立足废气治理，打造半导体厂务系统服务商

请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告 | 2026年06月25日优于大市盛剑科技（603324.SH）立足废气治理，打造半导体厂务系统服务商核心观点公司研究·深度报告环保·环保设备Ⅱ证券分析师：黄秀杰证券分析师：朱家琪021-61761029021-60375435huangxiujie@guosen.com.cnzhujiaqi@guosen.com.cnS0980521060002S0980524010001证券分析师：刘汉轩010-88005198liuhanxuan@guosen.com.cnS0980524120001基础数据投资评级优于大市(首次)合理估值59.64 - 66.10 元收盘价45.30 元总市值/流通市值6690/6690 百万元52 周最高价/最低价45.30/22.61 元近 3 个月日均成交额231.87 百万元市场走势资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理相关研究报告半导体厂务设备：全球 AI 基建下一个通胀环节。AI 算力驱动下全球晶圆厂大幅扩产，需求爆发使供应链脆弱性首先体现在工程建设端，洁净室建设面临严重缺工问题。晶圆厂建设遵循土建-洁净室-厂务设备-工艺设备的时序，随着工程推进，通胀由洁净室向厂务设备传导，海外厂务设备出现供给缺口。厂务设备虽不直接参与芯片加工，但作为洁净厂房的环境支持系统至关重要。国产厂务设备产品与海外厂商性能差距小，在国内重资产制造、模块化预制和交付响应方面更具灵活性，产能储备更充足，有望实现出海突破。半导体特种排气风管有望实现出海“0-1”突破。废气处理是半导体生产的刚需环节，特种排气风管是其中的核心组件，全球生产风管的厂商众多，但具有高端认证的产能相对稀缺。受人力成本、材料成本、环保合规成本制约，海外特种风管厂商主观上无增产意愿，客观上无扩产能力。面对新建晶圆厂的特种风管供给缺口，EPC 承包商或系统集成商不得不打破本地采购的惯例，集中向中国特种风管厂商采购。公司是半导体废气治理龙头，特种风管产品拥有 FM 双认证，当前产能储备充足，有较大增产空间。关键厂务设备供不应求，公司产品加速迭代验证。公司产品不断向洁净室内部延伸，当前已布局工艺废气处理设备（Local Scrubber）、真空设备（Pump）、温控设备（Chiller）。在先进逻辑芯片的多重模板工艺和先进存储芯片 3D堆叠工艺的推动下，芯片制造过程中的沉积、刻蚀等需求大幅提升，带动配套的真空、废气处理、温控设备需求量显著增加。国产 Local Scrubber 和温控设备在成熟制程产线已基本实现高比例替代，国产化率快速提升。海外真空设备出现供给缺口，为国产真空泵厂商打开宝贵替代窗口。公司产品性能对标国际一线水准，2025 年新产能正式投产，产能储备充足，核心产品已进入海内外头部客户产线验证与客户端技术验证阶段，订单有望逐步兑现。投资建议：首次覆盖，给予“优于大市”评级。公司由特种风管制造起家，高端认证过关，产能储备充足，有望充分受益下游需求释放。公司产品不断向洁净室内部延伸，在国产替代和海外需求爆发共同作用下，公司厂务设备产品加速迭代验证，订单有望逐步兑现，形成强劲增长极。预测 2026-2028年归母净利润为 0.71/2.04/3.60 亿元，归母净利率为 3.9%/9.1%/13.5%。综合绝对估值法与相对估值法，得到公司目标估值区间为 59.64-66.10 元，对应公司目标总市值 88-98 亿元，较当前股价有 32%-46%的空间。风险提示：下游半导体行业资本开支不及预期风险、市场竞争加剧的风险、现金流持续承压风险、新产品客户验证进度不及预期的风险等。盈利预测和财务指标202420252026E2027E2028E营业收入(百万元)1,4511,1261,8372,2522,679(+/-%)-20.5%-22.4%63.2%22.6%19.0%归母净利润(百万元)120-1771204360(+/-%)-27.5%-114.3%-514.3%188.0%76.4%每股收益（元）0.80-0.120.481.382.44EBITMargin9.9%-1.0%6.0%12.5%17.8%净资产收益率（ROE）7.1%-1.0%4.1%10.8%16.8%市盈率（PE）56.5-391.094.432.818.6EV/EBITDA50.2196.247.025.016.3市净率（PB）4.034.033.893.533.12资料来源：Wind、国信证券经济研究所预测注：摊薄每股收益按最新总股本计算请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告2内容目录盛剑科技：高科技厂务设备系统服务商 ............................................ 5立足工艺废气治理，打造半导体厂务系统服务商 ............................................5业绩阶段性承压，逆势投入蓄力新周期 ....................................................6算力基建升温，高景气向厂务设备环节传导 ........................................ 9厂务设备：算力基建浪潮中的下一个通胀环节 ..............................................9海内外需求共振，全球半导体资本开支提速 ...............................................11半导体末端废气处理龙头，出海空间广阔 ......................................... 13末端废气处理是半导体建厂刚需，受益于下游产能快速扩张 .................................13高端产能稀缺，海外扩产空间有限 .......................................................14盛剑科技：认证过关，产能充足，有望充分受益下游需求释放 ...............................16厂务设备供不应求，公司产品加速迭代验证 ....................................... 17芯片工艺持续迭代，厂务设备需求大幅增长 ...............................................17真空设备出现供给缺口，L/S 和温控设备国产替代快速推进 ................................. 20盛剑科技：产品性能对标国际一线，客户验证加速推进 .....................................22盈利预测：未来三年净利润 0.7/2.0/3.6 亿元 ..................................... 24估值与投资建议：目标价 59.64-66.10 元 .........................................