公司动态研究报告：半导体设备迎来升级窗口，“薄膜沉积+三维集成”技术领先

2026 年 05 月 31 日 半导体设备迎来升级窗口，“薄膜沉积+三维集成”技术领先 —拓荆科技（688072.SH）公司动态研究报告 买入(维持) 投资要点 分析师：庄宇 S1050525120003 zhuangyu@cfsc.com.cn 分析师：何鹏程 S1050525070002 hepc@cfsc.com.cn 分析师：张璐 S1050526010002 zhanglu2@cfsc.com.cn 基本数据 2026-05-29 当前股价（元） 627.99 总市值（亿元） 1775 总股本（百万股） 283 流通股本（百万股） 283 52 周价格范围（元） 139.7-750 日均成交额（百万元） 1984.95 市场表现 资料来源：Wind，华鑫证券研究 相关研究 1、《拓荆科技（688072）：上半年营收稳健增长，强研发拓品打造新 增长极》2024-09-06 ▌ 技术突破与规模化量产，核心竞争力显著提升 依托在 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD 等薄膜沉积设备及三维集成设备领域的技术突破与规模化量产，公司在先进制程领域核心竞争力显著提升，业务规模实现大幅增长。公司 2025 年实现营业收入 65.19 亿元，同比增长58.87%，实现归母净利润 9.27 亿元，同比增长 34.67%。2026 年一季度实现营业收入 11.12 亿元，同比增长 56.97%，实现归母净利润 5.71 亿元，同比增长 488.29%。。 ▌行业发展驱动芯片革新，高端薄膜沉积设备迎来升级窗口 新技术、新行业的爆发式发展持续驱动芯片革新，全环绕栅极（GAA）、背面供电、高 K（High-K）金属栅、高带宽存储器（HBM）等应运而生。先进制程和三维集成结构下，传统薄膜沉积材料已难以满足下游生产中对高深宽比、高刻蚀选择比的需求，先进硬掩膜和介质薄膜将成为前沿技术节点芯片制造的新趋势。同时，等离子体均匀性、高深宽比结构的薄膜覆盖性、宽温域调节、减少薄膜残留等下游先进芯片制造中的核心工艺难题对薄膜沉积设备的技术创新水平提出了更高要求，高端薄膜沉积设备迎来技术升级窗口。 ▌ 混合键合赋能三维集成，多领域需求共振 3D NAND 通过晶圆混合键合技术解决在单一晶圆上同时制造存储单元和复杂逻辑电路导致的良率低、成本高的问题；HBM引入混合键合技术以支持更高的堆叠层数和互连密度；3D DRAM 依托三维集成技术突破传统平面封装的性能瓶颈，大幅提升芯片带宽与存储容量，同时降低功耗；CIS 的混合键合可以将 DRAM 缓存层键合进来，实现 CIS 芯片内的高速数据缓冲。在 3D 封装、Chiplet、异质集成等领域，混合键合技术实现了不同功能芯片的高密度集成，打破单芯片制程演进的物理限制，混合键合设备已形成多领域需求共振的格局。 ▌ 盈利预测 预测公司 2026-2028 年收入分别为 85.10、108.98、150.10亿元，EPS 分别为 5.55、8.56、10.20 元，当前股价对应 PE分别为 113、73、62 倍，公司目前已形成 PECVD、ALD、-1000100200300400500(%)拓荆科技沪深300公司研究 证券研究报告 证券研究报告 请阅读最后一页重要免责声明 2 诚信、专业、稳健、高效 SACVD、HDPCVD、Flowable CVD 等薄膜沉积设备产品，以及晶圆对晶圆混合键合、晶圆对晶圆熔融键合、芯片对晶圆混合键合等三维集成设备产品，维持“买入”投资评级。 ▌ 风险提示 宏观经济的风险，产品研发不及预期的风险，行业竞争加剧的风险，下游需求不及预期的风险。 预测指标 2025A 2026E 2027E 2028E 主营收入（百万元） 6,519 8,510 10,898 15,010 增长率（%） 58.9% 30.5% 28.1% 37.7% 归母净利润（百万元） 927 1,568 2,420 2,884 增长率（%） 34.7% 69.2% 54.3% 19.2% 摊薄每股收益（元） 3.28 5.55 8.56 10.20 ROE（%） 13.0% 18.4% 22.7% 21.8% 资料来源：Wind、华鑫证券研究 证券研究报告 请阅读最后一页重要免责声明 3 诚信、专业、稳健、高效 公司盈利预测（百万元） 资产负债表 2025A 2026E 2027E 2028E 流动资产: 现金及现金等价物 5,300 5,882 7,781 8,285 应收款 1,420 1,632 1,941 2,467 存货 7,826 9,023 9,226 11,566 其他流动资产 1,734 1,996 2,306 2,841 流动资产合计 16,279 18,533 21,254 25,159 非流动资产: 金融类资产 890 890 890 890 固定资产 1,691 1,601 1,380 1,144 在建工程 413 165 66 26 无形资产 185 196 207 217 长期股权投资 300 300 300 300 其他非流动资产 953 953 953 953 非流动资产合计 3,544 3,217 2,907 2,641 资产总计 19,824 21,750 24,161 27,800 流动负债: 短期借款 186 186 186 186 应付账款、票据 3,056 3,308 3,321 3,598 其他流动负债 3,272 3,272 3,272 3,272 流动负债合计 11,366 11,896 12,154 13,225 非流动负债: 长期借款 850 850 850 850 其他非流动负债 492 492 492 492 非流动负债合计 1,342 1,342 1,342 1,342 负债合计 12,708 13,238 13,496 14,567 所有者权益 股本 282 283 283 283 股东权益 7,115 8,512 10,665 13,233 负债和所有者权益 19,824 21,750 24,161 27,800 现金流量表 2025A 2026E 2027E 2028E 净利润 915 1553 2396 2856 少数股东权益 -12 -16 -24 -29 折旧摊销 134 348 330 286 公允价值变动 55 100 100 100 营运资金变动 2541 -1141 -564 -2330 经营活动现金净流量 3633 844 2238 884 投资活动现金净流量 -1329 338 320 276 筹资活动现金净流量 -1722 -157 -242 -288 现金流量净额 582 1,025 2,316 871 利润表 2025A 2026E 2027E 2028E 营业收入 6,519 8,510 10,898 15,010 营业成本 4,241 5,446 6,702 9,336 营业税金及附加 32 43 33 45 销售费用 407 596 654 961 管理费用 314 42