ICP刻蚀加速增长，CCP刻蚀受益于存储扩产

证券研究报告：电子| 公司点评报告市场有风险，投资需谨慎请务必阅读正文之后的免责条款部分股票投资评级买入 |维持个股表现2024-122025-022025-052025-072025-102025-12-15%-7%1%9%17%25%33%41%49%57%中微公司电子资料来源：聚源，中邮证券研究所公司基本情况最新收盘价（元）279.17总股本/流通股本（亿股）6.26 / 6.26总市值/流通市值（亿元）1,748 / 1,74852 周内最高/最低价319.11 / 165.98资产负债率(%)24.7%市盈率106.96第一大股东上海创业投资有限公司研究所分析师:吴文吉SAC 登记编号:S1340523050004Email:wuwenji@cnpsec.com分析师:翟一梦SAC 登记编号:S1340525040003Email:zhaiyimeng@cnpsec.com中微公司(688012)ICP 刻蚀加速增长，CCP 刻蚀受益于存储扩产l投资要点ICP 刻蚀加速增长。2025H1，公司 ICP 刻蚀设备已在逻辑、DRAM、3D NAND 等领域超 50 家客户产线实现大规模量产，同时持续推进更多 ICP 刻蚀工艺验证，截至报告期末，设备累计装机反应台超 1200 台。2025H1 等离子体刻蚀设备新签订单中，ICP 设备的占比略高于 CCP 设备的占比，ICP 快速起量。新产品方面，PrimoMenova™12 寸 ICP 单腔刻蚀设备聚焦金属刻蚀领域，擅长 Al 线、Al 块刻蚀，适配功率半导体、存储器件及先进逻辑芯片制造，是晶圆厂金属化工艺核心设备。该设备刻蚀均一性优异，兼具高速率、高选择比、低介质损伤特性；搭载高效腔体清洁工艺，可减少污染、延长运行时长；集成高温水蒸气除胶腔室，能高效清除刻蚀后晶圆表面的光刻胶及副产物；主刻蚀与除胶腔体支持灵活组合，可满足高生产效率需求，保障高负荷工况下的稳定性与良率。公司紧跟客户与市场技术需求，稳步推进先进 ICP 刻蚀技术研发，以满足新一代逻辑、DRAM 及 3D NAND 存储芯片的制造需求。刻蚀受益于存储扩产。在存储芯片制造环节，公司的等离子体刻蚀设备已大量用于先进三维闪存和动态随机存储器件的量产。公司致力于提供超高深宽比掩膜（≥40:1）ICP 刻蚀设备和超高深宽比介质刻蚀(≥60:1)CCP 刻蚀设备的解决方案。配备超低频偏压射频的用于超高深宽比掩膜刻蚀的 ICP 刻蚀机目前已经在生产线上大规模应用，工艺能力可以满足国内最先进的存储芯片制造的需求。配备超低频高功率偏压射频的用于超高深宽比介质刻蚀的CCP 刻蚀设备也在最关键的超高深宽比刻蚀工艺大规模生产，并逐步拓展应用。2025 年前三季度，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。l投资建议我们预计公司 2025/2026/2027 年分别实现收入 121/157/198 亿元，归母净利润 21/31/43 亿元，维持“买入”评级。l风险提示下游客户扩产不及预期的风险，员工股权激励带来的公司治理风险，政府支持与税收优惠政策变动的风险，供应链风险，行业政策变化风险，国际贸易摩擦加剧风险，研发投入不足导致技术被赶超或替代的风险。发布时间：2025-12-18请务必阅读正文之后的免责条款部分2n盈利预测和财务指标[table_FinchinaSimple]项目\年度2024A2025E2026E2027E营业收入（百万元）9065120891569119789增长率(%)44.7333.3629.7926.12EBITDA（百万元）1635.362551.783662.254967.61归属母公司净利润（百万元）1615.682101.933130.424309.27增长率(%)-9.5330.1048.9337.66EPS(元/股)2.583.365.006.88市盈率（P/E）108.1983.1655.8440.56市净率（P/B）8.868.007.005.97EV/EBITDA67.7165.2045.2832.83资料来源：公司公告，中邮证券研究所[table_FinchinaSimpleEnd]请务必阅读正文之后的免责条款部分3[table_FinchinaDetail]财务报表和主要财务比率财务报表(百万元)2024A2025E2026E2027E主要财务比率2024A2025E2026E2027E利润表成长能力营业收入9065120891569119789营业收入44.7%33.4%29.8%26.1%营业成本53437167931111758营业利润-14.0%30.1%49.1%37.7%税金及附加317994119归属于母公司净利润-9.5%30.1%48.9%37.7%销售费用479484549633获利能力管理费用482484541623毛利率41.1%40.7%40.7%40.6%研发费用1418249627462968净利率17.8%17.4%20.0%21.8%财务费用-87-90-136-146ROE8.2%9.6%12.5%14.7%资产减值损失-118-50-80-100ROIC6.3%8.9%11.7%13.9%营业利润1704221733044551偿债能力营业外收入10101010资产负债率24.7%31.5%31.8%33.1%营业外支出5555流动比率3.182.402.422.38利润总额1709222233094556营运能力所得税95122182251应收账款周转率7.207.217.077.09净利润1614209931274305存货周转率0.950.890.890.88归母净利润1616210231304309总资产周转率0.380.420.460.49每股收益（元）2.583.365.006.88每股指标（元）资产负债表每股收益2.583.365.006.88货币资金77629178973712477每股净资产31.5234.8839.8846.76交易性金融资产834789789789估值比率应收票据及应收账款1445210925863334PE108.1983.1655.8440.56预付款项54151146216PB8.868.007.005.97存货703990081188814788流动资产合计17901221002601932507现金流量表固定资产2716314835033786净利润1614209931274305在建工程652597558530折旧和摊销260420489557无形资产693110311041095营运资本变动-212693-1907-997非流动资产合计831797911055711250其他-205-602-444-436资产总计26218318913657643756经营活动现金流净额1458261112653429短期借款0000资本开支-892-1274-802-798应付票据及应付账款1680245630593946其他1538129126139其他流动负债3