半导体行业-半导体设备零部件：小而美子赛道组成数百亿美元市场，国产化尚有大空间

行业报告 | 行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 1 半导体 证券研究报告 2022 年 08 月 19 日 投资评级 行业评级 强于大市(维持评级) 上次评级 强于大市 作者 潘暕 分析师 SAC 执业证书编号：S1110517070005 panjian@tfzq.com 资料来源：聚源数据 相关报告 1 《半导体-行业研究周报:海外半导体中报解读，汽车板块相关业务高景气》 2022-08-08 2 《半导体-行业研究周报:半导体 2Q22基金持仓降至 2Q20 水位，三季度有望迎来传统旺季》 2022-07-31 3 《半导体-行业研究周报:把握新能源需求旺盛+新品发布升级迭代两大主 线》 2022-07-24 行业走势图 半导体设备零部件：小而美子赛道组成数百亿美元市场，国产化尚有大空间 1. 半导体设备零部件细分种类多，在半导体设备中价值占比高 1）从产业链上来看，半导体设备零部件处于偏上游的位置。按照各类零部件在设备上的不同功能，可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。 2）半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源，在半导体设备厂商营业成本中占 90%左右，我们测算占半导体设备总价值量 50%左右。 2. 半导体设备零部件行业中国外厂商占据头部地位，国产化空间大 1）半导体零部件行业中国外厂商占据头部位置，国产率整体较低。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到 10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在 1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足 1%。 2）我们预测半导体设备零部件的全球市场规模可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元。我们预测中国大陆半导体设备零部件市场 2022 年预期规模为145 亿美元，2030 年预期市场规模约为 180 亿美元。 3.半导体产能向国内转移，国内厂商“横向”发展系机遇所在 1）半导体行业高景气，产能不断向国内转移。 2）复盘海外龙头公司成长路径。1）从短期看：在单一赛道夯实产品竞争力，是后续发展的基础；2）从中期看：横向拓展产品种类、纵向（部分）开拓下游应用是持续发展的两条路径，通过业务版图扩张，公司业绩天花板得以重塑；3）从长期看：“横+纵”向协同发力是持续成长的源动力。 3）横或纵向拓展业务版图是国内公司发展的必经之路。从国内公司现状来看，国内公司目前大多数仍处于发展的第一阶段，业务较为单一且整体体量较小，因此短期内借国产替代的东风提升拳头产品核心竞争力是第一要务；长期来看，横/纵（部分）向拓展业务版图是发展的必经之路。 4）横向拓展以发挥国产商家后发优势。海外厂商先发优势明显，Know how经验积累十分重要，国内公司很难能够在后发的情况下做成某一产品的绝对龙头，同时仅有部分赛道公司可实现由下而上的纵向拓展。我们认为横向拓展业务品类是国内设备零部件公司发展的必要途径，充分发挥后发优势。 4. 投资建议 随着半导体行业不断向中国大陆转移，国内半导体设备零部件厂商迎来新机遇。我们看好国内厂商在单一赛道夯实产品竞争力后，拓张业务版图，重塑业绩天花板。建议关注： （1）正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力 （2）江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破 （3）北方华创：业绩持续高增长，设备品类加速扩张 （4）新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔 （5）华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长 （6）神工股份：轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速 （7）英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长 （8）富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势 风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、客户认证进度不及预期 -41%-34%-27%-20%-13%-6%1%2021-082021-122022-04半导体沪深300股票报告网 行业报告 | 行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 2 内容目录 1. 半导体设备零部件简介及分类 ................................................................................................... 7 1.1. 半导体设备的核心部分，下游厂商营业成本的主要来源 ................................................ 7 1.2. 细分产品种类众多，通用型零部件较多 ................................................................................ 8 1.2.1. 机械加工类零部件 .............................................................................................................. 8 1.2.2. 物料传送类零部件 .............................................................................................................. 9 1.2.3. 电气类零部件 ..................................................................................................................... 10 1.2.4. 真空类零部件 ..................................................................................................................... 10 1.2.5. 气液输送类零部件 ............................................................................................................ 11 1.2.6. 光学类零部件 ..................................................................................................................... 13 1.2.7. 热管理类零部件 ................................................................................................................. 13 2. 半导体设备零部件市场规