半导体设备2025年报-2026年一季报总结：前后道设备商业绩持续高增，看好先进产能扩产-设备国产化率提升

半导体设备2025年报&2026年一季报总结：前后道设备商业绩持续高增，看好先进产能扩产&设备国产化率提升证券研究报告请务必阅读正文之后的免责声明部分首席证券分析师：周尔双执业证书编号：S0600515110002zhouersh@dwzq.com.cn证券分析师：李文意执业证书编号：S0600524080005liwenyi@dwzq.com.cn2026年5月19日投资要点⚫AI驱动先进逻辑与存储扩产，资本开支进入新一轮上行周期。在AI算力需求爆发背景下，全球半导体设备市场规模持续创新高。先进逻辑端，FinFET向GAA/CFET演进，5nm及以下制程单位产能设备投资额显著提升，单万片/月产能投资额较28nm提升数倍；存储端，HBM带动DRAM高阶制程升级，3D NAND向400层以上堆叠演进，单万片产能投资额同步提升。中国大陆晶圆产能全球占比仍低于销售占比，逻辑与存储龙头资本开支维持高位，叠加两大存储厂商上市融资在即，扩产动能具备持续性，支撑前道设备景气度中长期上行。⚫制程迭代推动设备结构升级，刻蚀与薄膜沉积价值量提升。先进制程结构复杂化带动图形化环节投资强度提升。逻辑端GAA结构、存储端高层数3D堆叠，对高深宽比刻蚀（HAR）、高选择比刻蚀（ALE）以及ALD等原子级沉积技术提出更高要求。刻蚀与薄膜沉积在前道设备中的价值占比位居前三，且随制程演进呈提升趋势。多重曝光、先进金属材料替代及新型结构引入，使设备数量与工艺复杂度同步提升，设备投资呈现“技术节点越先进、单位投资越高”的乘数效应，核心平台型设备商与细分龙头有望持续受益。⚫外部制裁强化自主可控逻辑，国产替代进入加速阶段。美国、荷兰、日本持续强化对14nm及以下先进制程设备出口限制，中国大陆作为全球最大设备需求市场，进口依赖度较高的涂胶显影、清洗、量检测、光刻等环节国产化率仍低于25%。在政策支持与大基金三期落地背景下，国内晶圆厂扩产将更加倾向国产设备采购。测算显示半导体设备整体国产化率已由2017年的13%提升至2024年的20%，预计2025年达22%，仍具备广阔提升空间。平台型厂商覆盖面扩大、技术持续突破，将在先进制程与先进封装领域获得更大份额。⚫投资建议：看好前后道半导体设备+零部件厂商，重点推荐前道平台化设备商【北方华创】【中微公司】，低国产化率环节设备商【芯源微】【中科飞测】【精测电子】，薄膜沉积设备商【拓荆科技】【微导纳米】，去胶、热处理&刻蚀设备龙头【屹唐股份】，后道封装测试设备【华峰测控】【长川科技】【迈为股份】；零部件环节【新莱应材】【富创精密】【晶盛机电】【英杰电气】【汉钟精机】。⚫风险提示：半导体行业投资不及预期，设备国产化进程不及预期，技术迭代及工艺路线变化风险。3目录四、看好外部制裁加码&内部政策支持，设备商技术持续进步带来国产化率提升六、本土重点公司七、投资建议与风险提示二、看好先进逻辑+存储扩产，技术节点进步带来资本开支持续上行五、AI国产算力快速发展，看好先进封装&高端测试机产业机遇三、制程迭代带动设备放量，设备商刻蚀、薄膜沉积形成差异化布局一、国产设备商业绩高增，持续加大研发投入数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫我们选取14家半导体设备行业重点标的：北方华创、中微公司、拓荆科技、华海清科、盛美上海、长川科技、芯源微、华峰测控、先导基电、精测电子、精智达、金海通、微导纳米、中科飞测。⚫半导体设备公司营收&业绩延续高增长。半导体设备行业2025&2026Q1合计实现①营业收入899.9/217.8亿元，同比+35/+32%；②归母净利润134.5/40.1亿元，同比+17/+61%；③扣非归母净利润116.4/29.2亿元，同比+15/+29%，半导体设备公司营收&利润端延续高速增长势头，表现亮眼。41.1 业绩端：半导体设备公司营收&业绩延续高速增长势头◆ 图：2025&2026Q1归母净利润同比+17/+61%◆ 图：2025 & 2026Q1半导体设备行业营收同比+35/+32%◆ 图： 2025&2026Q1扣非归母净利润继续高增157.2241.5367.0485.9667.7899.9217.80%10%20%30%40%50%60%010020030040050060070080090010002020202120222023202420252026Q1营业收入(亿元)同比增速23.842.572.394.4114.8134.540.10%10%20%30%40%50%60%70%80%90%0204060801001201401602020202120222023202420252026Q1归母净利润(亿元)同比增速10.926.458.974.1100.9116.429.20%20%40%60%80%100%120%140%160%0204060801001201402020202120222023202420252026Q1扣非归母净利润(亿元)同比增速数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2025&2026Q1后道设备公司的营收、利润增速均快于前道设备商，我们认为主要系前道设备公司高研发投入、股权激励等费用影响业绩表现，后道设备公司受益下游景气度提升、费用投入相对稳定，业绩进入收获期。⚫我们选取四家重点后道设备公司——长川科技、华峰测控、精智达、金海通，四家公司2025&2026Q1合计实现①营业收入84.6/22.7亿元，同比+47/+75%；②归母净利润21.1/5.4亿元，同比+122/+198%；其余十家前道设备公司2025&2026Q1合计实现①营业收入815.3/195.1亿元，同比+34/+28%；②归母净利润113.4/34.7亿元，同比+8/+50%。51.1 业绩端：后道设备公司营收&利润加速放量◆ 图：2024年以来后道设备营收、归母净利润增速快于前道设备商（亿元）-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%020040060080010002020202120222023202420252026Q1前道设备营收后道设备营收yoy%（前道）yoy%（后道）-120%-60%0%60%120%180%240%02550751001252020202120222023202420252026Q1前道设备利润后道设备利润yoy%（前道）yoy%（后道）数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2025&2026Q1毛利率略有下降，扣非净利率受研发投入等影响略有下滑。2025&2026Q1十四家半导体设备企业销售毛利率为41.8/43.2%，同比-3.5/-0.6pct ；销售净利率为13.6/14.9%，同比-0.2/+7.5pct；扣非归母净利润率为12.9/8.6%，同比+2.3/-5.0pct。⚫控费能力有所提升，占比最高的依旧为研发费用。2025&2026Q1十四家半导体设备公司期间费用率为30.4/36.3%，同比-4.0/-2.6pct，其中占比最高的依旧为研发费用，2025&2026Q1占比依旧维持在16-18%，其次为管理费用率，各设备商持续扩张人员规模、进行股权激励等。◆ 图：2025年半导体设备行业毛利率有所下行，扣非归母净利润率