首次覆盖报告：深度受益半导体设备多腔化趋势，加热盘业务放量在即

证券研究报告公司研究 / 公司深度2026 年 06 月 09 日半导体深度受益半导体设备多腔化趋势，加热盘业务放量在即——先锋精科（688605）首次覆盖报告报告原因：买入（首次评级）投资要点：投资建议：首次覆盖，给予“买入”评级。我们预计公司 2026-2028 年归母净利润分别实现2.68/3.46/4.34 亿元，同比增长 41.6%/29.3%/25.5%；对应 PE 分别为 56.1/43.4/34.6 倍。受益于半导体设备国产化加速及下游设备厂商订单增长，公司工艺部件与结构部件业务有望持续放量；同时涂层、陶瓷加热盘等高附加值产品占比提升，驱动盈利能力持续改善。公司2026–2028 年估值低于可比公司平均水平，配置价值凸显。公司与行业情况：1）公司：公司是国内少数实现 7nm 及以下刻蚀与薄膜沉积设备关键零部件量产配套的企业之一，深度绑定北方华创、中微公司、拓荆科技等头部半导体设备客户，产品覆盖腔体、内衬、匀气盘、加热器等核心工艺零部件，并持续推进金属加热盘、陶瓷加热盘及静电吸盘等高附加值产品布局。2）行业：根据 SEMI，中国大陆半导体设备市场规模将由 2020 年的 1,295 亿元增长至 2025 年的 3,451 亿元。其中，薄膜沉积与刻蚀设备合计市场规模约 1,518 亿元，占整体设备市场的 44%。进一步拆分设备价值量，反应腔、VTM及其他核心零部件合计占比约 59%，对应市场空间约 903 亿元。公司聚焦反应腔、传输腔等核心零部件领域，受益于设备市场扩容、国产替代深化及零部件价值量提升，成长空间广阔。存储扩产与先进工艺驱动设备多腔化，零部件价值量与业绩弹性同步放大。1）设备多腔化已成为半导体设备的重要演进方向，核心目标是在有限洁净室面积内提升产能密度和设备吞吐效率，尤其适用于单期扩产规模普遍超过 100k wpm 的存储产线。2）国内头部设备厂商正加速推进多腔化升级，中微刻蚀设备已由 1-2 腔演进至最高 8 腔平台，北方华创刻蚀及 PVD设备亦持续向多腔架构升级。随着刻蚀、沉积等工艺复杂度提升，多腔化将带动反应腔、传输腔、内衬及匀气盘等核心零部件需求增长。作为国内领先的腔体及核心零部件供应商，公司有望充分受益于设备多腔化趋势带来的需求扩容。半导体设备零部件产业格局：全球市场高度集中，国产厂商加速突破高端配套壁垒，高端功能部件国产替代加速。金属加热器、陶瓷加热器及静电吸盘等核心功能部件长期由海外厂商主导，国产化率仍处于较低水平。其中，金属精密零部件市场主要由 Ferrotec、UCT 及京鼎精密占据，静电吸盘市场则由 AMAT、LAM、SHINKO 及 TOTO 等头部厂商主导，市场集中度超过 90%。随着国内设备厂商市场份额提升以及零部件企业逐步完成客户验证并进入批量导入阶段，高端功能部件国产替代有望加速推进。核心假设：中国半导体设备市场行业景气度持续；公司加热盘及静电吸盘产能释放顺利。股价表现的催化剂：中国晶圆代工厂及存储厂资本开支超预期；公司陶瓷加热盘产品客户验证取得突破，实现批量导入；公司新产能顺利爬坡，高端产品放量。风险提示：中国晶圆代工厂及存储原厂扩产不及预期风险；产品验证进度不及预期风险；半导体设备零部件行业竞争加剧风险。市场数据：2026 年 06 月 08 日收盘价（元）69.92一年内最高/最低（元）84.49/55.23市净率8.5股息率（分红/股价）0.43流通 A 股市值（百万元）7,576上证指数/深证成指3,959/14,821注：“股息率”以最近一年已公布分红计算基础数据：2026 年 03 月 31 日每股净资产（元）8.3资产负债率%24.79总股本/流通 A 股（百万）202/108流通 B 股/H 股（百万）-/-一年内股价与沪深 300 指数对比走势：资料来源：聚源数据相关研究《神开股份（002278）动态跟踪：深海装备持续突破，看好公司 AI 油服出海进展》2026-05-28《燕麦科技（688312）25 年报点评：软板测试业务景气，硅光与半导体测试放量在即》2026-04-14《中微公司（688012.SH）25 年业绩快报点评：刻蚀业务稳健增长、薄膜业务加速放量》2026-03-03证券分析师王凯S0820524120002021-32229888-25522wangkai526@ajzq.com财务数据及盈利预测（对应 2026 年 6 月 8 日收盘价，总股本 2.02 亿股）报告期202420252026E2027E2028E营业总收入（百万元）1,1361,2381,6122,0602,545同比增长率（%）103.6%9.0%30.2%27.8%23.6%归母净利润（百万元）214189268346434同比增长（%）166.5%-11.7%41.6%29.3%25.5%每股收益（元/股）1.060.931.321.712.15毛利率（%）33.8%29.0%29.2%29.6%30.0%ROE（%）14.4%11.5%14.0%15.3%16.1%市盈率70.279.556.143.434.6注：“市盈率”是指目前股价除以各年每股收益;“净资产收益率”是指摊薄后归属于母公司所有者的 ROE请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明2先锋精科（688605）2026 年 06 月 09 日日投资案件投资评级与估值首次覆盖，给予“买入”评级。我们预计公司 2026-2028 年归母净利润分别实现2.68/3.46/4.34 亿元，同比增长 41.6%/29.3%/25.5%；对应 PE 分别为 56.1/43.4/34.6倍。受益于半导体设备国产化加速及下游设备厂商订单增长，公司工艺部件与结构部件业务有望持续放量；同时涂层、陶瓷加热盘等高附加值产品占比提升，驱动盈利能力持续改善。当前公司 2026–2028 年估值低于可比公司平均水平，配置价值凸显。关键假设点收入：公司营收增长由工艺部件、结构部件双主业主导，表面处理高附加值新业务逐步兑现增量。其中：1）工艺部件业务 26-28E 收入 11.62/14.88/18.60 亿元，同比+30.0%/28.0%/25.0% ； 结 构 部 件 业 务 26-28E 收 入 3.21/4.17/5.01 亿 元 ， 同 比 +35.0%/30.0%/20.0%。中微公司、北方华创等核心客户订单有望保持持续景气，公司配套精密耗材国产替代持续落地，后期随基数抬升增速缓步回落。2)表面处理业务表26-28E 收入分别为 0.20/0.30/0.41 亿元，同比+ 50.0%/45.0%/40.0%。随着高附加值涂层工艺持续突破、客户认证加速落地，收入增速显著高于传统业务，2026 年起收入规模快速爬坡。毛利：展望 2026-2028 年，我们预计公司综合毛利率将由 29.2% 提升至 30.0%，呈稳步上行趋势。一方面，涂层、高端工艺耗材、陶瓷加热器等高附加值产品逐步放量，收入占比持续提升；另一方面，公司产品布局由传统设备零部件向工艺类耗材及功能部件延伸，业务模式向“设备零部件+耗材”双轮驱动升级，带动整体盈利能力增强。有别于大众的认识市场多关注公司传统零部