电子行业半导体材料系列报告（5）：电子特气，半导体晶圆制造之血液

请参阅最后一页的重要声明 [table_main] 行业深度模板 证券研究报告·行业深度研究 半导体材料系列报告：（5）电子特气：半导体晶圆制造之血液 电子气体是晶圆制造的血液，半导体是最重要的应用方向 电子气体是特种气体的一个重要分支，是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。根据中国工业气体工业协会统计，2019 年国内电子特种气体需求 80 亿元，其中集成电路用特种气体需求为 35 亿元，是电子气体最重要的下游应用。电子气体常常在晶圆制造过程中的光刻、刻蚀、CVD/PVD 等步骤重复使用，作为半导体制造中的核心原料，市场价值是除硅晶圆之外的最大材料，因此重要性和市场价值不言而喻。 电子气体行业壁垒较高，部分国产公司已取得实质性突破 电子特气壁垒较高，主要是企业客户的资质认证较难，且时间很长。客户对气体供应商的选择均需经过审厂、产品认证 2 轮严格的审核认证，集成电路领域的审核认证周期长达 2-3 年；另一方面，电子特气在下游制造过程中的成本占比相对较低，但对电子产品性能影响较大，一旦质量出现问题，下游客户将会产生较大损失。因此为了保持气体供应稳定，客户在与气体供应商建立合作关系后不会轻易更换气体供应商。目前，部分气体产品国产化已取得突破。截止 2019年，半导体制造过程中用到的 83 种电子气体，其中有 35%已实现本土化，包括高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气和高纯 CL2 等。 外资企业占主导地位，国内电子气体市场快速增长迎来机遇 目前国内电子气体市场主要由美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、英国 BOC、法国液化空气和日本酸素 6 家公司所垄断，所占市场份额高达 85%。但是国产电子气体已开始占据一定的市场份额。经过多年发展，国内已有部分企业在部分产品方面攻克技术难关，如四川科美特生产的 CF4 进入台积电台南 12 寸 28nm 晶圆加工生产线，金宏气体开发出 7N 电子级超纯氨打破国外气体公司对超纯氨的垄断。主要上市公司有雅克科技、巨化股份、NDGD 等。 新建晶圆厂投产将至，电子特气迎来绝佳国产替代窗口期 2020 年至 2022 年是中国大陆晶圆厂投产高峰期，以长江存储、长鑫存储等新兴晶圆厂和以 SMIC、华虹为代表的老牌晶圆厂正处于产能扩张期，未来 3 年将迎来密集投产。据国内晶圆厂的建设速度和规划，预计 2022 年国内电子气体市场是 2019 年的两倍，电子气体市场迎来高速发展期。根据电子特气的行业特性来推断，新建晶圆厂将是电子特气国产代替的主要目标企业。国内新建晶圆厂的密集投产有望为电子特气打开最佳代替窗口。 投资建议 我们认为国产特种气体行业将迎来突破，领先厂商值得重点关注。重点关注特种气体各细分领域龙头公司华特气体、雅克科技、昊华科技、巨化股份等。 风险提示 下游需求不及预期风险、竞争加剧风险、技术迭代风险 维持 强于大市 雷鸣 leiming@csc.com.cn 执业证书编号：S1440518030001 研究助理 刘双锋 liushuangfeng@csc.com.cn 研究助理 朱立文 zhuliwen@csc.com.cn 13760275647 发布日期： 2020 年 06 月 24 日 市场表现 相关研究报告 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（1）光刻胶：高精度光刻关键材料 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（2）掩模版：电路图形光刻的底片 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（3）抛光液/垫：CMP 工艺关键耗材 20.06.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（4）湿化学品：晶圆制造关键配套试剂 20.06.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（5）电子特气：半导体晶圆制造之血液 20.06.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告（6）硅片：集成电路大厦之基石 -8%12%32%52%72%92%112%2019/6/242019/7/242019/8/242019/9/242019/10/242019/11/242019/12/242020/1/242020/2/242020/3/242020/4/242020/5/24电子沪深300[table_indusname] 电子 行业深度报告 [table_page] 电子 请参阅最后一页的重要声明 表 1：相关公司盈利预测与估值（更新至 2020 年 6 月 23 日收盘价） 公司 股价 市值 (亿元) 归母净利润（亿元） 净利润增速 PE 17 18 19 20E 21E 17 18 19 20E 21E 17 18 19 20E 21E 华特气体 91.09 107 0.49 0.68 0.73 1.03 1.33 26.42% 39.86% 7.00% 42.53% 28.63% 219 158 146 104 81 雅克科技 48.02 233 0.35 1.33 2.93 3.81 4.80 -49.10% 284.90% 120.20% 30.17% 25.90% 666 175 80 61 49 昊华科技 20.09 184 0.59 5.25 5.25 6.07 6.94 117.19% 789.83% 0% 15.62% 14.35% 311 35 35 30 27 巨化股份 6.74 182 9.35 21.53 8.95 7.77 12.09 518.57% 136.97% -58.40% -13.24% 55.64% 19 8 20 23 15 资料来源：wind，中信建投 表 2：重点公司核心逻辑 股票代码 公司 核心逻辑 688268.SH 华特气体 华特气体是中国特种气体国产化先行者，是首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气等产品进口制约的气体公司，并实现了近 20 个产品的进口替代。目前，公司是我国唯一通过 ASML 公司认证的气体公司，亦是全球仅有的上述产品全部通过其认证的四家气体公司之一。预计公司 2020 年营收可达 10.21 亿元，同比增速约为21%，归母净利润可达 1.03 亿元，同比增速约为 43%。 002409.SZ 雅克科技 雅克科技是国内有机磷阻燃剂龙头企业，依靠科技创新，内生发展保温材料业务，成为国内唯一 LNG 保温绝热板材生产制造商。采用“并购+投资+整合”发展模式，积极转型进军集成电路（晶圆制造及封装）、平板显示（包含 LCD 及 OLED）等半导体相关材料及设备行业，先后并购华飞电子、江苏先科(UP Chemical)和科美特，产品结构不断优化，毛利率提升明显，利润和盈利能力重回上升通道。预计公司 2020 年营收可达 24.7 亿元，同比增速约为35%，归母净利润可达 3.81 亿元，同比增速