半导体设备行业点评：先进制程与设备多腔化共振，看好零部件环节

证券研究报告行业研究 / 行业点评2026 年 05 月 25 日行业及产业机械设备先进制程与设备多腔化共振，看好零部件环节——半导体设备行业点评强于大市投资要点：国产半导体设备向 7nm 及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。半导体设备的刻蚀均匀性、沉积一致性、真空稳定性及热场控制能力，均需依托关键零部件实现，因此设备先进制程能力的提升，本质上取决于零部件性能的同步突破。相较成熟制程，先进制程对材料纯度、加工精度、颗粒控制、耐等离子体侵蚀及温控稳定性提出更高要求，推动零部件持续向高精度、高洁净度及高可靠性升级。存储扩产+设备多腔化趋势有望持续提升设备单机价值量、单位腔体密度以及核心零部件价值占比，进一步放大半导体设备零部件环节的业绩弹性。相比逻辑厂单期扩产通常为 2-5 万片/月，存储厂单期扩产往往以 10 万片/月以上，对单位洁净面积内的产能密度要求显著更高，在此背景下，多腔化成为设备核心演进方向之一，即在单一平台集成更多反应腔，提高单位洁净区内的产出效率。传统刻蚀、PVD、ALD、PECVD等设备平台通常采用“1 个传输模块+2 个反应腔”架构，而新一代平台已逐步升级至“1 个中央传输平台+多个主反应腔+多个辅助腔体”架构，对真空控制、热场均匀性、等离子体稳定性及自动化调度能力提出更高要求。空间和格局：半导体设备行业扩容叠加供应链重构，国产零部件企业有望持续提升份额。1）空间：根据 SEMI，2025 年全球半导体制造设备总销售额达 1,351 亿美元；刻蚀、薄膜沉积等前道核心设备需求随先进逻辑、存储产线扩产大幅提升，预计 2026 年、2027 年全球半导体制造设备销售额将继续攀升至 1,450 亿美元、1,560 亿美元。2)格局：半导体设备零部件行业具有“多品种、小批量、定制化、超离散”特征，全球龙头多聚焦单一细分领域，跨品类平台型企业相对较少。随着先进制程及多腔化趋势推进，设备厂对零部件一致性、稳定性及协同配套能力要求持续提升，具备平台化布局、多品类供应及快速迭代能力的国产零部件企业，有望持续提升市场份额与产业链地位。核心零部件在设备成本中占比较高，持续受益于先进制程及多腔化升级。根据富创精密，机械类零部件占设备成本约 20%-40%，主要包括反应腔、传输腔、静电卡盘、陶瓷件及石英件等；电气类零部件占比约 10%-20%，包括射频电源、匹配器及等离子源等；机电一体类占比约 10%-25%，包括机械手、EFEM 及温控系统；气体/液体/真空系统占比约 10%-30%，包括真空泵、阀门及流量控制系统；光学类在光刻及量检测设备中的价值量占比可达 55%。中国半导体设备零部件企业在先进制程核心环节的国产化进程中持续突破。金属零部件方面，富创精密、先锋精科已具备 7nm 及以下先进制程关键零部件量产能力；硅及石英部件方面，神工股份刻蚀用硅零部件及凯德石英高端石英制品正加速国产替代；电气类方面，英杰电气、恒运昌电源产品已实现批量供货；真空及气体系统方面，新莱应材、正帆科技已进入头部半导体设备厂供应链；陶瓷类方面，珂玛科技、江丰电子静电卡盘等产品正持续推进客户验证。投资建议：建议重点关注受益于先进制程升级与设备多腔化趋势、具备平台化配套能力及核心技术突破能力的国产半导体设备及零部件企业。建议关注：1）零部件：先锋精科（688605）、恒运昌（688785）。2）平台型设备：北方华创（002371）；3）刻蚀设备：中微公司（688012）；4）薄膜沉积设备：拓荆科技（688072）；5）清洗设备：盛美上海（688082）；6）量检测设备：中科飞测（688361）、精测电子（300567）；7）涂胶显影及键合设备：芯源微（688037）；8）测试设备：精智达（688627）。风险提示：宏观经济波动风险、终端需求传导压力、供应链稳定与技术迭代挑战。一年内行业指数与沪深 300 指数对比走势：资料来源：聚源数据，爱建证券研究所相关研究《半导体设备行业点评：DRAM 扩产趋势明确，持续看好国产半导体设备》2026-05-18《先进封装设备行业点评：CoWoS 升级下，先进封装市场空间持续扩容》2026-05-12《光通信设备行业点评：CPO 架构下 InP 更具“通胀”逻辑，看好 InP 设备链》2026-05-07《智能制造行业周报：InP 材料扩产景气，聚焦 MOCVD 设备链机会》2026-04-27《智能制造行业周报：盛合晶微上市，看好先进封装设备机遇》2026-04-21证券分析师王凯S0820524120002021-32229888-25522wangkai526@ajzq.com请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明2爱建证券有限责任公司上海市浦东新区前滩大道 199 弄 5 号电话：021-32229888传真：021-68728700服务热线：956021邮政编码：200124邮箱：ajzq@ajzq.com网址：http://www.ajzq.com评级说明投资建议的评级标准报告中投资建议所涉及的评级分为股票评级和行业评级（另有说明的除外）。评级标准为报告发布日后 6 个月内的相对市场表现，也即：以报告发布日后的 6 个月内的公司股价（或行业指数）相对同期相关证券市场代表性指数的涨跌幅作为基准。其中：A 股市场：沪深 300指数（000300.SH）；新三板市场：三板成指（899001.CSI）（针对协议转让标的）或三板做市指数（899002.CSI）（针对做市转让标的）；北交所市场：北证 50 指数（899050. BJ）；香港市场：恒生指数（HIS.HI）；美国市场：标普 500 指数（SPX.GI）或纳斯达克指数（IXIC.GI）。股票评级买入相对同期相关证券市场代表性指数涨幅大于 15%增持相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在 5%～15%之间持有相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在-5%～5%之间卖出相对同期相关证券市场代表性指数涨幅小于-5%行业评级强于大市相对表现优于同期相关证券市场代表性指数中性相对表现与同期相关证券市场代表性指数持平弱于大市相对表现弱于同期相关证券市场代表性指数分析师声明本报告署名分析师在此声明：我们具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格或相当的专业胜任能力，本报告采用信息和数据来自公开、合规渠道，所表述的观点均准确地反映了我们对标的证券和发行人的独立看法。研究报告对所涉及的证券或发行人的评价是分析师本人通过财务分析预测、数量化方法、或行业比较分析所得出的结论，但使用以上信息和分析方法可能存在局限性，请谨慎参考。法律主体声明本报告由爱建证券有限责任公司（以下统称为“爱建证券”）证券研究所制作，爱建证券具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资格，接受中国证监会监管。本报告是机密的，仅供我们的签约客户使用，爱建证券不因收件人收到本报告而视其为爱建证券的签约客户。本报告中的信息均来源于我们认为可靠的已公开资料，但爱建证券对这些信息的准确性及完整性不作任何保证。本报告中的信息、意见等均仅供签约客户参考，不构成所述证券买卖的出价或征价邀请或要约。该等信息、意见未考虑到获取本报告人员的具体投资目的、财务状况以及特定需求