机械设备行业深度研究：国产ALD设备先锋，进口替代正逢其时！

行业报告 | 行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 1 机械设备 证券研究报告 2023 年 01 月 13 日 投资评级 行业评级 强于大市(维持评级) 上次评级 强于大市 作者 李鲁靖 分析师 SAC 执业证书编号：S1110519050003 lilujing@tfzq.com 朱晔 分析师 SAC 执业证书编号：S1110522080001 zhuye@tfzq.com 张钰莹 联系人 zhangyuying@tfzq.com 资料来源：聚源数据 相关报告 1 《机械设备-行业专题研究:光电路径提效+降本之电镀铜：技术主流路线分析、经济效应及规模测算》 2023-01-12 2 《机械设备-行业研究周报:板块受疫情扰动出现显著调整，新年打响反攻第一枪》 2023-01-09 3 《机械设备-行业研究周报:板块受疫情扰动出现显著调整，调整后回弹有望 接近尾声》 2023-01-03 。 行业走势图 国产 ALD 设备先锋，进口替代正逢其时！ 1）光伏 ALD 设备领军者，拓展半导体领域应用 微导纳米深耕薄膜沉积设备领域，以 ALD 技术为核心不断实现技术突破。公司率先将 ALD 应用于光伏领域，产品矩阵包括 ALD 设备与 PECVD 设备，覆盖多家龙头电池片厂商，交付的无锡尚德整线量产效率突破 25%。半导体领域，公司研制出的高 k 栅氧层 ALD 设备已实现销售，取得 28nm 节点中国产 ALD 设备技术突破。公司三年营收增速皆超 30%，ALD 设备凭借技术壁垒实现高毛利，手握 19.75 亿元在手订单，助力业绩稳攀高峰。 2）Why ALD：精度之王，迎合高标准趋势 综合比较 PVD/RPD/CVD/ALD 四大技术路径，物理沉积与化学沉积的主要区别在于：化学沉积的致密性与均匀性更优，精细度高，更适合沉积复杂结构；物理沉积适合平面结构，镀要求较低的膜层。 ALD 在超薄与复杂结构中体现不可替代性：  光伏：技术路径的选择最终归于平衡降本增效，ALD 在超薄膜层如鱼得水，如 TOPCon 电池中的氧化铝钝化层与隧穿氧化层。  半导体：制程缩小趋势下，ALD 必不可少。在制程进入 28nm 后，器件结构不断缩小且更为立体化，CVD 与 PVD 难以胜任。 3）光伏领域：高效电池未来已来，公司设备有望乘风而起 N 型技术转化效率极限高，综合性能优，下游扩产潮打开设备市场增长空间。对公司产品线所在市场进行测算，预计 23 年市场空间可突破百亿元。  TOPCon 电池：与 PERC 相比，公司设备价值量在 TOPCon 产线建设的投资比重上升至约 36%。TOPCon 领域国产 ALD 设备企业稀少，公司市占率高达 70%，根据披露的销售合同推算 2022 年新签设备订单 12 亿元。  HJT/钙钛矿电池：PECVD 设备在 HJT 产线投资占比高达 50%，ALD 在HJT 和钙钛矿电池领域有望扩展应用。 4）半导体领域：国产 ALD 拓荒者，期待拓展多样应用 半导体 ALD 设备国产化率低，公司设备性能比肩国际同类厂商，有望实现国产替代，设备需求或迎来放量，预计 23 年 ALD 设备需求有望突破 10 亿。  逻辑芯片：高 K 材料 ALD 设备国产破局者，打破国外技术垄断；ALD在 FinFET 亦有应用。  存储芯片：新型存储器发展迅猛，公司 ALD 设备已应用于 FeRAM 电容介质层；传统存储器中由 2D 到 3D NAND Flash 堆叠层数增长，拉动ALD 设备需求。 风险提示：市场需求下滑风险；新产品开发风险；产品验证与交付进度不及预期；产品毛利率波动风险；测算存在主观性，仅供参考。 -34%-29%-24%-19%-14%-9%-4%1%2022-012022-052022-092023-01机械设备沪深300 行业报告 | 行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 2 内容目录 1. 微导纳米：光伏 ALD 设备领军者，拓展半导体领域应用.................................................... 4 1.1. 拓荒 ALD，产品线持续扩充中................................................................................................... 4 1.2. 股权结构稳定，核心技术人员履历丰富 ................................................................................ 6 1.3. 公司业绩增长迅猛，产品盈利能力优秀 ................................................................................ 7 1.4. 在手订单充足，未来业绩保证 ................................................................................................... 8 2. Why ALD：精度之王，迎合精细化趋势 .................................................................................. 9 2.1. PVD/RPD/CVD/ALD 技术路径各有千秋 .................................................................................. 9 2.2. 四大技术路径对比：ALD 三维共形性与精度独树一帜 .................................................. 12 2.3. ALD 在超薄与复杂结构中体现不可替代性 .......................................................................... 14 3. 光伏领域：高效电池未来已来，公司设备有望乘风而起 ................................................... 14 3.1. N 型电池扩产潮打开增长天花板，设备市场空间破百亿 ............................................... 15 3.2. TOPCon 电池带来较大业绩弹性，近 20 亿在手订单远超往年 .................................... 16 3.3. 探索 HJT/钙钛矿领域，远期想象空间广阔 .........................................................................