半导体行业研究周报：荷兰对光刻机出口进一步限制，国产化亟待加速

行业报告 | 行业研究周报 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 1 半导体 证券研究报告 2023 年 03 月 14 日 投资评级 行业评级 强于大市(维持评级) 上次评级 强于大市 作者 潘暕 分析师 SAC 执业证书编号：S1110517070005 panjian@tfzq.com 程如莹 分析师 SAC 执业证书编号：S1110521110002 chengruying@tfzq.com 骆奕扬 分析师 SAC 执业证书编号：S1110521050001 luoyiyang@tfzq.com 资料来源：聚源数据 相关报告 1 《半导体-行业研究周报:政策预期升温，关注国产化，周期复苏，与新技术》 2023-03-06 2 《半导体-行业研究周报:23Q1 库存持续 去 化 ， 基 本 面 或 加 速 触 底 》 2023-02-27 3 《半导体-行业研究周报:22 年 12 月国产半导体设备中标数同比+185%，关注ChatGPT领 域 及 周 期 复 苏 》 2023-02-19 行业走势图 荷兰对光刻机出口进一步限制，国产化亟待加速 在美国持续施压对华禁运关键半导体技术的情况下，荷兰政府正准备对半导体设备实施新的出口限制。当地时间 3 月 8 日，荷兰贸易部长列斯杰·施赖纳马赫尔（Liesje Schreinemacher）在致立法者的一封信中表示，荷兰政府考虑了“技术发展和地缘政治背景”，准备对半导体设备实施新的出口限制，这些规定预计将在夏季之前公布。她在信中没有具体提及中国和荷兰半导体设备主要供应商 ASML，但指出其中一项将受到影响的技术是“DUV”光刻技术。“出于国家和国际安全考虑，有必要尽快控制这项技术。” ASML 针对上述出口限制发布声明，表示额外的出口管制并不涉及所有浸没式光刻机，而只涉及所谓的“最先进的”设备。ASML 提到，这些控制措施需要时间才能转化为立法并生效，公司预计这些措施不会对此前发布的 2023 年财务展望产生重大影响。ASML 强调，额外的出口管制并不涉及所有浸没式光刻机，而只涉及所谓的“最先进的”设备。尽管 ASML 尚未收到有关“最先进”确切定义的更多细节，但 ASML 将其解释为“关键沉浸”（critical immersion），ASML 将其定义为 TWINSCAN NXT：2000i 和之后推出的浸没式系统。此外，ASML 指出，制程位于成熟节点的客户仍旧可以使用不太先进的浸没式光刻机。 光刻机是制造芯片的核心装备，制造难度极大，国产光刻机仍较为落后。目前高端光刻机制造领域，全球只有少数几家公司能掌握，那就是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能。中低端领域，国产光刻机龙头上海微电子（SMEE）能够触及。目前，上海微电子已经能实现 90nm 量产（600 系列光刻机），正在攻克 28nm 光刻机，与 ASML 的技术实力仍有较大差距，国产光刻机亟待突破。 在光刻机国产化道路上，零部件也是不可忽视的重要环节。在光刻机零部件中，KBBF 晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。2013 年，我国研制的全球首个深紫外固态激光器通过验收，成为当时全球唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家，为国产DUV 光刻机行业发展奠定坚实基础。而光学透镜则是保证光刻机高成像质量的关键组件，我国的茂莱光学的 DUV 光学透镜已经在给上海微电子供货，助力我国半导体光刻机国产化。 建议关注： 1）半导体零部件：正帆科技（天风机械团队联合覆盖）/江丰电子/茂莱光学/新莱应材（天风机械团队覆盖）/华亚智能/神工股份/英杰电气/富创精密/明志科技/汉钟精机（天风机械团队覆盖）/国机精工（天风机械团队覆盖）； 2）半导体材料设备：雅克科技/沪硅产业/华峰测控（天风机械团队覆盖）/上海新阳/中微公司/精测电子（天风机械团队联合覆盖）/长川科技（天风机械团队覆盖）/鼎龙股份（天风化工团队联合覆盖）/安集科技/拓荆科技（天风机械团队联合覆盖）/盛美上海/多氟多/中巨芯/清溢光电/有研新材/华特气体/南大光电/金宏气体（天风化工团队覆盖）/凯美特气/杭氧股份（天风机械团队覆盖）/和远气体/华懋科技； 3）半导体设计：江波龙（天风计算机团队联合覆盖）/纳芯微/圣邦股份/晶晨股份/斯达半导/宏微科技/东微半导/瑞芯微/思瑞浦/中颖电子/澜起科技/扬杰科技/新洁能/兆易创新/韦尔股份/艾为电子/富瀚微/恒玄科技/乐鑫科技/全志科技/卓胜微/晶丰明源/声光电科/紫光国微/复旦微电/龙芯中科/海光信息（天风计算机团队覆盖）； 4）IDM：闻泰科技/三安光电/时代电气/士兰微/扬杰科技； 5）代工封测：华虹半导体/中芯国际/长电科技/通富微电； 6) 卫星产业链：声光电科/复旦微电/铖昌科技/振芯科技/北斗星通 风险提示：宏观不确定性，疫情继续恶化；贸易战影响；需求不及预期。 -30%-25%-20%-15%-10%-5%0%5%2022-032022-072022-11半导体沪深300 行业报告 | 行业研究周报 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 2 内容目录 1. 每周谈-荷兰对光刻机出口进一步限制，国产化亟待加速 ................................................... 3 1.1. ASML 发布有关光刻机出口限制的声明................................................................................... 3 1.2. 目前国内大部分产线不受影响，光刻机国产化亟待加速 ................................................ 4 2. 本周半导体行情回顾 .................................................................................................................... 5 3. 本周重点公司公告 ........................................................................................................................ 7 4. 半导体重点新闻 ............................................................................................................................ 9 5. 风险提示 ...................................................................................................................................