北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长

北交所首次覆盖报告 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 1 / 41 中科仪（920186.BJ） 2026 年 06 月 12 日 投资评级：增持（首次） 日期 2026/6/11 当前股价(元) 88.60 一年最高最低(元) 127.00/60.00 总市值(亿元) 198.32 流通市值(亿元) 103.73 总股本(亿股) 2.24 流通股本(亿股) 1.17 近 3 个月换手率(%) 462.11 中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体 + 光伏双驱迎来高增长 ——北交所首次覆盖报告 诸海滨（分析师） zhuhaibin@kysec.cn 证书编号：S0790522080007  中科院背景真空设备领军者，产能释放迎增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司拥有三个国家级研发平台，截至 2025 年 12 月 31 日，公司已经获得授权的发明专利 103 项、实用新型专利 20 项，软件著作权登记 37 项。我们看好公司募投放量，同时下游需求增加，预计公司 2026-2028 年的归母净利润分别为 2.26/2.64/3.14 亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入)，对应 EPS 分别为 1.01/1.18/1.40 元/股，对应 PE 为 87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。  集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据 WSTS 预计，2025 年全球集成电路市场规模将增至 6,779 亿美元，较 2024 年增长 25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023 年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达 16.03%。根据公司测算，2024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57 万台，市场规模约 125.74 亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为 5.21 万台，市场规模约 52.11 亿元；2024 年我国光伏产业对干式真空泵的需求约 6.7-8.2 万台，按单台均价 7 万元估算，市场规模约 47.0-57.2 亿元。  国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，打入国际晶圆大厂供应链 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户 A 等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连 Intel、SK 海力士的测试验证实现小批量出货。公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。  风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险、公允价值变动风险。 财务摘要和估值指标 指标 2024A 2025A 2026E 2027E 2028E 营业收入(百万元) 1,082 1,291 1,597 2,289 2,994 YOY(%) 27.1 19.3 23.7 43.4 30.8 归母净利润(百万元) 193 844 226 264 314 YOY(%) -67.9 337.8 -73.2 16.4 18.9 毛利率(%) 29.4 26.8 26.8 26.5 26.3 净利率(%) 17.8 65.4 14.2 11.5 10.5 ROE(%) 11.6 34.1 6.4 6.9 7.6 EPS(摊薄/元) 0.86 3.77 1.01 1.18 1.40 P/E(倍) 102.9 23.5 87.6 75.2 63.3 P/B(倍) 11.9 8.0 5.6 5.2 4.8 数据来源：聚源、开源证券研究所 北交所研究团队 北交所研究 北交所首次覆盖报告 开源证券 证券研究报告 北交所首次覆盖报告 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 2 / 41 目 录 1、 公司：半导体设备细分专精小巨人，国产真空领域主力军 ................................................................................................. 4 1.1、 产品：主营干式真空泵及真空科学仪器设备 .............................................................................................................. 6 1.1.1、 技术概述：真空技术应用广泛，其中集成电路对真空环境有较高依赖 ....................................................... 6 1.1.2、 主要产品为干式真空泵和真空科学仪器设备 ................................................................................................... 8 1.2、 创新能力：自主研发打破海外垄断，核心技术构筑护城河 .................................................................................... 14 1.3、 竞争格局：集成电路干式真空泵海外卡喉，公司抢抓国产替代机遇 .................................................................... 18 1.4、 募投项目：扩产+研发中心建设，进一步增强产品优势.......................................................................................... 21 2、 行业：集成电路产业稳步增长，干式真空泵市场持续扩容 ............................................................................................... 22 2.1、 干式真空泵：下游稳步增长，我国已成全球最重要的集成电路市场 .................................................................... 23 2.2、 真空科学仪器设备：基础研究持续深入带来发展空间 ............................................................................................ 28 2.3、 技术水平特点：干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高 ..............