拓荆科技：半导体薄膜设备领军者，混合键合开启第二成长曲线

敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 拓荆科技：半导体薄膜设备领军者，混合键合开启第二成长曲线 [Table_StockNameRptType] 拓荆科技（688072） 公司覆盖 [Table_Rank] 投资评级：买入 首次覆盖 报告日期：2025-07-01 [Table_BaseData] 收盘价（元） 153.34 近 12 个月最高/最低（元） 216.12/101.21 总股本（百万股） 280 流通股本（百万股） 280 流通股比例（%） 100.00 总市值（亿元） 429 流通市值（亿元） 429 [Table_Chart] 公司价格与沪深 300 走势比较 分析师：陈耀波 执业证书号：S0010523060001 邮箱：chenyaobo@hazq.com 分析师：李美贤 执业证书号：S0010524020002 邮箱：limeixian@hazq.com 分析师：李元晨 执业证书号：S0010524070001 邮箱：liyc@hazq.com 主要观点： [Table_Summary] ⚫ 深耕半导体薄膜设备领域，产品矩阵持续丰富 拓荆科技股份有限公司成立于 2010 年 4 月，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。自成立以来，公司始终坚持自主研发、自主创新，目前已形成 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD 等薄膜设备产品，产品主要应用于集成电路晶圆制造、 先进存储和先进封装、HBM、MEMS、Micro-LED 和 Micro-OLED 显示等高端技术领域。公司产品已广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产线。受益半导体设备行业国产化及自身竞争力持续增强，2020-2024 年公司营收及归母净利润持续扩张。公司营业总收入由 2020 年的 4.4亿增至 2024 年的 41.0 亿，4 年 CAGR 达 75%；归母净利润 2021年实现扭亏后连续三年保持增长态势，2024 年归母净利润达 6.9 亿。公司在手订单数保持高速增长，2024 年在手订单金额约 94 亿元，同比增长约 46%。 ⚫ 半导体薄膜沉积设备：国产替代持续演进，公司产品矩阵持续丰富 薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，是制造的核心设备，决定了芯片制造工艺的先进程度。薄膜沉积设备按照工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）设备和原子层沉积（ALD）设备。AI 浪潮下先进制程需求持续增长，拉动半导体薄膜沉积设备需求高增。根据拓荆科技测算，2024 年全球薄膜沉积设备市场规模约为 230 亿美元。 当前，全球薄膜沉积设备市场基本上由 AMAT、LAM、TEL 等美、日厂商垄断：在 PVD 设备领域，AMAT 处于领先地位，份额占比达 85%左右；在 CVD 领域，AMAT、LAM、TELCR3 占比合计超 80%；在ALD 设备领域，TEL 和 ASM 两家合计占比约 60%。而我国半导体薄膜沉积设备发展起步较晚，设备自给率不足 20%。公司作为国内半导体薄膜沉积设备领军者，持续拓展 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、SACVD（次常压化学气相沉积）、HDPCVD（高密度等离子体化学气相沉积）及 Flowable CVD（流动性化学气相沉积）薄膜设备系列产品，新品产业化进程顺利，有望凭借自身技术优势高速放量。 ⚫ 混合键合设备：先进封装对混合键合技术需求高增，公司前瞻性布局该赛道开启第二成长曲线 混合键合通过直接铜对铜的连接方式取代传统的凸点或焊球互连，从而能够在极小的空间内实现超精细间距的堆叠和封装。按工艺区分，混合键合技术可分为晶圆对晶圆（W2W）或芯片对晶圆（D2W）两-30%-10%10%30%50%70%90%7/2410/241/254/25拓荆科技沪深300[Table_CompanyRptType1] 拓荆科技（688072） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2/23 证券研究报告 种。先进封装持续演进，混合键合技术已应用于台积电的 SoIC 技术、英特尔的 Foveros 等先进封装技术方案。根据 Yole 预测，全球混合键合机市场规模有望由 2020 年的 2.7 亿美元增至 2027 年的 7.4 亿美元，7 年复合增长率约 16%。 当前，全球混合键合设备市场主要由企业主导，BESI 一家占据 67%的市场份额。近年来，我国混合键合设备市场逐步崛起，公司前瞻性布局混合键合设备赛道，近年来持续研发投入，强化先进键合设备和配套的量检测设备等系列产品的关键核心技术，不断拓宽公司产品布局，其 W2W/D2W 混合键合前表面预处理及键合产品均获得重复订单。随着混合键合设备新品放量，公司第二成长曲线未来成长可期。 ⚫ 投资建议 我们预计公司 2025/2026/2027 年分别实现营业收入 55.1、74.4、92.8 亿元；归母净利润分别为 9.9、13.5、19.0 亿元，对应 EPS 为3.55、4.82、6.79 元，对应 2025 年 7 月 1 日收盘价 PE 分别为 43.22、31.82、22.58 倍。首次覆盖给予买入评级。 ⚫ 风险提示 公司研发不及预期风险，下游需求不及预期风险，市场竞争风险。 重要财务指标 单位:百万元 主要财务指标 2024A 2025E 2026E 2027E 营业收入 4103 5507 7441 9279 收入同比（%） 51.7% 34.2% 35.1% 24.7% 归属母公司净利润 688 993 1348 1900 净利润同比（%） 3.9% 44.2% 35.8% 40.9% 毛利率（%） 41.7% 43.0% 44.0% 45.4% ROE（%） 13.0% 15.7% 17.6% 19.9% 每股收益（元） 2.48 3.55 4.82 6.79 P/E 61.96 43.22 31.82 22.58 P/B 8.10 6.79 5.59 4.48 EV/EBITDA 69.55 33.83 25.37 17.89 资料来源：wind，华安证券研究所 [Table_CompanyRptType1] 拓荆科技（688072） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3/23 证券研究报告 正文目录 1 拓荆科技：中国半导体薄膜沉积设备领军者 .............................................................................