屹守初心，芯耀新元

证券研究报告：电子| 公司点评报告市场有风险，投资需谨慎请务必阅读正文之后的免责条款部分股票投资评级买入 |首次覆盖个股表现2025-072025-092025-112026-012026-032026-04-13%-5%3%11%19%27%35%43%51%59%67%屹唐股份电子资料来源：聚源，中邮证券研究所公司基本情况最新收盘价（元）22.62总股本/流通股本（亿股）29.56 / 2.15总市值/流通市值（亿元）669 / 4952 周内最高/最低价32.40 / 20.27资产负债率(%)21.7%市盈率94.25第一大股东北京屹唐盛龙半导体产业投资中心(有限合伙)研究所分析师:吴文吉SAC 登记编号:S1340523050004Email:wuwenji@cnpsec.com分析师:翟一梦SAC 登记编号:S1340525040003Email:zhaiyimeng@cnpsec.com屹唐股份(688729)屹守初心，芯耀新元l投资要点聚焦干法去胶+快速热处理+干法刻蚀，业绩稳健增长。2025 年度公司实现营收 50.76 亿元，同比增长 9.57%；归母净利润 6.71 亿元，同比增长 24.03%；扣非归母净利润 54,070.69 万元，同比增长11.61%。公司坚持植根中国的国际化经营策略，持续推动干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀及等离子体表面处理设备的市场开发与客户导入，实现销售规模增长。2024 年，公司干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备的收入占比分别为 40.31%、24.06%、12.45%。2025 年，公司干法去胶设备销售收入基本保持稳定，市场占有率位居全球第二；快速热处理设备销售收入 14.81 亿元，同比增长32.85%；干法刻蚀及等离子体表面处理设备销售收入 7.54 亿元，同比增长 30.73%。公司坚持加大研发投入，陆续开发并推出了新一代先进干法去胶设备 Optima®、新一代先进干法刻蚀设备 RENA-E®、先进等离子体表面处理和材料改性设备 Escala®等新产品，各类新设备均已获得客户量产订单且公司持续拓展新客户、新应用。干法去胶、快速热处理等位居世界前列，刻蚀持续发力。根据Gartner，2025E 全球集成电路制造干法去胶设备/热处理设备/干法刻蚀市场规模分别为 8.56/12.36/219 亿美元。2023 年，干法去胶设备领域前五大厂商比思科、屹唐股份、泰仕半导体、爱发科、泛林半导体的市场份额合计超过 90%，公司凭借 34.60%的市场占有率位居全球第二，确立了在干法去胶设备细分市场中国际领先的行业地位。2021-2023 年，公司快速热处理设备的市场占有率保持全球第二的地位。2023 年，应用材料占有的全球快速热处理市场份额达到 69.66%，公司作为唯一一家中国企业以 13.05%的市场份额列居第二，其他主要参与者包括国际电气、维易科等。刻蚀方面，2023 年，前三大厂商泛林半导体、东京电子及应用材料合计占有全球干法刻蚀设备领域83.95%的市场份额，公司刻蚀设备有较大成长空间。研发成果加速兑现，持续为先进节点提供关键支持。本次SEMICONChina 展会，公司重点展出了覆盖干法去胶、刻蚀、快速热退火、毫秒级退火及选择性材料去除等关键工艺的六款产品：Suprema®等离子体干法去胶设备、Optima®等离子体干法去胶设备、RENA-E®等离子体刻蚀设备、Helios® V 快速热退火设备、SynthEX M®毫秒级退火系统，以及 Nebulex®选择性材料去除设备。其中，Suprema®系列采用远程电感耦合等离子体源与双晶圆反应腔设计，具备高等离子体浓度、低颗粒污染和低综合持有成本等优势，已广泛应用于全球主流逻辑、存储及功率半导体产线。Optima®系列则是公司基于国产组件开发的干法去胶设备，具备完全离子屏蔽能力与全光谱终点检测，工艺灵活性和量产稳定性表现优异。在刻蚀领域，RENA-E® 以其电感耦合等离子体发布时间：2026-04-30请务必阅读正文之后的免责条款部分2技术实现了离子能量与密度的独立控制，兼具高刻蚀速率与低等离子体损伤，适用于存储器、逻辑芯片及 CMOS 图像传感器等复杂工艺场景。在热处理领域，Helios® V 采用独特的双面辐射加热技术，配合高精度温控系统，有效解决图形效应问题，满足先进逻辑、3D NAND、DRAM 等器件的严苛退火需求。SynthEX M®毫秒级退火系统则基于水壁氩气弧灯技术，支持尖峰退火与毫秒级退火一体化工艺，为超浅结形成、High-K 材料钝化等先进节点提供关键支持。此外，Nebulex®选择性材料去除设备基于远程等离子体与离子辅助控制技术，实现对介电和导体薄膜材料的高选择比去除，广泛应用于逻辑、存储及功率半导体器件的精细刻蚀与表面处理。l投资建议我们预计公司 2026/2027/2028 年分别实现收入 61/76/92 亿元，归母净利润 8.52/11.52/15.05 亿元，首次覆盖，给予“买入”评级。l风险提示与国际龙头在产品线覆盖广度存在较大差距的风险；贸易摩擦风险；客户集中度较高的风险；公司规模扩张带来的管理和内控风险；商誉减值风险；汇率波动风险；税收政策变动风险；市场竞争风险；技术升级迭代的风险；核心研发人员流失或不足的风险；核心技术泄密的风险。n盈利预测和财务指标[table_FinchinaSimple]项目\年度2025A2026E2027E2028E营业收入（百万元）5076613275889150增长率(%)9.5720.8023.7320.59EBITDA（百万元）881.021211.921551.951935.93归属母公司净利润（百万元）670.78852.211152.011504.92增长率(%)24.0327.0535.1830.63EPS(元/股)0.230.290.390.51市盈率（P/E）99.6778.4558.0344.42市净率（P/B）7.506.846.325.74EV/EBITDA80.6753.9642.2333.65资料来源：公司公告，中邮证券研究所[table_FinchinaSimpleEnd]请务必阅读正文之后的免责条款部分3[table_FinchinaDetail]财务报表和主要财务比率财务报表(百万元)2025A2026E2027E2028E主要财务比率2025A2026E2027E2028E利润表成长能力营业收入5076613275889150营业收入9.6%20.8%23.7%20.6%营业成本3135374445925538营业利润30.6%31.8%35.1%30.6%税金及附加67911归属于母公司净利润24.0%27.0%35.2%30.6%销售费用322374425494获利能力管理费用259288319357毛利率38.3%38.9%39.5%39.5%研发费用73985910471171净利率13.2%13.9%15.2%16.4%财务费用1521413ROE7.5%8.7%10.9%12.9%资产减值损失-55-60-70-80ROIC6.7%8.3%10.4%12.4