源：金宏气体招股书，太平洋证券Ø在电子气体在集成电路制造中，根据不同